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GaAs基器件的衬底选择
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作者 邓志杰 《现代材料动态》 2004年第3期1-2,共2页
在生产GaAs基器件时,如何选择适当的衬底是个令人感兴趣的问题。目前,批量生产的衬底有两种,分别采用不同的工艺生长,即直拉法和布里支曼法。材料的使用者更关心的是材料的性能而不是其生产工艺。目前,可得到的两类衬底常称为“
关键词 gaas基器件 衬底选择 直拉法 布里支曼法 位错密度
原文传递
栅型共振隧穿晶体管的设计与研制 被引量:1
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作者 郭维廉 梁惠来 +12 位作者 宋瑞良 张世林 毛陆虹 胡留长 李建恒 齐海涛 冯震 田国平 商跃辉 刘永强 李亚丽 袁明文 李效白 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1974-1980,共7页
在研制RTD经验的基础上设计并研制成功栅型GaAs基共振隧穿晶体管(GRTT).文中对该器件的材料结构设计、器件结构设计、光刻版图设计、器件制作、参数测量与分析等进行了系统的描述.所研制出的GRTT最大PVCR为46,最大跨导为8mS,为进一步改... 在研制RTD经验的基础上设计并研制成功栅型GaAs基共振隧穿晶体管(GRTT).文中对该器件的材料结构设计、器件结构设计、光刻版图设计、器件制作、参数测量与分析等进行了系统的描述.所研制出的GRTT最大PVCR为46,最大跨导为8mS,为进一步改善器件性能和参数奠定了基础. 展开更多
关键词 共振隧穿晶体管 栅控型器件 gaas量子器件
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