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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
被引量:
9
1
作者
王加扣
吴卫东
+3 位作者
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期1513-1517,共5页
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析...
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。
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关键词
等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
Balmer系
fulcher带
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职称材料
题名
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
被引量:
9
1
作者
王加扣
吴卫东
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
机构
四川大学原子与分子物理研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期1513-1517,共5页
基金
国家863计划项目资助课题
中国工程物理研究院基金资助课题(20040867)
文摘
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。
关键词
等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
Balmer系
fulcher带
Keywords
Plasma
HWP-CVD
Balmer lines
fulcher
band
分类号
TL65 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
王加扣
吴卫东
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
9
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