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8英寸半导电型GaAs单晶衬底的制备与性能表征
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作者 任殿胜 王志珍 +1 位作者 张舒惠 王元立 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期487-496,共10页
本文使用垂直梯度凝固(VGF)法制备了直径超过200 mm的Si掺杂GaAs单晶。通过多线切割、磨边、研磨、化学机械抛光和湿法化学清洗等加工工序制备出8英寸半导电型GaAs单晶衬底。使用X射线衍射、位错密度检测、霍尔测试、非接触式表面电阻... 本文使用垂直梯度凝固(VGF)法制备了直径超过200 mm的Si掺杂GaAs单晶。通过多线切割、磨边、研磨、化学机械抛光和湿法化学清洗等加工工序制备出8英寸半导电型GaAs单晶衬底。使用X射线衍射、位错密度检测、霍尔测试、非接触式表面电阻率测试、光致发光测试和晶圆表面缺陷检测等对8英寸GaAs衬底的晶体质量、位错、电学性能和表面质量等特性进行了测试分析。结果表明:衬底(400)衍射峰半峰全宽低于0.009°;平均位错密度低于30 cm^(-2),其中,晶体头部平均位错密度为1.7 cm^(-2),且有98.87%的面积位错密度为0;衬底面内电阻率标准差小于6%,面内光致发光强度标准差小于4%,≥0.2μm的表面光点缺陷(LPD)个数小于10。上述结果表明,所制备的8英寸GaAs衬底质量优异,满足外延器件对高质量衬底的要求。 展开更多
关键词 gaas 垂直梯度凝固 8英寸 单晶衬底 位错密度
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Sb吸附在GaAs(110)(1×1)-Sb(1ML)表面上的电子态特性 被引量:1
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作者 贾瑜 马丙现 +2 位作者 顾华伟 魏英耐 范希庆 《郑州大学学报(自然科学版)》 CAS 1999年第1期38-43,共6页
采用紧束缚的sp3s模型描述体电子态,用散射理论的格林函数方法研究了Sb吸附在GaAs(110)表面上的电子特性.计算结果表明:在-12eV—+2eV的能区内有9个表面态存在,对于这样的金属/半导体系统仍有带隙存在... 采用紧束缚的sp3s模型描述体电子态,用散射理论的格林函数方法研究了Sb吸附在GaAs(110)表面上的电子特性.计算结果表明:在-12eV—+2eV的能区内有9个表面态存在,对于这样的金属/半导体系统仍有带隙存在,其带隙宽度为0.4eV左右;体系的性质表现为半导体的性质。 展开更多
关键词 吸附 表面态密度 电子套 砷化镓 半导体
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用分子束外延技术在GaAs(110)衬底上生长AlGaAs材料 被引量:1
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作者 刘林生 王文新 +8 位作者 刘肃 赵宏鸣 刘宝利 蒋中伟 高汉超 王佳 黄庆安 陈弘 周均铭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1411-1414,共4页
采用分子束外延技术在GaAs(110)衬底上制备了一系列生长温度和As2/Ga束流等效压强比不同的样品,通过室温光致发光谱、高分辨X射线衍射仪和低温光致发光谱对这些样品进行了分析,找到了在GaAs(110)衬底上生长高质量高Al组分的Al0.4Ga0.6A... 采用分子束外延技术在GaAs(110)衬底上制备了一系列生长温度和As2/Ga束流等效压强比不同的样品,通过室温光致发光谱、高分辨X射线衍射仪和低温光致发光谱对这些样品进行了分析,找到了在GaAs(110)衬底上生长高质量高Al组分的Al0.4Ga0.6As生长条件. 展开更多
关键词 分子束外延 砷化镓衬底 铝镓砷材料
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氯在GaAs(110)表面的吸附
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作者 徐彭寿 赵特秀 +2 位作者 季明荣 吴建新 刘先明 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1989年第6期457-460,共4页
测量了吸附不同量的氯后GaAs(110)表面UPS谱及功函数的变化。结果表明随氯吸附量的增加,其功函数变大。提出功函数的改变主要由电离能的变化而引起。
关键词 gaas(110) 吸附
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Influence of Surface Structures on Quality of CdTe(100) Thin Films Grown on GaAs(100) Substrates 被引量:2
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作者 顾义 郑慧君 +3 位作者 陈熙仁 李家明 聂天晓 寇煦丰 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2018年第8期62-65,共4页
We report the epitaxial growth of single-crystalline Cd Te(100) thin films on Ga As(100) substrates using molecular beam epitaxy. By controlling the substrate pre-heated temperature with adjustable Te flux, three ... We report the epitaxial growth of single-crystalline Cd Te(100) thin films on Ga As(100) substrates using molecular beam epitaxy. By controlling the substrate pre-heated temperature with adjustable Te flux, three different reconstructed surfaces are realized, and their influence on the subsequent Cd Te growth is investigated. More importantly, we find that both the presence of a thin native oxide layer and the formation of Ga-As-Te bonds at the interface enable the growth along the(100) orientation and help to reduce the threading dislocations and other defects. Our results provide new opportunities for compound semiconductor heterogeneous growth via interfacial engineering. 展开更多
关键词 Thin Films Grown on gaas Te Ga substrates Cd RHEED
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Epitaxial Growth and Magnetic Properties of NiMnAs Films on GaAs Substrates
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作者 马佳淋 王海龙 +3 位作者 张兴民 闫帅 闫文盛 赵建华 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2019年第1期65-69,共5页
Single-phase Ni_(0.92)Mn_(1.08) As films with strained C_(1b) symmetry are grown on GaAs(001) substrates. In addition,a preferred epitaxial configuration of(110)-orientated Ni_(0.92)Mn_(1.08) As on(001)-orientated GaA... Single-phase Ni_(0.92)Mn_(1.08) As films with strained C_(1b) symmetry are grown on GaAs(001) substrates. In addition,a preferred epitaxial configuration of(110)-orientated Ni_(0.92)Mn_(1.08) As on(001)-orientated GaAs is revealed by synchrotron radiation measurement. The magnetic properties of the films are found to be significantly influenced by the growth temperature and the optimized growth temperature is determined to be ~370℃. According to the results of x-ray absorption spectroscopy, these phenomena can be attributed to the variation of the local electronic structure of the Mn atoms. Our work provides useful information for the further investigations of NiMnAs, which is a theoretically predicted half-metal. 展开更多
关键词 EPITAXIAL GROWTH MAGNETIC Properties gaas substrates
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Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of InAs/GaAs Quantum Dots Directly Grown on Si Substrates
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作者 王霆 刘会赟 张建军 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第4期52-55,共4页
The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantu... The first operation of an electrically pumped 1.3μm InAs/GaAs quantum-dot laser was previously reported epitaxially grown on Si (100) substrate. Here the direct epitaxial growth condition of 1.3μm InAs/OaAs quantum on a Si substrate is further investigated using atomic force microscopy, etch pit density and temperature-dependent photoluminescence (PL) measurements. The PL for Si-based InAs/GaAs quantum dots appears to be very sensitive to the initial OaAs nucleation temperature and thickness with strongest room-temperature emission at 40000 (17Onto nucleation layer thickness), due to the lower density of defects generated under this growth condition, and stronger carrier confinement within the quantum dots. 展开更多
关键词 gaas INAS Temperature-Dependent Photoluminescence Characteristics of InAs/gaas Quantum Dots Directly Grown on Si substrates of SI on
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High-Performance In0.23Ga0.77As Channel MOSFETs with High Current Ratio Ion/Ioff Grown on Semi-insulating GaAs Substrates by MOCVD
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作者 孔祥挺 周旭亮 +4 位作者 李士颜 乔丽君 刘洪刚 王圩 潘教青 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第3期121-123,共3页
We demonstrate high-performance In0.23 Ga0.77 As channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors ( MOS- FETs) with high on-current to off-current (Ion/Ioff) ratio grown on semi-insulating GaAs wafers by... We demonstrate high-performance In0.23 Ga0.77 As channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors ( MOS- FETs) with high on-current to off-current (Ion/Ioff) ratio grown on semi-insulating GaAs wafers by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The 2μm channel-length devices exhibit a peak extrinsic transeonductance of 150 mS/mm and a drain current up to 500 mA/mm. The maximum effective mobility is 1680 cm2/Vs extracted by the split C-V method. Furthermore, the Ion/Ioff ratio is significantly improved from approximately 4.5 × 10^3 up to approximately 4.32 × 10^4 by controlling the etch thickness of In0.49Ga0.51P, The high drain current and high Ion/Ioff ratio of the In0.23Ga0.77As channel MOSFETs are achieved due to the high effective mobility and the low gate leakage current density. 展开更多
关键词 As Channel MOSFETs with High Current Ratio I MOSFET Ga Grown on Semi-insulating gaas substrates by MOCVD off
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Improved Polarization Retention of BiFeO3 Thin Films Using GdScO3(110)Substrates
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作者 许帅骑 张岩 +3 位作者 郭慧珍 耿文平 白子龙 江安全 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2017年第2期104-107,共4页
Epitaxial ferroelectric one direction over the thin fihns on single-crystal substrates generally show a preferred domain orientation in other in demonstration of a poor polarization retention. This behavior will affec... Epitaxial ferroelectric one direction over the thin fihns on single-crystal substrates generally show a preferred domain orientation in other in demonstration of a poor polarization retention. This behavior will affect their application in nonvolatile ferroelectric random access memories where bipolar polarization states are used to store the logic 0 and 1 data. Here the retention characteristics of BiFe03 thin films with Srftu03 bottom electrodes on both GdSc03 (110) and SrTiO3 (100) substrates are studied and compared, and the results of piezoresponse force microscopy provide a long time retention property of the films on two substrates. It is found that bismuth ferrite thin films grown on GdScO3 substrates show no preferred domain variants in comparison with the preferred downward polarization orientation toward bottom electrodes on SrTi03 substrates. Tile retention test from a positive-up domain to a negative-down domain using a signal generator and an oscilloscope coincidentally shows bistable polarization states on the GdSeOa substrate over a measuring time of 500s, unlike the preferred domain orientation on SrTi03, where more than 65~o of upward domains disappear after 1 s. In addition, different sizes of domains have been written and read by using the scanning tip of piezoresponse force microscopy, where the polarization can stabilize over one month. This study paves one route to improve the polarization retention property through the optimization of the lattice-mismatched stresses between films and substrates. 展开更多
关键词 BFO GSO Improved Polarization Retention of BiFeO3 Thin Films Using GdScO3 substrates SRO 110
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Growth and Characterization of InAs1-xSbx with Different Sb Compositions on GaAs Substrates
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作者 孙庆灵 王禄 +6 位作者 王文奇 孙令 李美成 王文新 贾海强 周均铭 陈弘 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第10期89-92,共4页
InAs1-xSbx with different compositions is grown by molecular beam epitaxy on (100)-oriented semi-insulating GaAs substrates. The increase of Sb content in the epilayer results in the deterioration of crystal quality... InAs1-xSbx with different compositions is grown by molecular beam epitaxy on (100)-oriented semi-insulating GaAs substrates. The increase of Sb content in the epilayer results in the deterioration of crystal quality and surface morphology. Hall measurements show that the carrier concentration increases with the composition of Sb. The electron mobility decreases initially, when Sb composition exceeds a certain value, and the mobility increases slightly. In this work, we emphasize the comparison of crystal quality, surface morphology and electrical properties of epilayers with different Sb compositions. 展开更多
关键词 Growth and Characterization of InAs x)Sb_x with Different Sb Compositions on gaas substrates SB
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Selective Area Growth of GaAs in V-Grooved Trenches on Si(001) Substrates by Aspect-Ratio Trapping
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作者 李士颜 周旭亮 +5 位作者 孔祥挺 李梦珂 米俊萍 边静 王伟 潘教青 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第2期148-151,共4页
A high quality of GaAs crystal growth in nanoscale V-shape trenches on Si(O01) substrates is achieved by using the aspect-ratio trapping method. GaAs thin films are deposited via metal-organic chemical vapor deposit... A high quality of GaAs crystal growth in nanoscale V-shape trenches on Si(O01) substrates is achieved by using the aspect-ratio trapping method. GaAs thin films are deposited via metal-organic chemical vapor deposition by using a two-step growth process. Threading disJocations arising from lattice mismatch are trapped by laterally confining sidewalls, and antiphase domains boundaries are completely restricted by V-groove trenches with Si { 111} facets. Material quality is confirmed by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and high resolution X-ray diffraction. Low temperature photoluminescence (PL) measurement is used to analyze the thermal strain relaxation in GaAs layers. This approach shows great promise for the realization of high mobility devices or optoelectronie integrated circuits on Si substrates. 展开更多
关键词 Selective Area Growth of gaas in V-Grooved Trenches on Si substrates by Aspect-Ratio Trapping
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GaAs衬底上等离子体增强原子层沉积GaN薄膜
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作者 邱洪宇 王馨颐 +6 位作者 段彰 仇鹏 刘恒 朱晓丽 田丰 卫会云 郑新和 《半导体光电》 CAS 北大核心 2023年第4期573-579,共7页
采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在斜切的砷化镓(GaAs)衬底上低温沉积了氮化镓(GaN)薄膜,对生长过程、表面机制以及界面特性等进行分析,得到GaN在215~270℃的温度窗口内生长速度(Growth-Per-Cycle, GPC)为0.082 nm/cycle,并从表... 采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在斜切的砷化镓(GaAs)衬底上低温沉积了氮化镓(GaN)薄膜,对生长过程、表面机制以及界面特性等进行分析,得到GaN在215~270℃的温度窗口内生长速度(Growth-Per-Cycle, GPC)为0.082 nm/cycle,并从表面反应动力学和热力学方面对GPC的变化进行了分析。研究发现,生长的GaN薄膜为多晶,具有六方纤锌矿结构,且出现(103)结晶取向。在GaN/GaAs界面处观察到约1 nm厚的非晶层,这可能与生长前衬底表面活性位点的限制和前驱体的空间位阻效应有关。值得注意的是,在沉积的GaN薄膜中,所有的N皆与Ga以Ga-N键结合生成GaN,但是存在少部分Ga形成了Ga-O键和Ga-Ga键。这种成键方式,可能与GaN薄膜中存在的缺陷和杂质有关。 展开更多
关键词 等离子增强原子层沉积 氮化镓 砷化镓衬底 低温
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氩、氢混合等离子体处理对GaAs表面性质及发光特性的影响 被引量:3
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作者 王云华 周路 +2 位作者 乔忠良 高欣 薄报学 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期308-313,共6页
介绍了一种氩、氢混合等离子体清洗GaAs基片的实验工艺,深入研究了氩、氢等离子体清洗GaAs表面污染物和氧化层,并活化表面性能的基本原理,同时讨论了气体流量、溅射功率和清洗时间等不同溅射参数对等离子体清洗效果的影响。结果表明,在... 介绍了一种氩、氢混合等离子体清洗GaAs基片的实验工艺,深入研究了氩、氢等离子体清洗GaAs表面污染物和氧化层,并活化表面性能的基本原理,同时讨论了气体流量、溅射功率和清洗时间等不同溅射参数对等离子体清洗效果的影响。结果表明,在氩气和氢气流量分别为10 cm3/min和30 cm3/min,溅射功率为20 W,清洗时间为15 min的条件下,GaAs样品的光致发光强度提高达139.12%,样品表面的As—O键和Ga—O键基本消失。 展开更多
关键词 等离子清洗 gaas基片 发光强度
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立方GaAs(100)衬底上制备单相六方GaN薄膜 被引量:4
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作者 孙一军 李爱珍 齐鸣 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期313-316,共4页
立方 Ga As (10 0 )衬底上制备的 Ga N薄膜多为立方结构且立方相为亚稳相 ,采用水平常压 MOCVD方法在立方 Ga As (10 0 )衬底上制备出了 Ga N薄膜 . XRD测试表明 ,薄膜具有单一的相 .结合对工艺条件的分析 ,认为薄膜具有六方结构 .最后 ... 立方 Ga As (10 0 )衬底上制备的 Ga N薄膜多为立方结构且立方相为亚稳相 ,采用水平常压 MOCVD方法在立方 Ga As (10 0 )衬底上制备出了 Ga N薄膜 . XRD测试表明 ,薄膜具有单一的相 .结合对工艺条件的分析 ,认为薄膜具有六方结构 .最后 ,通过 Raman光谱测试 ,证实在立方 Ga As衬底上制备出了单相六方 Ga N薄膜 .还对立方 Ga As衬底上制备出六方 Ga 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 氮化镓 砷化镓衬底 薄膜
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氮气氛下衬底负偏压预溅射对GaAs肖特基势垒性能的改善 被引量:3
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作者 张利春 高玉芝 +2 位作者 宁宝俊 张录 王阳元 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第8期615-622,共8页
本文研究了不同气氛下衬底负偏压预溅射对GaAs肖特基势垒特性的影响。我们发现,采用氮气氛下衬底负偏压预溅射新工艺能明显改善GaAs肖特基势垒特性:势垒高度增高,势垒电容减小和二极管反向击穿电压增大。这种新工艺对于GaAs肖特基势垒... 本文研究了不同气氛下衬底负偏压预溅射对GaAs肖特基势垒特性的影响。我们发现,采用氮气氛下衬底负偏压预溅射新工艺能明显改善GaAs肖特基势垒特性:势垒高度增高,势垒电容减小和二极管反向击穿电压增大。这种新工艺对于GaAs肖特基势垒特性改善和GaAs MESFETs性能提高是一个非常有用的技术。 展开更多
关键词 gaasMESFET 肖特基势垒 负偏压溅射
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测定GaAs(001)衬底上InAs的生长速率 被引量:4
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作者 郭祥 罗子江 +4 位作者 张毕禅 尚林涛 周勋 邓朝勇 丁召 《物理实验》 北大核心 2011年第1期11-15,共5页
报道了间接测定InAs生长速率的方法.通过设置不同Ga源温度,固定In源温度;和固定Ga源温度,设置不同In源温度,在GaAs(001)衬底上生长GaAs与InGaAs,用RHEED强度振荡测定GaAs与InGaAs的生长速率.验证了InGaAs的生长速率为GaAs的生长速率与I... 报道了间接测定InAs生长速率的方法.通过设置不同Ga源温度,固定In源温度;和固定Ga源温度,设置不同In源温度,在GaAs(001)衬底上生长GaAs与InGaAs,用RHEED强度振荡测定GaAs与InGaAs的生长速率.验证了InGaAs的生长速率为GaAs的生长速率与InAs的生长速率之和,得到了In源温度在845~880℃时InAs的生长速率曲线. 展开更多
关键词 MBE RHEED gaas(001)衬底 强度振荡 InAs生长速率
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热壁外延生长GaAs薄膜的结构特征 被引量:1
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作者 涂洁磊 林理彬 +3 位作者 陈庭金 章晨静 吴长树 施光顺 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期14-17,共4页
该文介绍以Si和SnO2 / glass两种材料为衬底 ,采用热壁外延方法 ,制得GaAs多晶薄膜。采用电子探针 (EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌 ,x射线衍射 (XRD)分析薄膜的结构情况。结果表明该薄膜表面呈绒面结构、其晶粒为柱状结构 ,初步... 该文介绍以Si和SnO2 / glass两种材料为衬底 ,采用热壁外延方法 ,制得GaAs多晶薄膜。采用电子探针 (EPMA)测定薄膜的组分、表面与剖面形貌 ,x射线衍射 (XRD)分析薄膜的结构情况。结果表明该薄膜表面呈绒面结构、其晶粒为柱状结构 ,初步证明这种GaAs多晶薄膜有希望成为新一代廉价、高效太阳电池的候选材料。 展开更多
关键词 太阳电池 gaas薄膜 Si或SnO2/glass衬底
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GaAs MESFET旁栅迟滞特性的机理分析 被引量:1
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作者 毛剑波 易茂祥 丁勇 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期124-127,共4页
探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果... 探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果,同时对于分析GaAs器件的其他特性也具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 gaas MESFET 旁栅效应 迟滞特性 沟道衬底结 电子陷阱
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基于GaAs电感模型的微波功率放大器 被引量:2
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作者 阴亚芳 张虹 +1 位作者 张博 李迎春 《西安邮电大学学报》 2014年第2期94-97,共4页
基于0.15μm砷化镓(GaAs)工艺建立一种电感模型,并用高频结构模拟器(High Frequency Structure Simulator,HFSS)仿真验证,并在此基础上设计一种微波功率放大器,并用高级系统设计软件(Advanced Design System,ADS)进行仿真。仿真... 基于0.15μm砷化镓(GaAs)工艺建立一种电感模型,并用高频结构模拟器(High Frequency Structure Simulator,HFSS)仿真验证,并在此基础上设计一种微波功率放大器,并用高级系统设计软件(Advanced Design System,ADS)进行仿真。仿真结果显示在8~12GHz频率范围内,饱和输出功率大于21.9dBm,1dB压缩点输出功率大于20dBm,功率增益大于26dB,功率附加效率大于34%,稳定系数大于1。 展开更多
关键词 微波功率放大器 gaas基底 电感模型 共源共栅结构
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沟道SI-GaAs衬底上正装GaAlAs/GaAs BH激光器的制作
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作者 殷景志 胡礼中 张皓月 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1994年第1期73-77,共5页
介绍了宽沟道SI-GaAs衬底上的BH激光器的制作,全部结构由两次外延形成,阈值电流为55mA。在I=2Ith时,P-I曲线仍保持良好的线性关系。
关键词 GAALAS GaAa 激光器 正装衬底 BH激光器
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