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MOCVD GaAs/Si兼容技术及其应用 被引量：1
1
作者 杨从光 庄庆德 《微电子学》 CAS 1988年第5期19-32,共14页
本文着重论述用MOCVD方法生长GaAs/Si的工艺技术及存在的问题。
关键词 MOVCVD gaas/si兼容 gaas si
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