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GaN缓冲层对生长InN薄膜的影响
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作者 刘斌 张荣 +5 位作者 谢自力 修向前 李亮 刘成祥 韩平 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期101-104,共4页
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长六方相InN薄膜,利用氮化镓(GaN)缓冲层技术制备了高质量薄膜,得到了其能带带隙0.7eV附近对应的光致发光光谱(PL).通过比较未采用缓冲层,同时采用低温和高温GaN缓冲层,以及低温GaN缓冲层结合... 采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长六方相InN薄膜,利用氮化镓(GaN)缓冲层技术制备了高质量薄膜,得到了其能带带隙0.7eV附近对应的光致发光光谱(PL).通过比较未采用缓冲层,同时采用低温和高温GaN缓冲层,以及低温GaN缓冲层结合高温退火三种生长过程,发现低温GaN缓冲层结合高温退火过程能够得到更优表面形貌和晶体质量的InN薄膜,同时表征了材料的电学性质和光学性质.通过对InN薄膜生长模式的讨论,解释了薄膜表面形貌和晶体结构的差异. 展开更多
关键词 六方相InN MOCVD gan缓冲层
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GaN缓冲层对直流反应磁控溅射AlN薄膜的影响(英文)
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作者 王新建 宋航 +5 位作者 黎大兵 蒋红 李志明 缪国庆 陈一仁 孙晓娟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1089-1094,共6页
通过直流磁控反应溅射制备了氮化铝(AlN)薄膜,研究了沉积条件与氮化镓(GaN)缓冲层对薄膜质量的影响。利用X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的晶体结构和表面形貌。XRD研究结果表明,低工作压强、短靶距和适当的氮气偏压有... 通过直流磁控反应溅射制备了氮化铝(AlN)薄膜,研究了沉积条件与氮化镓(GaN)缓冲层对薄膜质量的影响。利用X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的晶体结构和表面形貌。XRD研究结果表明,低工作压强、短靶距和适当的氮气偏压有利于(002)择优取向的AlN薄膜沉积。随着沉积时间的增加,沉积在50 nm厚的GaN缓冲层上的AlN薄膜的(002)面的衍射峰的半高宽急剧减小,而沉积在1μm厚的GaN薄膜上的AlN薄膜的(002)面的衍射峰的半高宽几乎不变。SEM测试结果表明:在沉积的初期,沉积在1μm厚的GaN薄膜上的AlN薄膜的(002)面的晶粒大小分布比沉积在50 nm厚的GaN缓冲层上的AlN薄膜的均匀,而随着沉积时间的增加,它们的晶粒大小分布几乎趋向一致。 展开更多
关键词 ALN gan缓冲层 晶体结构 晶粒尺寸
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在6H-SiC衬底上用低压MOVPE法生长AlN和GaN的过程中用(AlN/GaN)多层缓冲层来控制残余应力
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作者 Ishihara Y Kawanishi H Takano T Horie M 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期5-9,共5页
人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件.GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料.6H-SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近.然而,对于AlN外延层来说... 人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件.GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料.6H-SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近.然而,对于AlN外延层来说,需要控制其中的残余应力,因为在SiC衬底上直接生长的AlN外延层中存在着因晶格失配所产生的压缩应力.另一方面,在SiC衬底上直接生长的GaN外延层中存在着拉伸应力.这种拉伸应力起源于GaN比衬底有着更大的热膨胀系数.本文讨论了在6H-SiC衬底上生长的氮化物外延层中残余应力的类型、数量及控制.为此目的,提出了在6H-SiC衬底上,无论是生长AlN,还是生长GaN,都可以采用(GaN/AlN)多层缓冲层的办法,作为控制残余应力的有效方法.我们还讨论了AlN和GaN外延层的结晶质量和残余应力间的关系. 展开更多
关键词 残余应力控制 AlN和gan外延 (AlN/gan)多缓冲 低压MOVPE
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在6H-SiC衬底上用低压MOVPE法生长AlN和GaN的过程中用(AlN/GaN)多层缓冲层来控制残余应力(英文)
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作者 Horie M Ishihara Y +1 位作者 Takano T Kawanishi H 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期5-9,共5页
人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延... 人们已提出用BAlGaN四元系材料制备紫外光谱区的光发射器件。GaN和AlN二元系是这种四元材料在器件应用中的基础材料。 6H SiC衬底在氮化物生长中因其晶格失配小是一大优势 ,而且SiC衬底的热膨胀系数也和AlN的很接近。然而 ,对于AlN外延层来说 ,需要控制其中的残余应力 ,因为在SiC衬底上直接生长的AlN外延层中存在着因晶格失配所产生的压缩应力。另一方面 ,在SiC衬底上直接生长的GaN外延层中存在着拉伸应力。这种拉伸应力起源于GaN比衬底有着更大的热膨胀系数。本文讨论了在 6H SiC衬底上生长的氮化物外延层中残余应力的类型、数量及控制。为此目的 ,提出了在 6H SiC衬底上 ,无论是生长AlN ,还是生长GaN ,都可以采用 (GaN/AlN)多层缓冲层的办法 ,作为控制残余应力的有效方法。我们还讨论了AlN和GaN外延层的结晶质量和残余应力间的关系。 展开更多
关键词 残余应力控制 AlN和gan外延 (AlN/gan)多缓冲 低压MOVPE
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GaN基异质结缓冲层漏电分析 被引量:2
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作者 张进城 董作典 +3 位作者 秦雪雪 郑鹏天 刘林杰 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1959-1965,共7页
通过对GaN基异质结材料C-V特性中耗尽电容的比较,得出AlGaN/GaN异质结缓冲层漏电与成核层的关系.实验结果表明,基于蓝宝石衬底低温GaN成核层和SiC衬底高温AlN成核层的异质结材料比基于蓝宝石衬底低温AlN成核层异质结材料漏电小、背景载... 通过对GaN基异质结材料C-V特性中耗尽电容的比较,得出AlGaN/GaN异质结缓冲层漏电与成核层的关系.实验结果表明,基于蓝宝石衬底低温GaN成核层和SiC衬底高温AlN成核层的异质结材料比基于蓝宝石衬底低温AlN成核层异质结材料漏电小、背景载流子浓度低.深入分析发现,基于薄成核层的异质结材料在近衬底的GaN缓冲层中具有高浓度的n型GaN导电层,而基于厚成核层的异质结材料的GaN缓冲层则呈高阻特性.GaN缓冲层中的n型导电层是导致器件漏电主要因素之一,适当提高成核层的质量和厚度可有效降低GaN缓冲层的背景载流子浓度,提高GaN缓冲层的高阻特性,抑制缓冲层漏电. 展开更多
关键词 ALgan/gan异质结 gan缓冲层 漏电 成核
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Characterization of GaN Buffer Layers and Its Epitaxial Layers Grown by MOCVD 被引量:2
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作者 LIU Bao lin (Dept. of Phys., Xiamen University, Xiamen 361005, CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2002年第1期9-13,共5页
Low pressure MOCVD has been used to investigate the properties of low temperature buffer layer deposition conditions and their influence on the properties of high temperature GaN epilayers grown subsequently. It is fo... Low pressure MOCVD has been used to investigate the properties of low temperature buffer layer deposition conditions and their influence on the properties of high temperature GaN epilayers grown subsequently. It is found that the surface morphology of the as grown buffer layer after thermal annealing at 1 030 ℃ and 1 050 ℃ depends strongly on the thickness of the buffer layer. In particular when a thick buffer layer is used, large trapezoidal nuclei are formed after annealing. 展开更多
关键词 MOCVD gan Buffer layer EPILAYER CHARACTERISTICS
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Effect of the V/Ⅲ ratio during buffer layer growth on the yellow and blue luminescence in undoped GaN epilayer 被引量:2
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作者 CHAI XuZhao ZHANG Yun +7 位作者 LIU Bin XIE ZiLi HAN Ping YE JianDong HU LiQun XIU XiangQian ZHANG Rong ZHENG YouDou 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2013年第9期1694-1698,共5页
Effect of the V/III ratio during buffer layer growth on the yellow and blue luminescence in undoped GaN epilayer has been studied by means of photoluminescence spectroscopy and high resolution X-ray diffraction.It is ... Effect of the V/III ratio during buffer layer growth on the yellow and blue luminescence in undoped GaN epilayer has been studied by means of photoluminescence spectroscopy and high resolution X-ray diffraction.It is found that the densities of screw and edge threading dislocations increase with the V/III ratio of the buffer layer,and the intensities of the yellow luminescence(YL) and blue luminescence(BL) emissions also increase dramatically.However,the density ratio of the edge threading dislocation to the screw threading dislocation remains invariant,as well as the intensity ratio of YL emission to BL emission.It can be concluded from these phenomena that the edge threading dislocation and screw threading dislocation can enhance the YL and BL emissions,respectively. 展开更多
关键词 yellow luminescence blue luminescence V/Ⅲ ratio
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