带旋转的三面互检法

按传统三面互检法评价平面度偏差,结果只能由评价平晶在两条相互垂直的直径线上的测量数值得到,其评价方法与平晶的真实面形偏差存在差异。本文介绍的基于光电探测技术、激光干涉技术、图像处理技术的带旋转三面互检法可以解出平面上N条直径线上的点的面形偏差,可以提高测量准确度。

在多齿分度台上用三位置比较法检定多面棱体的研究

应用数据统计分析方法对在多齿分度台上用三位置比较法及排列互比法检定多面棱体工作角偏差进行了比较。运用谐波分析法分析了多齿分度台的分度误差，找到了在一般情况下用三位置比较法检定多面棱体接近排列互比法的检定结果的理论依据。提出了用多位置比较法检定回分度器件或仪器的分度误差，提高了工作效率。

装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带宽度15mm、平面厚度90mm,此时的变形量峰谷值为0.023λ(λ=632.8nm).通过参考平面装夹自重变形对测量结果影响的模拟检测试验和对比分析,发现参考平面装夹自重变形不仅影响其自身的面形,而且对未变形大口径平面的绝对面形检测结果也有较大影响,面形残差峰谷值基本都在0.011λ,尤其在高精度干涉测量中该影响不可忽略.研究结果可为高精度测量的变形补偿提供参考.

改进三平面互检法中旋转测量次数的定量分析

改进三平面互检法用于干涉测量中的三维面型绝对检测的可行性已经得到验证，而旋转测量次数已经成为影响这种检测方法检测精度的一个主要因素，本文主要对旋转测量次数对改进三平面互检法的检测精度的影响进行定量分析，为改进三平面互检法的完善打下坚实的基础。

改进三平面互检法中测量位置的定量分析

用于涉法进行面型测量时,参考面三维面型的绝对检测是提高其测量精度的一个重要手段,改进三平面互检法在这里应用的可行性已得到验证[1].通过对这种方法中旋转测量次数对最终检测结果的影响进行研究,发现对于不同测量位置其影响也是不同的.本文对改进三平面互检法中各个测量位置的影响进行定量分析,为改进三平面互检法的进一步完善和应用奠定基础.

基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计

研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法:三面互检法。该方法需要三个被测平面,两两组合测量,就能够得到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据。根据Matlab和VC混合编程思想,设计了带界面的三面互检计算软件,能够对任何一台干涉仪所采集到的实验数据进行快速计算,并进行了实验验证,得到了所测干涉仪参考平晶的绝对面形,相对于Zygo软件计算误差为3%。

大口径平面面形绝对测量及重力影响分析

为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片准300 mm口径的待测平面镜进行实验测量分析。对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进行有限元仿真分析,据此对测量数据进行修正并对最终面形结果进行补偿,使测量结果更加逼近真实值。

基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量

提出了一种基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量方法。将双位移传感器反向共轴线扫描测量模式和多角度旋转三面互检技术结合,借助直线长导轨有效扩大平面光学元件测量口径,同时测量过程中不需要使用标准平晶,避免引入标准平晶参考面不确定度分量,测量结果直接溯源到激光波长基准。利用该测量方法对3块∅400 mm口径光学平晶进行面形测量,验证了该测量方法的可行性。

光学平面绝对检验方法的研究

应用两种方法对三个高精度平面进行了测试。第一种方法是Fritz的三面互检法,它利用Zernike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得到的干涉图,然后求出三个面的Zernike多项式系数,从而得到三个面的面形偏差。第二种方法是奇偶函数法,根据函数的奇偶性,把平面的面形函数分解为四类:偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数,分别求出各分量,从而得到三个面的三维面形偏差。对两种方法都编制了理论模拟和实测程序,并进行了实验,实现了无参考面的高精度平面面形测试。

凸形研磨平板在量块修理中的应用

本文介绍了"三面互研法"和"两面互研法"(量块修理的一种方法),比较突出了"两面互研法"的优越性。

一种修正子孔径拼接中系统误差的方法

通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zernike多项式(离焦和像散项)对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合,并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明,该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响,有效提高拼接波面的精度。