基于SECS/GEM标准的半导体设备配方管理系统设计

设计了一种基于SECS/GEM标准的半导体封装测试设备配方管理系统(RMS),该系统能够实现配方(recipe)程序的上传、下载、参数修改调优以及设备状态实时监控等,减少了半导体生产过程中使用程序错误、错误修改参数等因素产生的生产事故和良品率降低等问题。实际应用表明,该系统可缩短产品生产周期,提高设备的综合效率。

GEM标准在CMP系统上的应用

以当代最先进的自动化工厂(FA)走势为依据,结合化学机械抛光(CMP)系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS\GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。

基于Java虚拟机的开放式交互数字电视平台的构建

从计算机网络技术的角度 ,分析交互式数字电视平台的构建必须以开放的Java网络技术为基础 ,构建Java虚拟机 ,在Java虚拟机的基础上 ,以标准中间件作为应用接口 。