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Au/(Si/SiO_2)/p-Si结构中电流输运机制的研究 被引量:3
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作者 张开彪 马书懿 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期56-57,60,共3页
用射频磁控溅射法制备了Si/SiO2薄膜,利用Au/(Si/SiO2)/p-Si结构的I-V特性曲线对其输运机制进行了分析。结果表明,在较高的正向电场下,载流子主要是以电场协助隧穿(Fowler-Nordheim隧穿)方式通过氧化层,而在低场范围内和反向电场下,电... 用射频磁控溅射法制备了Si/SiO2薄膜,利用Au/(Si/SiO2)/p-Si结构的I-V特性曲线对其输运机制进行了分析。结果表明,在较高的正向电场下,载流子主要是以电场协助隧穿(Fowler-Nordheim隧穿)方式通过氧化层,而在低场范围内和反向电场下,电流的产生则以热电子发射的方式为主。 展开更多
关键词 半导体技术 射频磁控溅射 I-V特性 电场协助隧穿
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场发射理论研究进展 被引量:2
2
作者 元光 《真空电子技术》 2012年第6期30-34,共5页
场发射现象在上世纪早期进行过深入的理论和实验研究,但是近年来在显示领域的应用潜力而引起人们的广泛关注和重视;同时场发射现象涉及典型的量子效应即隧穿效应,其细致的物理过程依然值得重视的一个研究领域。近年来场发射的理论研究... 场发射现象在上世纪早期进行过深入的理论和实验研究,但是近年来在显示领域的应用潜力而引起人们的广泛关注和重视;同时场发射现象涉及典型的量子效应即隧穿效应,其细致的物理过程依然值得重视的一个研究领域。近年来场发射的理论研究主要是在两个领域:一是以提高场发射电流为目的进行的理论探索;二是场发射的物理过程。本文介绍近年来场发射理论研究的部分进展。 展开更多
关键词 隧穿效应 场发射理论 F-N理论
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可嵌入RFID标签的低功耗单栅非易失性存储器
3
作者 杨亚楠 杨晓龙 陈力颖 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期16-21,共6页
采用Skysilicon 0.35μm标准CMOS工艺设计并制造了一种可嵌入射频识别(RFID)标签的低功耗单栅非易失性存储器(SPNVM)。与传统的采用双栅工艺制造的电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)和快闪存储器相比较,所提出的单栅存储器具有更低的制... 采用Skysilicon 0.35μm标准CMOS工艺设计并制造了一种可嵌入射频识别(RFID)标签的低功耗单栅非易失性存储器(SPNVM)。与传统的采用双栅工艺制造的电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)和快闪存储器相比较,所提出的单栅存储器具有更低的制造成本和功耗,更多的可编程次数以及更简单的控制电路。该存储器是将三个MOS晶体管的栅极连在一起作为等效浮栅,数据以电压的形式输出。利用Fowler-Nordheim电子隧穿机制对浮栅注入或泄放电子,这使得编程过程可以自动停止,且浮栅不会被过度编程。所提出的存储器结构仅使用两个正电压便可实现擦除、写入和读取操作。测试结果表明,对存储单元进行擦除和数据写入所需时间均为80 ms,存储器可以实现超过1 000次的编程循环,在芯片未封装的情况下,数据保持时间至少为14天。 展开更多
关键词 非易失性存储器(NVM) fowler-nordheim(FN)隧穿 射频识别(RFID) 标准CMOS工艺 单栅
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Y_(1-x)Dy_xMnO_3薄膜的制备及磁性能研究
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作者 谈国强 任茜茜 +3 位作者 柴正军 郭美佑 夏傲 任慧君 《陕西科技大学学报》 CAS 2019年第3期112-117,共6页
采用溶胶-凝胶法在Pt/Si基板上制备了Y_(1-x)Dy_xMnO_3(x=0.0~0.5)磁性薄膜,并对薄膜的微观结构和磁性能进行表征和测试.结果表明:Y_(1-x)Dy_xMnO_3薄膜的晶体结构为六方结构,空间点群为P6_3cm.Dy^(3+)掺杂进入到的YMnO_3晶胞结构中,... 采用溶胶-凝胶法在Pt/Si基板上制备了Y_(1-x)Dy_xMnO_3(x=0.0~0.5)磁性薄膜,并对薄膜的微观结构和磁性能进行表征和测试.结果表明:Y_(1-x)Dy_xMnO_3薄膜的晶体结构为六方结构,空间点群为P6_3cm.Dy^(3+)掺杂进入到的YMnO_3晶胞结构中,使晶胞参数增大,结构发生畸变,改变了MnO_5与Y^(3+)的连接方式,从而诱导Y-Mn键角发生改变致其自旋结构的倾斜度增加,提升磁性能,Y_(0.5)Dy_(0.5)MnO_3薄膜的饱和磁化强度值Ms为2.58 emu/cm^3,比YMnO_3薄膜的饱和磁化强度值提高了2.8倍.高电场下的F-N机制影响了薄膜表面电荷对D-M的贡献作用,最终使自旋倾斜程度改善,薄膜磁性能提高. 展开更多
关键词 Y1-xDyxMnO3 溶胶-凝胶法 薄膜 磁性能 F-N隧穿
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Si离子辐照下Al2O3栅介质的漏电机制
5
作者 陈曦 张静 +5 位作者 朱慧平 郑中山 李博 李多力 张金晶 何明 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第7期558-563,共6页
基于Al/Al2O3/Si金属氧化物半导体(MOS)电容结构研究了30 MeV Si离子辐照前后Al2O3栅介质的泄漏电流输运机制。研究结果表明,相较于辐照前,Si离子辐照在栅介质层引起的正电荷俘获导致Al2O3与Si衬底界面处的势垒高度降低,使辐照后Al2O3... 基于Al/Al2O3/Si金属氧化物半导体(MOS)电容结构研究了30 MeV Si离子辐照前后Al2O3栅介质的泄漏电流输运机制。研究结果表明,相较于辐照前,Si离子辐照在栅介质层引起的正电荷俘获导致Al2O3与Si衬底界面处的势垒高度降低,使辐照后Al2O3栅介质层的漏电流随着Si离子注量的增加而增加。通过对弗伦克尔-普尔(FP)发射、肖特基发射(SE)和福勒-诺德海姆(FN)隧穿等泄漏电流输运机制的分析表明,未辐照时Al2O3栅介质层的泄漏电流输运以FP发射和FN隧穿为主,而经Si离子辐照后的Al2O3栅介质层泄漏电流输运主要由FP发射引起,并不受FN隧穿的影响。研究结果还表明,辐照前后Al2O3栅介质层的泄漏电流输运机制与栅介质层厚度无关。 展开更多
关键词 Al2O3栅介质 Si离子辐照 输运机制 弗伦克尔-普尔(FP)发射 福勒-诺德海姆(FN)隧穿
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自支撑衬底n-GaN肖特基接触的电流输运机制研究
6
作者 牟文杰 赵琳娜 +4 位作者 翟阳 朱培敏 陈雷雷 闫大为 顾晓峰 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第3期168-171,181,共5页
在自支撑衬底n-GaN外延片上制备了圆形Ni/Au/n-GaN肖特基接触结构,测量和分析器件的变温电流-电压(I-V)特性,研究了其正向和反向电流的输运机制。结果表明:在正向偏压下,随着温度从300K增加至420K,器件的理想因子由1.8减小至1.2,表明在... 在自支撑衬底n-GaN外延片上制备了圆形Ni/Au/n-GaN肖特基接触结构,测量和分析器件的变温电流-电压(I-V)特性,研究了其正向和反向电流的输运机制。结果表明:在正向偏压下,随着温度从300K增加至420K,器件的理想因子由1.8减小至1.2,表明在高温下复合机制逐渐被热发射机制替代;在反向小偏压下,漏电流表现显著的温度和电压依赖特性,且ln(I)-E^(1/2)数据满足较好线性规律,这表明肖特基效应的电子热发射机制应占主导;而在更高的反向偏压下,电流逐渐变成温度的弱函数,且数据遵循ln(I/E^2)-1/E线性依赖关系,该行为与Fowler-Nordheim隧穿特性一致。 展开更多
关键词 体衬底氮化镓 肖特基二极管 肖特基效应 fowler-nordheim隧穿
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基于常规CMOS工艺的单层多晶硅EEPROM单元设计 被引量:2
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作者 葛优 邹望辉 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期719-724,共6页
设计了一种由两个MOS电容器和一个读取NMOS管构成的单层多晶硅EEPROM存储单元。该EEPROM单元可采用常规CMOS工艺实现,通过在两个MOS电容器端施加一定电压产生n阱和浮栅间电荷的富勒-诺德海姆隧穿效应,从而实现写入和擦除。该结构可以更... 设计了一种由两个MOS电容器和一个读取NMOS管构成的单层多晶硅EEPROM存储单元。该EEPROM单元可采用常规CMOS工艺实现,通过在两个MOS电容器端施加一定电压产生n阱和浮栅间电荷的富勒-诺德海姆隧穿效应,从而实现写入和擦除。该结构可以更为方便地实现对特定位单元进行位粒度的写入和擦除操作。通过常规0.35μm CMOS工艺制作了测试芯片,并搭建测试系统对其进行了测试,对EEPROM单元的写入、擦除、读取以及可靠性等特性进行了详细研究。测试结果表明,存储单元可以在16 V电压下,在小于1 ms时间内被写入,在小于10 ms时间内被擦除;并且在阈值电压窗口保持大于2.5 V的条件下至少循环7000次。 展开更多
关键词 单层多晶硅EEPROM 常规CMOS工艺 MOS电容器 位粒度 富勒-诺德海姆隧穿效应 验证芯片
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Design of 512-bit logic process-based single poly EEPROM IP
8
作者 金丽妍 JANG Ji-Hye +2 位作者 余忆宁 HA Pan-Bong KIM Young-Hee 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2011年第6期2036-2044,共9页
A single poly EEPROM cell circuit sharing the deep N-well of a cell array was designed using the logic process. The proposed cell is written by the FN tunneling scheme and the cell size is 41.26 μm2, about 37% smalle... A single poly EEPROM cell circuit sharing the deep N-well of a cell array was designed using the logic process. The proposed cell is written by the FN tunneling scheme and the cell size is 41.26 μm2, about 37% smaller than the conventional cell. Also, a small-area and low-power 512-bit EEPROM IP was designed using the proposed cells which was used for a 900 MHz passive UHF RFID tag chip. To secure the operation of the cell proposed with 3.3 V devices and the reliability of the used devices, an EEPROM core circuit and a DC-DC converter were proposed. Simulation results for the designed EEPROM IP based on the 0.18 μm logic process show that the power consumptions in read mode, program mode and erase mode are 11.82, 25.15, and 24.08 μW, respectively, and the EEPROM size is 0.12 mm2. 展开更多
关键词 EEPROM 设计过程 逻辑过程 单元电路 RFID标签 仿真结果 程序模式 低功耗
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一种改善三栅分栅快闪存储器耐久性能的方法
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作者 曹子贵 戴敏洁 +3 位作者 高超 黄浩 王卉 程凯 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期759-763,774,共6页
基于三栅分栅闪存在擦除操作F-N隧穿停止时界面电场恒定的特性,提出一种动态擦除电压模型,该模型基于稳定循环操作后浮栅电位的理念,通过实时可监测的浮栅电位值来动态调节闪存器件擦除操作的工作电压,提升了三栅分栅闪存器件的耐久特... 基于三栅分栅闪存在擦除操作F-N隧穿停止时界面电场恒定的特性,提出一种动态擦除电压模型,该模型基于稳定循环操作后浮栅电位的理念,通过实时可监测的浮栅电位值来动态调节闪存器件擦除操作的工作电压,提升了三栅分栅闪存器件的耐久特性。从实际监测数据可以看出,为保持稳定的浮栅电位,浮栅擦除操作电压随着编程/擦除循环次数先快速增加,并在循环10 000次后逐渐趋于饱和。相对于传统的恒擦除电压方式,通过这种新的动态擦除电压方式,器件在经过100 000次循环编程/擦除后阈值电压的漂移从原始1.2 V降低为小于0.4 V,优化了器件耐久性的工作窗口约0.8 V。 展开更多
关键词 闪存储器 三栅分栅 F-N隧穿 耐久性 动态 擦除电压
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超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制 被引量:13
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作者 王彦刚 许铭真 +1 位作者 谭长华 段小蓉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期3884-3888,共5页
研究了恒压应力下超薄栅氧化层n型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(n-MOSFET)软击穿后的导电机制.发现在一定的栅电压Vg范围内,软击穿后的栅电流Ig符合Fowler-Nordheim隧穿公式,但室温下隧穿势垒b的平均值仅为0·936eV,远小于Si/S... 研究了恒压应力下超薄栅氧化层n型金属-氧化物-半导体场效应晶体管(n-MOSFET)软击穿后的导电机制.发现在一定的栅电压Vg范围内,软击穿后的栅电流Ig符合Fowler-Nordheim隧穿公式,但室温下隧穿势垒b的平均值仅为0·936eV,远小于Si/SiO2界面的势垒高度3·15eV.研究表明,软击穿后,处于Si/SiO2界面量子化能级上的电子不隧穿到氧化层的导带,而是隧穿到氧化层内的缺陷带上.b与缺陷带能级和电子所处的量子能级相关;高温下,激发态电子对隧穿电流贡献的增大导致b逐渐降低. 展开更多
关键词 超薄栅氧化层 N-MOSFET 导电机制 软击穿 SI/SIO2 半导体场效应晶体管 势垒高度 量子能级 隧穿电流 氧化物 压应力 栅电流 平均值 量子化 电子对 激发态 界面 缺陷
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AU/(SI/SIO_2)/P-SI薄膜中电流及电致发光机制的分析
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作者 张开彪 马书懿 +1 位作者 马自军 陈海霞 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期135-138,共4页
用射频磁控溅射法制备了具有AU/(SI/SIO2)/P-SI结构的样品,利用I-V特性曲线和电致发光(EL)谱对载流子的输运及复合发光过程进行了研究,用位形坐标理论模型分析的结果表明,在SIO2薄膜中存在2个由于缺陷而形成的发光中心,AU膜中的电子和P... 用射频磁控溅射法制备了具有AU/(SI/SIO2)/P-SI结构的样品,利用I-V特性曲线和电致发光(EL)谱对载流子的输运及复合发光过程进行了研究,用位形坐标理论模型分析的结果表明,在SIO2薄膜中存在2个由于缺陷而形成的发光中心,AU膜中的电子和P型SI中的空穴在较高的电场下以FOWL-ER-NORDHEIM(F-N)隧穿方式进入SIO2薄膜,并通过其中的缺陷中心复合而发光。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 fowler-nordheim(F-N)隧穿 位形坐标
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基于二维异质结的空穴主导福勒-诺德海姆隧穿器件应用于红外成像 被引量:1
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作者 童磊 彭孟 +10 位作者 吴培松 黄鑫宇 李政 彭追日 林润峰 孙侨东 沈亚西 祝雪峰 王鹏 许建斌 叶镭 《Science Bulletin》 SCIE EI CSCD 2021年第2期139-146,M0004,共9页
基于多种二维材料的异质结结构能够有效调控并提高器件性能,在光电探测领域拥有巨大的潜力.然而,大多数已报道的基于一类和二类能带结构的异质结器件存在热载流子浓度高的问题,因此光电流和暗电流比值低、并且受到温度的较大影响,导致... 基于多种二维材料的异质结结构能够有效调控并提高器件性能,在光电探测领域拥有巨大的潜力.然而,大多数已报道的基于一类和二类能带结构的异质结器件存在热载流子浓度高的问题,因此光电流和暗电流比值低、并且受到温度的较大影响,导致光电探测器性能受限.本文报道了二碲化钼/六方氮化硼/二碲化钼/六方氮化硼异质结结构中,在无光照及有光照条件下空穴主导的福勒-诺德海姆量子隧穿输运.该器件在室温环境和低于0.3 nWμm^(-2)激光功率密度的条件下,实现了高于10^(8)的探测率.该器件较快的开关比和高灵敏的探测性能成功地验证了成像功能.将隧穿机制与二维材料多种独特的性质相结合对于新型光电探测器的研究具有重要意义. 展开更多
关键词 光电探测器 异质结结构 载流子浓度 红外成像 探测率 暗电流 六方氮化硼 激光功率密度
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Characterization of the triple-gate flash memory endurance degradation mechanism 被引量:1
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作者 曹子贵 孙凌 李嘉秩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期19-22,共4页
Write/erase degradation after endurance cycling due to electron trapping events in triple-gate flash memory have been detected and analyzed using a UV erasure method. Different from the commonly degradation phenomenon... Write/erase degradation after endurance cycling due to electron trapping events in triple-gate flash memory have been detected and analyzed using a UV erasure method. Different from the commonly degradation phenomenon, write-induced electron trapping in the floating gate oxide, electron trapping in tunneling oxide is observed in triple-gate flash memory. Further, the degradation due to single-electron locally trapping/de-trapping in hornshaped SuperFlash does not occur in the triple-gate flash cell. This is because of planar poly-to-poly erasing in the triple-gate flash cell instead of tip erasing in the horn-shaped SuperFlash cell. Moreover, by TCAD simulation, the trap location is identified and the magnitude of its density is quantified roughly. 展开更多
关键词 快闪记忆体 半导体 氧化层 电子俘获 单电子
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