光刻机工件台解耦矩阵校准测试方法研究

为了有效地降低GB(Gain Balance)解耦矩阵对光刻机工件台运动精度的影响,提出了一种基于传递函数法的工件台微动台GB解耦矩阵校准测试方案。首先对工件台的机械结构进行分析,然后利用微动台的运动力学合成分解关系,进行六自由度解耦求解,最后对校准后的工件台的定位精度和运动精度进行测试。测试结果表明,微动台各轴之间的串扰都有所降低,工件台的运动性能得到了提升。