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GaAs膜内注入载流子感生的折射率相对变化谱及其对光开关特性的影响 被引量:1
1
作者 王德煌 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期107-111,共5页
实验测量了不掺杂GaAs膜内注入载流子感生的820~900nm波段反射率相对变化谱,从而得到对应的折射率相对变化谱,并分析其对光开关特性的影响。
关键词 gaas膜 注入载流子 折射率 光开关
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GaAs/AlGaAs多层膜刻蚀的陡直度 被引量:6
2
作者 罗跃川 韩尚君 +2 位作者 王雪敏 吴卫东 唐永建 《信息与电子工程》 2011年第3期347-350,共4页
GaAs/AlGaAs多层膜的陡直度较大程度地关系到其实际应用效果,但在实际加工中较难控制,因此有必要研究刻蚀过程中一些主要因素对其陡直度的影响。结合具体工作情况,用AZ1500光刻胶作为掩模,GaAs/Al0.15Ga0.85As多层膜为刻蚀材料,分别使... GaAs/AlGaAs多层膜的陡直度较大程度地关系到其实际应用效果,但在实际加工中较难控制,因此有必要研究刻蚀过程中一些主要因素对其陡直度的影响。结合具体工作情况,用AZ1500光刻胶作为掩模,GaAs/Al0.15Ga0.85As多层膜为刻蚀材料,分别使用湿法和干法对其进行刻蚀。湿法刻蚀的刻蚀剂为H3PO4+H2O2溶液,干法刻蚀采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀法,等离子体由Cl2+BCl3(蒸汽)混合气体电离形成。通过控制变量方法,发现湿法刻蚀中刻蚀剂配比和温度以及干法刻蚀中BCl3(蒸汽)流量对刻蚀陡直度的影响规律。由此得出,提高H3PO4所占比例和降低刻蚀温度虽然会降低刻蚀速率,但可以提高多层膜的陡直度;ICP刻蚀的陡直度优于湿法刻蚀,BCl3(蒸汽)的流量在一定范围内对刻蚀陡直度的影响较小。 展开更多
关键词 gaas/Algaas多层 湿法刻蚀 感应耦合等离子体刻蚀 陡直度
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(112)面CdTe/Cd_(1-y)Zn_yTe,Hg_(1-x)Cd_xTe/CdTe和CdTe/GaAs异质结的方向倾斜
3
作者 刘义族 于福聚 《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第3期261-264,共4页
用 X射线双晶衍射 ( XDCD)法测得分子束外延 ( MBE)法生长的 Cd Te/ Cd0 .959Zn0 .0 4 1 Te( 112 ) B异质结的倾斜角为 0 .2 185°,而且朝 [1- 1- 1]晶体学方向倾斜 .为了获得较精确的倾斜角值 ,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δ... 用 X射线双晶衍射 ( XDCD)法测得分子束外延 ( MBE)法生长的 Cd Te/ Cd0 .959Zn0 .0 4 1 Te( 112 ) B异质结的倾斜角为 0 .2 185°,而且朝 [1- 1- 1]晶体学方向倾斜 .为了获得较精确的倾斜角值 ,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δθ与绕样品表面法线旋转的角度 之间的准正弦函数 .为高分辨率透射电子显微镜 ( HRTEM)分析制备了 MBE法生长的 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te/ Ga As( 1- 12 ) B多层异质结的横截面薄膜 .Cd Te/ Ga As异质结的 HRTEM明场象表明 Cd Te( 1- 12 )缓冲层相对于 Ga As( 1- 12 )衬底朝 [1- 11- ]方向倾斜约 3°,并且在 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te异质结 ,Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te( 1- 12 )外延膜相对于 Cd Te( 1- 12 )缓冲层在 [11- 1]方向 ,即 [1- 11- ]的反方向倾斜约 1°.也分析了 Hg0 .535Cd0 .4 6 5Te/ Cd Te/ Ga As多层膜之间的倾斜角关系 . 展开更多
关键词 分子束外延法 异质结 倾斜角 X射线双晶衍射法 HgCdTe/CdTe/gaas多层 失配位错
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氢钝化对GaAs/SiO_2纳米颗粒镶嵌薄膜光学性质的影响
4
作者 丁瑞钦 朱慧群 +2 位作者 吴桐庆 王忆 赵丽特 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S3期606-608,612,共4页
利用射频共溅射方法,在溅射气氛含氢与不含氢条件下,在石英玻璃和抛光硅片衬底上沉积GaAs/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜.实验结果表明,在气氛含氢条件下制备的薄膜的室温吸收光谱存在着较明显的激子肩,其荧光发射谱也有明显的增强.这些现象可... 利用射频共溅射方法,在溅射气氛含氢与不含氢条件下,在石英玻璃和抛光硅片衬底上沉积GaAs/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜.实验结果表明,在气氛含氢条件下制备的薄膜的室温吸收光谱存在着较明显的激子肩,其荧光发射谱也有明显的增强.这些现象可归因于氢对GaAs纳米颗粒膜的钝化作用. 展开更多
关键词 gaas纳米颗粒 氢钝化 吸收光谱 荧光光谱
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