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液相外延法制备0.55eV-GaInAsSb四元合金薄膜及其在热光伏器件中的应用(英文)
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作者 刘磊 陈诺夫 +2 位作者 杨晓丽 汪宇 高福宝 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1258-1262,共5页
利用液相外延法(LPE)在n型GaSb衬底上成功制备了用于热光伏电池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通过原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析评价.X射线能谱(EDAX)分析表明四元合金薄膜的成分为x=0.2,y=0.17.红外傅里叶变换透射谱分析... 利用液相外延法(LPE)在n型GaSb衬底上成功制备了用于热光伏电池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通过原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析评价.X射线能谱(EDAX)分析表明四元合金薄膜的成分为x=0.2,y=0.17.红外傅里叶变换透射谱分析表明,其室温下的吸收截止波长为2.256μm,对应禁带宽度为0.55eV.室温下的霍尔测试结果表明外延膜具有良好的电学性能,其非故意掺杂的薄膜表现为p型,载流子浓度为6.1×1016cm-3,迁移率为512cm2/(V·s).又进一步利用Ga1-xInxAsySb1 -y薄膜制备了不同结构的GaInAsSb基热光伏电池,光谱响应测试表明其量子效率可达60%. 展开更多
关键词 gainassb 液相外延 热光伏 光谱响应
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CH3CSNH2/NH4OH钝化GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器
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作者 刘延祥 唐绍裘 +2 位作者 夏冠群 程宗权 郑燕兰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期132-135,共4页
引入一种新的低毒化合物CH3CSNH2/NH 4OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多,且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与(NH4)2S溶液一样理想的钝化效果.并采用AES和XPS对钝化... 引入一种新的低毒化合物CH3CSNH2/NH 4OH对GaInAsSb化合物探测器的表面进行了钝化处理,可使其暗电流降低一个数量级,动态电阻增大25倍多,且钝化83天后保持良好的钝化效果,取得了与(NH4)2S溶液一样理想的钝化效果.并采用AES和XPS对钝化前后的GaInAsSb材料进行了分析. 展开更多
关键词 CH3CSNH2/NH4OH gainassb 钝化
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MOCVD外延生长GaInAsSb合金半导体薄膜的模式识别和人工神经网络研究
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作者 严六明 吴伟 彭瑞伍 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期241-244,265,共5页
用模式识别和人工神经网络法总结MOCVD外延生长GaInAsSb薄膜的生长条件与外延层组成的关系。结果表明,气相中TMIn和TMSb的含量、Ⅴ/Ⅲ比和生长温度是影响外延层组成的主要因素。用这些参数作特征变量,以外延层... 用模式识别和人工神经网络法总结MOCVD外延生长GaInAsSb薄膜的生长条件与外延层组成的关系。结果表明,气相中TMIn和TMSb的含量、Ⅴ/Ⅲ比和生长温度是影响外延层组成的主要因素。用这些参数作特征变量,以外延层铟含量是否大于06、锑含量是否大于04作为分类标准,可得到良好的模式识别分类效果和人工神经网络交叉检验结果。 展开更多
关键词 模式识别 人工神经网络 MOCVD gainassb
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共振腔增强GaInAsSb光电探测器设计及数值模拟 被引量:1
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作者 李军 宋航 +3 位作者 金亿鑫 蒋红 缪国庆 赵海峰 《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第4期69-72,共4页
设计了一种从衬底入射的共振腔增强型GaInAsSb/GaSb光电探测器结构。在这种结构中,上反射镜是由9.5~15.5个周期的InAs/GaSbQWS组成,下反射镜由3个周期的SiO2/SiQWS组成。器件上表面镀有一层高透射率的抗反射层。计算表明,在设计的工作... 设计了一种从衬底入射的共振腔增强型GaInAsSb/GaSb光电探测器结构。在这种结构中,上反射镜是由9.5~15.5个周期的InAs/GaSbQWS组成,下反射镜由3个周期的SiO2/SiQWS组成。器件上表面镀有一层高透射率的抗反射层。计算表明,在设计的工作波长2.4mm,器件可以获得大约(91~88)%的量子效率。在2~2.9mm波长范围器件的量子效率有两个峰,这使得器件可以作为双色探测器来工作。 展开更多
关键词 共振腔增强 gainassb 光电探测器 DBR 反射率 量子效率
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GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器及其Ⅰ-Ⅴ特性的研究 被引量:1
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作者 刘延祥 夏冠群 +1 位作者 唐绍裘 程宗权 《红外》 CAS 2004年第5期1-4,共4页
本文简单介绍了GaInAsSb/GaSb PIN探测器的结构及工作原理,重点分析了生长窗口层和硫钝化两种不同的改善探测器Ⅰ-Ⅴ反向偏软的特性的方法。
关键词 红外探测器 I-V特性 镓铟砷锑材料 锑化镓材料 禁带宽度
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纳米光子学结构对GaInAsSb p-n结红外光电性能的调控
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作者 皇甫夏虹 刘双飞 +2 位作者 肖家军 张蓓 彭新村 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期333-341,共9页
GaInAsSb在红外光电领域具有重要应用价值,但是窄带隙材料较高的本征载流子浓度和俄歇复合系数使其室温暗电流密度较高,需要进行制冷才能获得满足应用要求的光电性能.本文利用表面宽带隙半导体纳米柱阵列和背面高反射率金属对GaInAsSb ... GaInAsSb在红外光电领域具有重要应用价值,但是窄带隙材料较高的本征载流子浓度和俄歇复合系数使其室温暗电流密度较高,需要进行制冷才能获得满足应用要求的光电性能.本文利用表面宽带隙半导体纳米柱阵列和背面高反射率金属对GaInAsSb p-n结有源区进行双面光调控,将光限制在较薄的有源区进行吸收,从而提升光电转换量子效率并降低室温暗电流.采用时域有限差分方法仿真分析光学性能,采用数值分析方法求解载流子输运方程以分析光电性能.理论结果表明,在当前工艺水平下,双面光调控结构通过激发光学共振效应可以使厚度1μm的Ga_(0.84)In_(0.16)As_(0.14)Sb_(0.86) p-n结在1.0—2.3μm红外波段的平均量子效率达到90%,扩散暗电流密度可达5×10^(–6) A/cm^(2),暗电流主要来自于表面复合,俄歇复合的贡献较小. 展开更多
关键词 纳米光子学 gainassb 红外
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2.4μm GaInAsSb红外探测器台面腐蚀研究
7
作者 梁帮立 夏冠群 +1 位作者 富小妹 程宗权 《微电子技术》 2000年第4期24-27,共4页
本文提出了适于2.μm GaInsSb台面结构探测器制备的HF/H2O2/ C4H6O6/H2O腐蚀液体系,并确定了合适的成分配比。实验结果表明,该腐蚀液 体系对GaInAsSb材料腐蚀速度适中、侧向腐蚀小、不破坏光刻... 本文提出了适于2.μm GaInsSb台面结构探测器制备的HF/H2O2/ C4H6O6/H2O腐蚀液体系,并确定了合适的成分配比。实验结果表明,该腐蚀液 体系对GaInAsSb材料腐蚀速度适中、侧向腐蚀小、不破坏光刻胶保护、腐蚀面 平整、腐蚀槽齐整、受外延付表面质量影响较小。 展开更多
关键词 gainassb 红外探测器 台面腐蚀
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Compositional Dependence of Surface Morphology and Electrical Properties of GaInAsSb Alloys Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
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作者 宁永强 周天明 +5 位作者 张宝林 蒋红 李树纬 元光 田园 金亿鑫 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第2期70-74,共5页
MOCVD growth and characterization of GaSb rich and InAs rich GaInAsSb on GaSb substrates were investigated. The surface of InAs rich GaInAsSb epilayer was different from GaSb rich film. The flux of TMSb in vapor p... MOCVD growth and characterization of GaSb rich and InAs rich GaInAsSb on GaSb substrates were investigated. The surface of InAs rich GaInAsSb epilayer was different from GaSb rich film. The flux of TMSb in vapor phase might be the cause of the different surface features between GaSb rich and InAs rich epilayers. The n type conduction of InAs rich GaInAsSb was also different from GaSb rich samples. The p type conduction is often attributed to native lattice defect or carbon impurity on group Ⅴ sites. Carbon might occupies group Ⅲ sites as donor in InAs rich GaInAsSb film. The strength of the chemical bonding between carbon and group Ⅲ or group Ⅴ elements had much to do with the carbon impurity site preference, resulting in the two type conductions of GaInAsSb film grown by MOCVD. 展开更多
关键词 MOCVD gainassb Surface morphology Electrical property
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Prediction of Composition of GaInAsSb Epilayers by MOCVD Using Pattern Recognition and Artificial Neural Network Method
9
作者 严六明 吴伟 彭瑞伍 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第1期37-41,共5页
he pattern recognition method and artificial neural network method to predict the composition of epilayer of GaInAsSb by MOCVD. It is concluded that a neural network with the composition of the vapor phase and growth ... he pattern recognition method and artificial neural network method to predict the composition of epilayer of GaInAsSb by MOCVD. It is concluded that a neural network with the composition of the vapor phase and growth temperature as training data can predict the composition of the epilayers. Satisfactory pattern recognition and artificial neural network classification results were obtained by using four technical parameters as characteristic features and the epilayers composition as classification criteria. 展开更多
关键词 Pattern recognition Artificial neural network MOCVD gainassb
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Preparation of LPE GaInAsSb Epilayers and Its Photodiodes for Detection of 1.8~2.1μm
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作者 徐晨梅 彭瑞伍 +2 位作者 韦光宇 吴伟 励翠云 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1994年第1期26-30,共5页
Growth of GaInAsSb epilayer by liquid phase epitaxy (LPE) was reported. The LPE system with a hor-izontal sliding graphite boat was employed. The Te-doped (100) GaSb wafer was chosen as substrate. Thephysical properti... Growth of GaInAsSb epilayer by liquid phase epitaxy (LPE) was reported. The LPE system with a hor-izontal sliding graphite boat was employed. The Te-doped (100) GaSb wafer was chosen as substrate. Thephysical properties of the GalnAsSb / GaSb heterostructure were investigated by double crystal X-ray rock-ing diffraction and photoluminescence. The p-GaInAsSb/ n-GaSb photodiode was made by using theseheterostructure materials .The detectivity of the photodiode D* is 4.65 ×10 ̄9 cm . Hz ̄(1 /2) W ̄(-1). 展开更多
关键词 gainassb LPE Infrared detector p-n photodiode
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Scanning Electron Acoustic Microscopy of GaInAsSb by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
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作者 李树玮 金亿鑫 +3 位作者 周天明 张宝林 宁永强 蒋红 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1996年第2期101-105,共5页
Scanning electron acoustic microscopy (SEAM) is a new technique for imasing and characterization ofthermal, elastic and pyroelectric property variations on a microscale resolution. The signal generation mechanisms and... Scanning electron acoustic microscopy (SEAM) is a new technique for imasing and characterization ofthermal, elastic and pyroelectric property variations on a microscale resolution. The signal generation mechanisms and the application of scanning electron acoustic microscopy in GalnAsSb alloy grown by MOCVD wereinvestigated. Defects below the surface of GalnAsSb alloy were found by SEAM images and cathodelumi-nescence. The results show that electronacoustic imaging has its own features over secondary electron imag-ing. 展开更多
关键词 Scanning electron acoustic microscopy Electron-acoustic imaging gainassb MOCVD
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p~+-GaInAsSb/p-GaInAsSb/n-GaSb异质结红外控测器
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作者 李树玮 金亿鑫 +4 位作者 张宝林 周天明 蒋红 宁永强 元光 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第2期7-11,共5页
GaInAsSb是红外探测器中重要的半导体材料之一。我们用水平常压金属氧化物化学气相淀积(MOCVD)技术在n型GaSb衬底上成功地生长了GaInAsSb外延层,用PL谱、红外吸收谱、X射线衍射和扫描电子超声显微镜(... GaInAsSb是红外探测器中重要的半导体材料之一。我们用水平常压金属氧化物化学气相淀积(MOCVD)技术在n型GaSb衬底上成功地生长了GaInAsSb外延层,用PL谱、红外吸收谱、X射线衍射和扫描电子超声显微镜(ScanningElectronAcousticMicroscopy,SEAM)等实验手段对GaInAsSb外延层进行了表征。用GaInAsSb材料制作的红外探测器的光谱响应的截止波长达2.4μm,室温探测率D*达1×109cmHz(1/2)/W,2.25μm波长时的量子效率为30%。本文首次给出了GaInAsSb外延层的扫描电子超声显微镜像(SEAM像),为扫描电子超声显微镜在半导体材料方面的应用开辟了一个新的领域。 展开更多
关键词 红外探测器 电子超声显微镜 红外辐射
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中红外GaInAsSb PIN多结光伏探测器设计与数值模拟
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作者 梁帮立 夏冠群 +1 位作者 周咏东 范叔平 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期114-119,共6页
从非平衡载流子的扩散 -复合理论出发 ,提出 PIN多结探测器材料结构 ,并建立了理论模型进行定量计算 ,从理论上解决了不能同时兼顾增大量子效率与光电增益和降低噪声的矛盾。利用该模型对 Ga In As Sb材料体系作了数值模拟 ,单结器件性... 从非平衡载流子的扩散 -复合理论出发 ,提出 PIN多结探测器材料结构 ,并建立了理论模型进行定量计算 ,从理论上解决了不能同时兼顾增大量子效率与光电增益和降低噪声的矛盾。利用该模型对 Ga In As Sb材料体系作了数值模拟 ,单结器件性能的计算值和实测值基本吻合 ,并根据多结器件模拟结果设计了工作于2 .4μm波段的 Ga In As Sb 展开更多
关键词 镓铟砷锑 多结结构 数值模拟 红外探测器 光伏探测器
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GaInAsSb/GaSb红外探测器抗反膜的研究 被引量:1
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作者 刘延祥 夏冠群 +2 位作者 唐绍裘 李志怀 程宗权 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期327-332,共6页
简单介绍了单层抗反膜的增透原理,并以Si片作为基片采用磁控溅射的方法制备了A l2O3、SiO2和ZrO2三种抗反膜。膜层的反射率测试结果表明:生长ZrO2膜后表面反射率下降可达30%;同时通过对GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器蒸镀抗反膜前后的器件... 简单介绍了单层抗反膜的增透原理,并以Si片作为基片采用磁控溅射的方法制备了A l2O3、SiO2和ZrO2三种抗反膜。膜层的反射率测试结果表明:生长ZrO2膜后表面反射率下降可达30%;同时通过对GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器蒸镀抗反膜前后的器件的I-V特性及黑体探测率的测试表明:蒸镀ZrO2膜后GaInAsSb/GaSb PIN红外探测器的黑体探测率平均提高了60.28%,远大于蒸镀A l2O3、SiO2后的48.91%和40.04%,说明ZrO2膜是一种较理想的单层抗反膜,使器件性能有所提高。 展开更多
关键词 抗反膜 gainassb/GASB 反射率I-V 黑体探测率
原文传递
PIN结构GaInAsSb红外探测器的PSPICE模型
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作者 李志怀 夏冠群 +2 位作者 程宗权 黄文奎 伍滨和 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第1期34-38,共5页
研究了PIN结构GaInAsSb红外探测器的暗电流特性,建立了器件的PSPICE模型。模拟结果与实际测试结果基本符合。计算结果表明,器件表面和内部的缺馅及表面复合电流对器件的反向特性起主要作用,当反向偏压大于0.35V,缺陷引起的隧穿电流对器... 研究了PIN结构GaInAsSb红外探测器的暗电流特性,建立了器件的PSPICE模型。模拟结果与实际测试结果基本符合。计算结果表明,器件表面和内部的缺馅及表面复合电流对器件的反向特性起主要作用,当反向偏压大于0.35V,缺陷引起的隧穿电流对器件暗电流起主要作用。 展开更多
关键词 gainassb 红外控制器 PSPICE
原文传递
Effect of carrier recombination mechanisms on the open circuit voltage of n^+-p GaInAsSb thermophotovoltaic cells
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作者 彭新村 郭欣 +5 位作者 张宝林 李香萍 赵晓薇 董鑫 郑伟 杜国同 《Optoelectronics Letters》 EI 2010年第1期11-14,共4页
By analyzing the main recombination mechanisms in GaInAsSb materials, the dependences of the dark current density and open circuit voltage in n+-p GaInAsSb thermophotovoltaic cells on the recombination parameters, car... By analyzing the main recombination mechanisms in GaInAsSb materials, the dependences of the dark current density and open circuit voltage in n+-p GaInAsSb thermophotovoltaic cells on the recombination parameters, carrier concentration and cell thickness are calculated. The results show that the dark current mainly comes from p-region, and it is related with the surface and Auger recombinations in low and high carrier concentration ranges, respectively. The surface and Auger recombinations can be suppressed by reducing the surface recombination velocity and carrier concentration, respectively. The dark current density can be suppressed by optimizing material parameters and device surface passivation technique. So the high open circuit voltage can be obtained for GaInAsSb thermophotovoltaic cells. 展开更多
关键词 gainassb 重组机制 开路电压 电池 光电 表面复合速度 运营商 载流子浓度
原文传递
Ga_xIn_(1-x)As_(1-y)Sb_y合金的MOCVD生长 被引量:1
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作者 周天明 张宝林 +6 位作者 蒋红 宁永强 刘乃康 金亿鑫 元金山 缪国庆 葛中久 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期145-153,共9页
用水平常压MOCVD系统生长了2—4μm波段的Ga_xIn_(1-x)As_(1-y)Sb_y合金.气相源包括三甲基镓、三甲基铟,三甲基锑(TMGa、TMIn、TMSb)及砷烷(AsH_3).研究了富GaSb的Ga_xIn_(1-x)As_(1-y)Sb_y的生长特性.发现Ⅴ族源输入绝对量影响Ⅴ族元... 用水平常压MOCVD系统生长了2—4μm波段的Ga_xIn_(1-x)As_(1-y)Sb_y合金.气相源包括三甲基镓、三甲基铟,三甲基锑(TMGa、TMIn、TMSb)及砷烷(AsH_3).研究了富GaSb的Ga_xIn_(1-x)As_(1-y)Sb_y的生长特性.发现Ⅴ族源输入绝对量影响Ⅴ族元素的分布系数及Ⅲ族源的利用效率.这表明表面反应动力学对生长有一定影响.固相组分由微电子探针测量.用光致发光、红外吸收技术对合金进行了表征.光致发光光谱半高宽,在2.13μm处仅为30meV.用光致发光,红外吸收测量的结果导出四元合金的带隙G_g~∞,并由组分x,y计算了带隙,实验和计算的结果符合得很好.PL谱半高宽较宽和红外吸收谱的吸收边较缓是可能在固相中存在组分群造成的. 展开更多
关键词 合金 MOCVD gainassb
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Ga-In-As-Sb系合金固-液平衡和人工神经网络预报
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作者 严六明 吴伟 +2 位作者 张靖巍 陈念贻 彭瑞伍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第8期603-607,共5页
本文用DTA法测量了Ga-In-As-Sb系合金的液相线温度,并用滑舟法在Gash衬底上生长液相外延膜,并用电子探针法分析膜的成分.在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型,神经网络模型用交叉检验法测试是... 本文用DTA法测量了Ga-In-As-Sb系合金的液相线温度,并用滑舟法在Gash衬底上生长液相外延膜,并用电子探针法分析膜的成分.在此基础上利用实验数据和文献数据训练人工神经网络模型,神经网络模型用交叉检验法测试是否过拟合.经测试合格的神经网络可以预报液相线温度和外延层组成. 展开更多
关键词 固-液平衡 神经网络 半导体材料 gainassb
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MOCVD法生长Ga_(l-X)In_xAs_(l-y)Sb_y的物化研究
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作者 韦光宇 彭瑞伍 +1 位作者 任尧成 丁永庆 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期419-423,共5页
为更好地控制MOCVD Ⅲ-Ⅴ族锑化物的生长,改进外延层性质,本文用物理化学方法研究了Ga_(1-x)In_xAs_(1-y)Sb_y合金的生长过程。用热力学的“平衡模型”计算了铟和锑的分配系数及外延层固相组成与生长条件的关系,用化学动力学方法推导了... 为更好地控制MOCVD Ⅲ-Ⅴ族锑化物的生长,改进外延层性质,本文用物理化学方法研究了Ga_(1-x)In_xAs_(1-y)Sb_y合金的生长过程。用热力学的“平衡模型”计算了铟和锑的分配系数及外延层固相组成与生长条件的关系,用化学动力学方法推导了当外延过程为物质扩散控制、化学反应控制及混合控制时的外延层生长速率公式,结果均符合实验规律。 展开更多
关键词 MOCVD gainassb合金 外延生长 研究
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Properties of GaSb Substrate Wafers for MOCVD Ⅲ-Ⅴ Antimonids
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作者 彭瑞伍 丁永庆 +1 位作者 徐晨梅 王占国 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第3期2-6,共5页
The properties of GaSb substrates commonly used for the preparation of Ⅲ Ⅴ antimonide epilayers were studied before and after growing GaInAsSb multi layers by MOCVD using PL, FTIR and DCXD together with the electr... The properties of GaSb substrates commonly used for the preparation of Ⅲ Ⅴ antimonide epilayers were studied before and after growing GaInAsSb multi layers by MOCVD using PL, FTIR and DCXD together with the electrical properties and EPD values. The correlation between the substrate qualities and epilayer properties was briefly discussed. The good property epilayers of GaInAsSb and, then, the high performance of 2.3 μm photodetectors were achieved only when the good quality GaSb wafers was used as the substrates. 展开更多
关键词 GaSb substrate gainassb epilayer MOCVD antimonide PL FTIR DCXD
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