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GaAs纳米线阵列光阴极的制备及其特性研究
被引量:
2
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作者
曾梦丝
彭新村
《光学仪器》
2018年第1期67-71,共5页
采用改进的Stber法合成直径为500nm的SiO_2纳米球,用旋涂法将所合成的SiO_2纳米球制作掩模版,采用纳米球刻蚀法制备GaAs纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、漫反射谱对其进行了表征分析,再对所制备出的GaAs纳米线阵列结构进行Cs-F...
采用改进的Stber法合成直径为500nm的SiO_2纳米球,用旋涂法将所合成的SiO_2纳米球制作掩模版,采用纳米球刻蚀法制备GaAs纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、漫反射谱对其进行了表征分析,再对所制备出的GaAs纳米线阵列结构进行Cs-F交替激活实验,使其表面形成负电子亲和势光阴极,并对最终制备出的GaAs纳米线阵列光阴极样品进行量子效率测试,验证了GaAs纳米线阵列结构的量子效率比GaAs基片提高50%以上,从而证实了纳米线阵列结构的高光电转换效率。
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关键词
SiO2
纳米
球
gaas纳米线阵列
纳米
球刻蚀
Cs-F激活
电子源
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职称材料
题名
GaAs纳米线阵列光阴极的制备及其特性研究
被引量:
2
1
作者
曾梦丝
彭新村
机构
东华理工大学机械与电子工程学院
出处
《光学仪器》
2018年第1期67-71,共5页
文摘
采用改进的Stber法合成直径为500nm的SiO_2纳米球,用旋涂法将所合成的SiO_2纳米球制作掩模版,采用纳米球刻蚀法制备GaAs纳米线阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)、漫反射谱对其进行了表征分析,再对所制备出的GaAs纳米线阵列结构进行Cs-F交替激活实验,使其表面形成负电子亲和势光阴极,并对最终制备出的GaAs纳米线阵列光阴极样品进行量子效率测试,验证了GaAs纳米线阵列结构的量子效率比GaAs基片提高50%以上,从而证实了纳米线阵列结构的高光电转换效率。
关键词
SiO2
纳米
球
gaas纳米线阵列
纳米
球刻蚀
Cs-F激活
电子源
Keywords
SiO2 nanospheres
gaas
nanowire arrays ' nanosphere lithography
Cs-F activation
electron source
分类号
TN383 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
GaAs纳米线阵列光阴极的制备及其特性研究
曾梦丝
彭新村
《光学仪器》
2018
2
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