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GaAs/AlAs量子阱中受主束缚能和光致发光 被引量:2
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作者 郑卫民 吕英波 +2 位作者 宋淑梅 王爱芳 陶琳 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期156-160,共5页
从实验和理论上,研究了量子限制效应对GaAs/AlAs多量子阱中受主对重空穴束缚能的影响。实验中所用的样品是通过分子束外延生长的一系列GaAs/AlAs多量子阱,量子阱宽度为3—20nm,并且在量子阱中央进行了浅受主Be原子的δ-掺杂。在4... 从实验和理论上,研究了量子限制效应对GaAs/AlAs多量子阱中受主对重空穴束缚能的影响。实验中所用的样品是通过分子束外延生长的一系列GaAs/AlAs多量子阱,量子阱宽度为3—20nm,并且在量子阱中央进行了浅受主Be原子的δ-掺杂。在4,20,40,80,120K不同温度下,分别对上述样品进行了光致发光谱测量,观察到了受主束缚激子从基态到激发态的两空穴跃迁,并且从实验上测得了在不同量子阱宽度下受主的束缚能。理论上应用量子力学中的变分原理,数值计算了受主对重空穴束缚能随量子阱宽度的变化关系,比较发现,理论计算和实验结果符合地较好。 展开更多
关键词 量子限制效应 δ-掺杂 gaas/alas多量子阱 光致发光谱
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用静压光致发光研究GaAs/AlAs短周期超晶格的Ⅰ一Ⅱ类超晶格转变点 被引量:2
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作者 李国华 江德生 +2 位作者 韩和相 汪兆平 K.Ploog 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期36-36,共1页
近年来,GaAs/AlAs短周期超晶格的研究受到越来越多的重视。
关键词 光致发光 gaas/alas 晶格 转变点
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基于GaAs/AlAs腐蚀自停止的新型水听器工艺 被引量:1
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作者 仝召民 薛晨阳 +1 位作者 张斌珍 王勇 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第3期230-234,共5页
针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点,进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠檬酸(C6H8O7.H2O)溶液与30%双氧水(H2O2)的混合物,当二... 针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点,进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠檬酸(C6H8O7.H2O)溶液与30%双氧水(H2O2)的混合物,当二者体积比为3∶1时,GaAs/AlAs的选择比达到79以上.用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对腐蚀后的试验片测试后发现,该体积比腐蚀液腐蚀的试验片具有表面粗糙度低、刻蚀各向异性好、选择比高等优点,能够满足传感器加工的需要;结合试验结果,设计了一种待加工梁厚3μm的外延材料结构,并对传感器的加工工艺进行了优化;最后,采用ANSYS对所设计的结构进行了仿真分析,仿真结果表明,该结构具有可行性,可实现水平面内的声学探测. 展开更多
关键词 gaas/alas 选择性湿法腐蚀 一水柠檬酸 ANSYS
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GaAs/AlAs异质结构隧道电流的计算和异质结限累管初探 被引量:4
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作者 薛舫时 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期44-49,共6页
本文从单带双谷模型出发计算了GaAs/AlAs异质结量子阱中的隧道电流同外加电压之间的关系。研究了隧道电流同量子阱结构和电场间的关系以及隧道过程中的状态转换效应。在此基础上提出了利用异质结中的状态转换特性来制作X谷电子发生器的... 本文从单带双谷模型出发计算了GaAs/AlAs异质结量子阱中的隧道电流同外加电压之间的关系。研究了隧道电流同量子阱结构和电场间的关系以及隧道过程中的状态转换效应。在此基础上提出了利用异质结中的状态转换特性来制作X谷电子发生器的可能性。讨论了这种发生器在器件设计中的应用以及异质结限累管的初步设计。 展开更多
关键词 gaas/alas 异质结构 隧道电流 计算
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GaAs/AlAs/GaAs氧化前后的微结构表征
5
作者 王勇 贾海强 +6 位作者 王文充 刘翠秀 陈向明 麦振洪 郑文莉 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期775-778,共4页
研究了GaAs/AlAs/GaAs三层膜氧化前后成分和微结构的变化。对GaAs/AlAs/GaAs利用横向氧化的方式得到了GaAs/Al2 O3/GaAs薄膜 ,利用X射线小角反射和高角衍射技术进行了微结构表征。结果表明 ,氧化前GaAs/AlAs/GaAs结构中 ,AlAs层与表面G... 研究了GaAs/AlAs/GaAs三层膜氧化前后成分和微结构的变化。对GaAs/AlAs/GaAs利用横向氧化的方式得到了GaAs/Al2 O3/GaAs薄膜 ,利用X射线小角反射和高角衍射技术进行了微结构表征。结果表明 ,氧化前GaAs/AlAs/GaAs结构中 ,AlAs层与表面GaAs之间存在着一层110 的均匀过渡层。AlAs层分成厚度为 4 0 和 10 5 0 的两层 ,而 4 0 厚的AlAs层的平均原子密度比 10 5 0 厚的减小。利用横向氧化的方式使得AlAs完全氧化为Al2 O3,而且与氧化前相比 ,其过渡层的厚度与粗糙度均减小。 展开更多
关键词 微结构 表征 gaas/alas/gaas 氧化 三层膜 砷化镓 X射线高角衍射 X射线小角反射 砷化铝 绝缘层 薄膜
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基于SiCl_4/SF_6的GaAs/AlAs ICP选择性干法刻蚀
6
作者 仝召民 薛晨阳 +3 位作者 张斌珍 王勇 张文栋 张雄文 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1194-1197,共4页
报道了GaAs/AlAs的电感耦合等离子体(ICP)选择性干法刻蚀,刻蚀气体为SiCl4/SF6混合物.研究了在不同SiCl4/SF6气体配比、RF偏压电源功率和气室压力下,GaAs,AlAs的平均刻蚀速率与二者的选择比.合适的SiCl4/SF6气体比例(15/5sccm),低的RF... 报道了GaAs/AlAs的电感耦合等离子体(ICP)选择性干法刻蚀,刻蚀气体为SiCl4/SF6混合物.研究了在不同SiCl4/SF6气体配比、RF偏压电源功率和气室压力下,GaAs,AlAs的平均刻蚀速率与二者的选择比.合适的SiCl4/SF6气体比例(15/5sccm),低的RF偏压电源功率和高的气室压力将加强AlF3非挥发性生成物的形成,进而提高GaAs/AlAs的选择比.在SiCl4/SF6气体比例为15/5sccm,RF偏压电源功率为10W,主电源功率为500W,气室压力为2Pa时,GaAs/Al-As的选择比达1500以上.采用喇曼光谱仪对不同RF偏压电源功率和气室压力下,GaAs衬底被刻蚀面等离子体损伤进行了测试,表面形貌和被刻蚀侧壁分别采用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)进行观察. 展开更多
关键词 gaas/alas ICP 选择性干法刻蚀 SiCl4/SF6
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GaAs/AlAs短周期超晶格的静压光致发光研究
7
作者 李国华 江德生 +2 位作者 韩和相 汪兆平 K.Ploog 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期88-96,共9页
在室温和液氮温度下对不同层厚的GaAs/AlAs短周期超晶格在0—50kbar范围内进行了静压光致发光研究。在导带最低能级为类Γ态能级(Ⅰ类超晶格)和类X态能级(Ⅱ类超晶格)两种情况下都得到了类Γ态能级与类X态能级差随层厚的变化。首次直接... 在室温和液氮温度下对不同层厚的GaAs/AlAs短周期超晶格在0—50kbar范围内进行了静压光致发光研究。在导带最低能级为类Γ态能级(Ⅰ类超晶格)和类X态能级(Ⅱ类超晶格)两种情况下都得到了类Γ态能级与类X态能级差随层厚的变化。首次直接观察到室温、常压下(GaAs)_(11)(AlAs)_(11)超晶格中类Γ态能级与类X态能级发生交叉。从发光峰的强度随压力的变化求得室温下在类Γ态能级与类X态能级恰好交叉的压力下类X态电子和类Γ态电子到价带空穴的跃迁几率之比从(GaAs)_(17)(AlAs)_(17)的1.4×10^(-4)逐渐增加到(GaAs)_6(AlAs)_6的4.6×10^(-3)。表明类Γ态和类X态间的混合较弱。对实验结果进行了简短的讨论。 展开更多
关键词 gaas/alas 超晶格 光致发光 静压
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GaAs/AlAs超短周期超晶格中的纵光学声子模
8
作者 汪兆平 韩和相 +1 位作者 李国华 江德生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第6期381-386,共6页
在室温和非共振条件下,测量了超短周期(1—3个单层)GaAs/AlAs超晶格的 Raman散射光谱.样品用分子束外延方法生长在(001)晶向的半绝缘 CaAs衬底上.实验结果表明,在这种超短周期超晶格中存在两种作用:一种是光学声子的限制效应,另一种是... 在室温和非共振条件下,测量了超短周期(1—3个单层)GaAs/AlAs超晶格的 Raman散射光谱.样品用分子束外延方法生长在(001)晶向的半绝缘 CaAs衬底上.实验结果表明,在这种超短周期超晶格中存在两种作用:一种是光学声子的限制效应,另一种是混晶化效应.对于单层超晶格,在各种散射配置下的 Raman光谱都与Al(0.5)Ga_(0.5)As三元混晶的Raman光谱十分相似.而对于4个单层或者更厚的超晶格样品,混晶化效应基本可以忽略,仅仅表现为界面效应,光学声子的限制效应起主导作用. 展开更多
关键词 gaas/alas 超晶体 光学声子模 光谱
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三元GaAS/ALAS准周期超晶格系统的电子隧穿透射谱
9
作者 姚源卫 蔡敏 屈晔 《广东工业大学学报》 CAS 2002年第3期14-17,共4页
用紧束缚的方法研究了一种多层低维半导体系统———三元准周期超晶格系统的电子隧穿 结果表明:大代数的情况下,电子出现共振隧穿透射的能量区域则集中在某一小的能量范围内。
关键词 gaas/alas 电子隧穿 透射谱 三元准周期超晶格 紧束缚 透射率 多层低维半导体 砷化镓 砷化铝
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GaAs/AlAs异型异质结导带研究
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作者 李永平 《曲阜师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第3期55-58,共4页
利用泊松方程分析了异质结导带形状 ,通过数值模拟研究了GaAs AlAs异型异质结在不同掺杂浓度下的导带图 。
关键词 半导体 gaas/alas异型异质结 导带 掺杂浓度 尖峰位置 耗尽区 禁带宽度 PN结
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δ-掺杂Be受主GaAs/AlAs多量子阱的空穴共振隧穿(英文) 被引量:1
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作者 郑卫民 黄海北 +4 位作者 李素梅 丛伟艳 王爱芳 李斌 宋迎新 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1373-1379,共7页
三个具有不同量子阱宽度的GaAs/AlAs多量子阱结构样品通过分子束外延生长设备生长在半绝缘的(100)p-型GaAs衬底上,并且在量子阱层结构的生长过程中,在GaAs阱层中央进行了Be受主的δ-掺杂。基于这3个结构样品,通过光刻技术和半导体加工... 三个具有不同量子阱宽度的GaAs/AlAs多量子阱结构样品通过分子束外延生长设备生长在半绝缘的(100)p-型GaAs衬底上,并且在量子阱层结构的生长过程中,在GaAs阱层中央进行了Be受主的δ-掺杂。基于这3个结构样品,通过光刻技术和半导体加工工艺制备了相应的两端器件。在4~200 K的温度范围内,我们分别测量了器件的电流-电压特征曲线,清楚地观察到了重、轻空穴通过δ-掺杂Be受主GaAs/AlAs多量子阱结构的共振隧穿现象。发现随着GaAs量子阱层宽的逐渐减小,轻空穴的共振隧穿峰向着高电压方向移动,这个结果和通过AlAs/GaAs/AlAs双势垒结构模型计算的结果是一致的。然而,随着测量温度的进一步升高,两个轻空穴共振峰都朝着低电压的方向移动,并且在150 K温度下,其中一个共振遂穿峰表现为一种振动模式。 展开更多
关键词 共振隧穿 重空穴和轻空穴 gaas/alas多量子阱 电流-电压特征 δ-掺杂
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δ-掺杂受主的扩散对GaAs/AlAs量子阱子带的影响(英文)
12
作者 郑卫民 黄海北 +4 位作者 李素梅 丛伟艳 王爱芳 李斌 宋迎新 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1240-1246,共7页
在15 nm GaAs/5 nm AlAs单量子阱的GaAs阱层中间,分别进行不同浓度剂量的铍受主的δ-掺杂。铍受主在量子阱层中的扩散浓度分布,由扩散方程数值解出。高温下扩散在GaAs阱层中的Be受主将发生电离,成为带负电荷的受主离子,同时也向量子阱... 在15 nm GaAs/5 nm AlAs单量子阱的GaAs阱层中间,分别进行不同浓度剂量的铍受主的δ-掺杂。铍受主在量子阱层中的扩散浓度分布,由扩散方程数值解出。高温下扩散在GaAs阱层中的Be受主将发生电离,成为带负电荷的受主离子,同时也向量子阱价带的子带中引入空穴。带负电荷的扩散受主离子和价带子带中的空穴,它们都是带电粒子在GaAs阱层中按库伦定律激发电场。相比较而言,对于无掺杂同结构量子阱,在空穴的薛定谔中增加了一个额外的微扰势,从而使无掺杂的量子阱价带的子带有所改变。在有效质量和包络函数近似下,通过循环迭代方法,数值求解了既满足薛定谔方程又满足泊松方程的空穴波函数,找出了自洽、收敛的空穴子带的能量本征值。计算发现考虑到这种额外微扰势,重空穴基态子带hh的能量有一个电子伏特变化,并且随着掺杂受主剂量的增加,重空穴基态子带hh向着价带顶红移,计算结果与实验测量符合得很好。 展开更多
关键词 掺杂剂量 δ-掺杂 gaas/alas量子阱 受主的扩散分布
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PHOTOLUMINESCENCE OF GaAs/AlAs QUANTUM WELLS
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作者 ZHUANG Weihua TENG Da +2 位作者 XU Zhongying Xu Jizong CHEN Zonggui 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS 1986年第12期533-536,共4页
An unusual emission-I line has been observed in the photoluminescence spectra of MBE GaAs/AlAs MQW at 4.2K.Its half width is 6.5-9meV with peak energy Located between the near band transition and the free electrons to... An unusual emission-I line has been observed in the photoluminescence spectra of MBE GaAs/AlAs MQW at 4.2K.Its half width is 6.5-9meV with peak energy Located between the near band transition and the free electrons to carbon acceptors transition in bulk GaAs.The peak energy increases roughly linearly with the logarithm of the excitation power.The emission intensity decreases with the increase of temperature and disappears at about 15K. 展开更多
关键词 gaas/alas EXCITATION TRANSITION
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GaAs/Si/AlAs异质结的DLTS实验研究 被引量:2
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作者 李永平 田强 牛智川 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期923-926,共4页
利用深能级瞬态谱(DLTS)技术研究了Si夹层和GaAs层不同生长温度对GaAs/AlAs异质结晶体 品质的影响。发现Si夹层的引入并没有引起明显深能级缺陷,而不同温度下生长的GaAs/Si/AlAs异质结随着 温度的降低,深能级缺陷明显增加,并进行了分... 利用深能级瞬态谱(DLTS)技术研究了Si夹层和GaAs层不同生长温度对GaAs/AlAs异质结晶体 品质的影响。发现Si夹层的引入并没有引起明显深能级缺陷,而不同温度下生长的GaAs/Si/AlAs异质结随着 温度的降低,深能级缺陷明显增加,并进行了分析,得到深能级是由Ga空位引起的,在600℃时生长的晶体 质量最佳。 展开更多
关键词 光电子学 深能级瞬态谱 深能级缺陷 Si夹层 gaas/alas异质结
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Si夹层对GaAs/AlAs异质结的影响 被引量:1
15
作者 李永平 刘杰 +1 位作者 姜永超 田强 《山东大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期40-42,48,共4页
用MBE生长了GaAs/Si/AlAs异质结及其对比样,通过深能级瞬态谱技术(DLTS)和X射线光电子谱测量(XPS)研究了Si夹层的引入对异质结的影响,研究发现Si夹层的引入不会引起明显的深能级缺陷,异质结仍保持较好的质量,但使GaAs/AlAs的带阶发生了... 用MBE生长了GaAs/Si/AlAs异质结及其对比样,通过深能级瞬态谱技术(DLTS)和X射线光电子谱测量(XPS)研究了Si夹层的引入对异质结的影响,研究发现Si夹层的引入不会引起明显的深能级缺陷,异质结仍保持较好的质量,但使GaAs/AlAs的带阶发生了改变。 展开更多
关键词 gaas/alas异质结 Si夹层 X射线光电子谱测量 深能级瞬态谱测量
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GaAs/Si/AlAs异质结不同生长温度Si夹层分布的CV实验研究 被引量:2
16
作者 李永平 田强 +3 位作者 牛智川 杨锡震 吴正龙 王亚非 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期474-477,共4页
用MBE生长设备制备了GaAs/Si/AlAs异质结 ,通过CV法研究了异质结的带阶和GaAs层在不同温度下生长对 0 .5分子层Si夹层的影响 。
关键词 gaas/Si/alas异质结 生长温度 Si夹层 CV测量 实验研究 导带带阶 异质结器件 热扩散 半导体 空间分布
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Far-infrared absorption studies of Be acceptors in δ-doped GaAs/AlAs multiple quantum wells 被引量:1
17
作者 M. P. Halsall P. Harrison M. J. Steer 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2006年第6期702-708,共7页
We report a far-infrared absorption study of internal transitions of shallow Be acceptors in both bulk GaAs and a series of δ-doped GaAs/AlAs multiple quantum well samples with well thicknesses of 20,15 and 10 nm. Lo... We report a far-infrared absorption study of internal transitions of shallow Be acceptors in both bulk GaAs and a series of δ-doped GaAs/AlAs multiple quantum well samples with well thicknesses of 20,15 and 10 nm. Low temperature far-infrared absorp-tion measurements clearly show three principal absorption lines due to transitions of Be-acceptor states from the ground state to the first three odd-parity excited states,respec-tively. Using a variational principle,the 2p-1s transition energies of quantum confined Be acceptors are calculated as a function of the well width. It is found that the theoretical calculation of the 2pz → 1s transitions is in good agreement with the D-like line experi-mental data. 展开更多
关键词 shallow ACCEPTOR impurities δ-doped gaas/alas multiple quantum wells far-infrared absorptions.
原文传递
GaAs/Si/AlAs异质结的带阶和GaAs生长温度的影响
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作者 李永平 澜清 +6 位作者 吴正龙 周大勇 孔云川 牛智川 田强 杨锡震 王亚非 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期168-172,共5页
用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下... 用分子束外延 (MBE)设备制备了 Ga As/ Al As和 Ga As/ Si/ Al As异质结 ,通过 XPS分别研究了异质结界面处 Si层厚度为 0 .5 ML 和 1ML 对异质结带阶的调节 ,得到最大调节量为 0 .2 e V;通过 C- V法研究了异质结的Ga As层在不同温度下生长对 0 .5 ML Si夹层的影响 ,得到 Si夹层的空间分布随 Ga As层生长温度的升高而扩散增强的温度效应 ,通过深能级瞬态谱 (DL TS)研究了在上述不同温度下生长的 Ga As层的晶体质量 . 展开更多
关键词 gaas/Si/alas异质结 生长温度 Si夹层 XPS测量 DLTS测量 带阶调节 分子束外延
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具有[001]台形条纹衬底上生长的GaAs/AlAs量子阱线的阴极射线发光
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作者 尤明秋 《发光快报》 CSCD 1994年第6期38-41,共4页
关键词 gaas/alas 量子阱线 阴极射线发光
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量子限制效应对限制在多量子阱中受主束缚能的影响
20
作者 郑卫民 宋淑梅 +2 位作者 吕英波 王爱芳 陶琳 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期310-314,共5页
从实验和理论上,研究了量子限制效应对限制在GaAs/AlAs多量子阱中受主对重空穴束缚能的影响.实验中所用的样品是通过分子束外延技术生长的一系列GaAs/AlAs多量子阱,量子阱宽度从3nm到20nm,并且在量子阱中央进行了浅受主铍(Be)原子的δ掺... 从实验和理论上,研究了量子限制效应对限制在GaAs/AlAs多量子阱中受主对重空穴束缚能的影响.实验中所用的样品是通过分子束外延技术生长的一系列GaAs/AlAs多量子阱,量子阱宽度从3nm到20nm,并且在量子阱中央进行了浅受主铍(Be)原子的δ掺杂.在4,20,40,80和120K不同温度下,分别对上述系列样品进行了光致发光谱(PL)的测量,清楚地观察到了受主束缚激子从1s3/2(Γ6)基态到同种宇称2s3/2(Γ6)激发态的两空穴跃迁,并且从实验上测得了在不同量子阱宽度下受主的束缚能.理论上应用量子力学中的变分原理,数值计算了受主对重空穴束缚能随量子阱宽度的变化关系,比较发现理论计算和实验结果符合较好. 展开更多
关键词 量子限制效应 浅受主杂质 Δ掺杂 gaas/alas多量子阱 光致发光谱
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