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1.3μmGaAs基GaInNAs量子阱生长与激光器研制(英文) 被引量:1
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作者 牛智川 韩勤 +11 位作者 倪海桥 杨晓红 徐应强 杜云 张石勇 彭红玲 赵欢 吴东海 李树英 贺振宏 任正伟 吴荣汉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1860-1864,共5页
报道了中国第一只1.30μm单量子阱边发射激光器的材料生长、器件制备及特性测试.通过优化分子束外延生长参数,调节In和N组分含量使GaInNAs量子阱的发光波长覆盖1.3μm范围.脊形波导条形结构单量子阱边发射激光器,实现了室温连续激射,激... 报道了中国第一只1.30μm单量子阱边发射激光器的材料生长、器件制备及特性测试.通过优化分子束外延生长参数,调节In和N组分含量使GaInNAs量子阱的发光波长覆盖1.3μm范围.脊形波导条形结构单量子阱边发射激光器,实现了室温连续激射,激射波长为1.30μm,阈值电流密度为1kA/cm2,输出功率为30mW. 展开更多
关键词 GaAs基材料 gainnas量子阱 分子束外延 激光器
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GaInNAs/GaAs量子阱激光器的发展与未来 被引量:2
2
作者 林耀望 潘钟 +2 位作者 李联合 张伟 王学宇 《光电子技术与信息》 2000年第4期1-6,共6页
GaInNAs是一种直接带隙半导体材料,在长彼长(1.30和 1.55μm)光通信系统 中具有广阔的应用前景.通过调节 In和 N的组分,既可获得应变 GaInNAs外延材料,也可制 备GaInNAs与GaAs匹配的异质结... GaInNAs是一种直接带隙半导体材料,在长彼长(1.30和 1.55μm)光通信系统 中具有广阔的应用前景.通过调节 In和 N的组分,既可获得应变 GaInNAs外延材料,也可制 备GaInNAs与GaAs匹配的异质结构,其波长覆盖范围为0.9-N2.0μm.GaInNAs/GaAs 量子阱激光器的特征温度为 200 K,远大于现行 GaInNAsP/InP激光器的特征温度(T0=50 K). GaInNAs光电子器件的此优异特性,对于提高光纤通信系统的稳定性、可靠寿命具有特 别重要的意义.由于GaInNAs和具有高反射率(高达99%)AI(Ga)As/GaAs的分布布拉格 反射镜(DBR)可生长在同-GaAs衬底上,因此它是长波长(1.30和 1.55 μm)垂直腔面 发射激光器(VCSEL)的理想材料.垂直腔面发射激光器是光纤通信、互联网和光信号处理的 关键器件. GaAs基的超高速集成电路(IC)已有相当成熟的工艺.如果 GaInNAs-VCSEL 与 GaAs-IC相结合,将使光电集成电路(OEIC)开拓出崭新的局面.本文还报道我们课题 组研制高质量 GaNAs/GaAs超晶格和大应变 展开更多
关键词 gainnas GAAS 量子阱激光器 半导体激光器
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GaInNAs薄膜中深能级弛豫过程的皮秒泵浦-探测研究
3
作者 马法君 李志锋 +1 位作者 陈平平 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期268-270,共3页
应用泵浦-探测方法研究了GaInNAs载流子动力学.差分透射强度随时间变化曲线表明,深能级中被俘获电子在光学瞬态吸收中起重要作用.为了模拟GaInNAs中光生载流子动力学过程和拟合泵浦-探测实验结果,采用了一个简化的微分方程模型,该模型... 应用泵浦-探测方法研究了GaInNAs载流子动力学.差分透射强度随时间变化曲线表明,深能级中被俘获电子在光学瞬态吸收中起重要作用.为了模拟GaInNAs中光生载流子动力学过程和拟合泵浦-探测实验结果,采用了一个简化的微分方程模型,该模型能够解释被深能级俘获电子的弛豫过程,并可获得驰豫过程的时间常数. 展开更多
关键词 gainnas薄膜 深能级 载流子驰豫过程 泵浦-探测
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新型长波长半导体激光器材料GaInNAs
4
作者 俞波 韩军 +3 位作者 李建军 邓军 廉鹏 沈光地 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期21-24,29,共5页
对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评。通过材料性质的介绍,表明GaInNAs材料是一种很有前景的长波长半导体材料。同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了比较, 指出了目前MOCVD生长GaInNAs材料存在的难点。介绍了目... 对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评。通过材料性质的介绍,表明GaInNAs材料是一种很有前景的长波长半导体材料。同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了比较, 指出了目前MOCVD生长GaInNAs材料存在的难点。介绍了目前国际上基于GaInNAs材料的长波长VCSEL 的器件研究情况。 展开更多
关键词 gainnas 氮化物 VCSEL
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应变GaInNAs/GaAs量子阱光增益特性研究
5
作者 俞波 韩军 +6 位作者 李建军 盖红星 牛南辉 邓军 邢艳辉 廉鹏 沈光地 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期232-234,243,共4页
采用近似方法对GaInNAs材料的能带结构进行了分析,并计算了应变GaInNAs/GaAs量子阱能级,在此基础上进一步计算了应变GaInNAs/GaAs量子阱的材料光增益谱。对计算结果的分析表明,应变GaInNAs/GaAs量子阱材料是一种可以应用于1300nm波段的... 采用近似方法对GaInNAs材料的能带结构进行了分析,并计算了应变GaInNAs/GaAs量子阱能级,在此基础上进一步计算了应变GaInNAs/GaAs量子阱的材料光增益谱。对计算结果的分析表明,应变GaInNAs/GaAs量子阱材料是一种可以应用于1300nm波段的新型长波长半导体光电子材料。 展开更多
关键词 应变量子阱 光增益 gainnas
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快速热退火对GaInNAs/GaAs单量子阱反常温度特性研究
6
作者 边历峰 江德生 陆书龙 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期582-584,共3页
分析了MBE生长的GaInNAs/GaAs单量子阱样品的光致荧光谱 (PL) ,细致地研究了在弱激发功率下GaInNAs/GaAs样品的发光峰位的S 型反常温度依赖关系。并对材料进行了退火处理 ,结果发现退火有效地改善材料的发光特性 ,并且会造成S 型的转变... 分析了MBE生长的GaInNAs/GaAs单量子阱样品的光致荧光谱 (PL) ,细致地研究了在弱激发功率下GaInNAs/GaAs样品的发光峰位的S 型反常温度依赖关系。并对材料进行了退火处理 ,结果发现退火有效地改善材料的发光特性 ,并且会造成S 型的转变温度降低 ,从而说明退火可以有效地减少局域态。 展开更多
关键词 MBE gainnas 光致荧光谱(PL) S-型温度依赖关系
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GaInNAs/GaAs量子阱太阳电池模型建立与计算 被引量:2
7
作者 周福成 唐吉玉 陈俊芳 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期348-351,共4页
对第三代太阳电池的InGaP/GaAs双叠层模型结构进行了理论性改进,提出了将GaInNAs/GaAs量子阱结构生长于子电池GaAs的空间电荷区的模型,并对其子电池的吸收效率与量子效率进行了模拟计算,分析了此模型对提高叠层太阳电池的整体光电转换... 对第三代太阳电池的InGaP/GaAs双叠层模型结构进行了理论性改进,提出了将GaInNAs/GaAs量子阱结构生长于子电池GaAs的空间电荷区的模型,并对其子电池的吸收效率与量子效率进行了模拟计算,分析了此模型对提高叠层太阳电池的整体光电转换效率的可行性。 展开更多
关键词 太阳电池 gainnas/GaAs 量子阱 吸收效率 IQE
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GaInNAs/GaAs量子阱的光致发光谱和光调制反射谱
8
作者 梁晓甘 江德生 +3 位作者 边历峰 潘钟 李联合 吴荣汉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1281-1285,共5页
研究了 Ga In NAs/Ga As多量子阱在不同温度和激发功率下的光致发光 (PL )谱以及光调制反射 (PR)谱 .发现 PL谱主发光峰的能量位置随温度的变化不满足 Varshni关系 ,而是呈现出反常的 S型温度依赖关系 .进一步测量 ,特别是在较低的激发... 研究了 Ga In NAs/Ga As多量子阱在不同温度和激发功率下的光致发光 (PL )谱以及光调制反射 (PR)谱 .发现 PL谱主发光峰的能量位置随温度的变化不满足 Varshni关系 ,而是呈现出反常的 S型温度依赖关系 .进一步测量 ,特别是在较低的激发光功率密度下 ,发现有两个不同来源的发光峰 ,它们分别对应于氮引起的杂质束缚态和带间的激子复合发光 .随温度变化 ,这两个发光峰相对强度发生变化 ,造成主峰 (最强的峰 )的位置发生切换 ,从而导致表观上的 S型温度依赖关系 . 展开更多
关键词 gainnas/GaAs量子阱 光致发光谱 光调制反射谱 氮化物 半导体 镓铟氮砷化合物
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GaAs基GaInNAs太阳电池研究进展
9
作者 李景灵 高芳亮 李国强 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期913-919,共7页
在研究新型高效GaAs基三结和四结太阳电池过程中,研究者努力寻找一种既满足能隙约为1eV,同时又与GaAs衬底晶格匹配的半导体材料。通过调节组分,GaInNAs可同时满足上述两个特性,因此GaInNAs被认为是制备新型高效多结GaAs基太阳电池的理... 在研究新型高效GaAs基三结和四结太阳电池过程中,研究者努力寻找一种既满足能隙约为1eV,同时又与GaAs衬底晶格匹配的半导体材料。通过调节组分,GaInNAs可同时满足上述两个特性,因此GaInNAs被认为是制备新型高效多结GaAs基太阳电池的理想材料。但实际上,制备高晶体质量GaInNAs材料十分困难,造成所制备的器件性能低下,未能达到实际要求。探讨了导致GaInNAs材料生长困难的机理,并对当前GaAs基GaInNAs太阳电池材料的研究历程和技术现状进行了概述。在此基础上,展望了GaInNAs技术的未来走向。 展开更多
关键词 GAAS gainnas 太阳电池
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Effects of Rapid Thermal Annealing on OpticalProperties of GaInNAs/ GaAs Single Quantum Well Grown by Plasma- Assisted Molecular Beam Epitaxy 被引量:1
10
作者 张伟 潘钟 +2 位作者 李联合 王学宇 林耀望 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期974-978,共5页
The effects of Rapid Thermal Annealing (RTA) on the optical properties of GaInNAs/GaAs Single Quantum Well (SQW) grown by plasma assisted molecular beam epitaxy are investigated. Ion removal magnets were applied to re... The effects of Rapid Thermal Annealing (RTA) on the optical properties of GaInNAs/GaAs Single Quantum Well (SQW) grown by plasma assisted molecular beam epitaxy are investigated. Ion removal magnets were applied to reduce the ion damage during the growth process and the optical properties of GaInNAs/GaAs SQW are remarkably improved. RTA was carried out at 650℃ and its effect was studied by the comparising the room\|temperature PhotoLuminescence (PL) spectra for the non ion removed (grown without magnets) sample with for the ion removed (grown with magnets) one. The more significant improvement of PL characteristics for non ion removed GaInNAs/GaAs SQW after annealing (compared with those for ion removed) indicates that the nonradiative centers removed by RTA at 650℃ are mainly originated from ion damage. After annealing the PL blue shift for non ion removed GaInNAs/GaAs SQW is much larger than those for InGaAs/GaAs and ion removed GaInNAs/GaAs SQW. It is found that the larger PL blue shift of GaInNAs/GaAs SQW is due to the defect assisted In Ga interdiffusion rather than defect assisted N As interdiffusion. 展开更多
关键词 gainnas 砷化镓 快速热退火 光学特性
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GaInP/GaInAs/GaInNAs/Ge Four-Junction Solar Cell Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition with High Efficiency
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作者 张杨 王青 +5 位作者 张小宾 刘振奇 陈丙振 黄珊珊 彭娜 王智勇 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第10期167-171,共5页
We directly grow a lattice matched GalnP/GalnAs/GalnNAs/Ge (1.88 eVil .42 eVil .05 eV/0.67eV) four-junction (4J) solar cell on a Ge substrate by the metal organic chemical vapor deposition technology. To solve the... We directly grow a lattice matched GalnP/GalnAs/GalnNAs/Ge (1.88 eVil .42 eVil .05 eV/0.67eV) four-junction (4J) solar cell on a Ge substrate by the metal organic chemical vapor deposition technology. To solve the current limit of the GalnNAs sub cell, we design three kinds of anti-reflection coatings and adjust the base region thickness of the GalnNAs sub cell. Developed by a series of experiments, the external quantum efficiency of the GalnNAs sub cell exceeds 80%, and its current density reaches 11.24 mA/cm2. Therefore the current limit of the 4J solar cell is significantly improved. Moreover, we discuss the difference of test results between 4J and GalnP/GalnAs/Ge solar cells under the 1 sun AMO spectrum. 展开更多
关键词 by on it of GaInP/GaInAs/gainnas/Ge Four-Junction Solar Cell Grown by Metal Organic Chemical Vapor Deposition with High Efficiency is THAN Ge GaAs with cell that
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High-Temperature Characteristics of GaInNAs/GaAs Single-Quantum-Well Lasers Grown by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy
12
作者 潘钟 李联合 +2 位作者 杜云 林耀望 吴荣汉 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2001年第5期659-661,共3页
GaInNAs/GaAs single-quantum-well(SQW)lasers have been grown by solid-source molecular beam epitaxy.N is introduced by a home-made dc-active plasma source.Incorporation of N into InGaAs decreases the bandgap significan... GaInNAs/GaAs single-quantum-well(SQW)lasers have been grown by solid-source molecular beam epitaxy.N is introduced by a home-made dc-active plasma source.Incorporation of N into InGaAs decreases the bandgap significantly.The highest N concentration of 2.6%in GaInNAs/GaAs QW is obtained,corresponding to the photoluminescence(PL)peak wavelength of 1.57μm at 10 K.The PL peak intensity decreases rapidly and the PL full width at half maximum increases with the increasing N concentrations.Rapid thermal annealing at 850℃ could significantly improve the crystal quality of the QWs.An optimum annealing time of 5s at 850℃ was obtained.The GaInNAs/GaAs SQW laser emitting at 1.2μm exhibits a high characteristic temperature of 115 K in the temperature range of 20℃-75℃. 展开更多
关键词 gainnas/GaAs EPITAXY LASERS
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GaInNAs半导体盘形激光器作为Tm^(3+)(Ho^(3+))掺杂玻璃、晶体和纤维激光器的泵浦源
13
作者 苏法刚 《光机电信息》 2009年第12期1-6,共6页
本文报道了首次应用半导体盘形激光器(SDL)在~2μm发光的Tm3+(Ho3+)掺杂介质激光器中作为泵浦源。~1213nm GaInNAs/GaAsSDL可产生功率>1W的连续波(CW)输出,最大功率转换净斜率效率为18.5%,全宽度半峰值波长调节范围~24nm。在1213nm ... 本文报道了首次应用半导体盘形激光器(SDL)在~2μm发光的Tm3+(Ho3+)掺杂介质激光器中作为泵浦源。~1213nm GaInNAs/GaAsSDL可产生功率>1W的连续波(CW)输出,最大功率转换净斜率效率为18.5%,全宽度半峰值波长调节范围~24nm。在1213nm SDL泵浦下,无约束运行的Tm3+掺杂亚碲酸盐玻璃激光器可产生60mW的功率输出,斜率效率为22.4%。波长可调节输出也可在1845~2043nm范围内获得。将Tm3+掺杂玻璃改为Tm3+掺杂KYW工作物质,可达到~200mW输出功率和~35%斜率效率的改进性能。还报道了Tm3+、Ho3+共掺杂亚碲酸盐玻璃激光器发射,最大输出功率~12mW,斜率效率~7%。最后对1213nm泵浦的Tm3+、Ho3+共掺杂石英纤维激光器进行了初步研究,得到36mW的输出功率,斜率效率~19.3%。 展开更多
关键词 gainnas/GaAs 盘形激光器 纤维激光器 掺杂玻璃 泵浦源 半导体 最大输出功率 TM^3+
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GaInNAs半导体激光器的开发 被引量:2
14
作者 孙再吉 《半导体信息》 2007年第1期18-18,共1页
关键词 半导体激光器 gainnas 激光器件 阈值电流 光通信网络 有源层 日立制作所 中央研究所 射频模块
原文传递
1.3μm Ga In NAs量子阱 RCE光探测器(英文) 被引量:6
15
作者 张瑞康 钟源 +5 位作者 徐应强 张纬 黄永清 任晓敏 潘钟 林耀望 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期303-307,共5页
采用配有 dc- N plasma N源的分子束外延 (MBE)技术在 Ga As衬底上生长制作了工作波长为 1 ,3 μm的 Ga In NAs量子阱 RCE探测器 .采用传输矩阵法对器件结构进行优化 .吸收区由三个 Ga In NAs量子阱构成 ,并用湿法刻蚀和聚酰亚胺对器件... 采用配有 dc- N plasma N源的分子束外延 (MBE)技术在 Ga As衬底上生长制作了工作波长为 1 ,3 μm的 Ga In NAs量子阱 RCE探测器 .采用传输矩阵法对器件结构进行优化 .吸收区由三个 Ga In NAs量子阱构成 ,并用湿法刻蚀和聚酰亚胺对器件进行隔离 .在零偏压下 ,器件最大的量子效率为 1 2 %,半峰值全宽 (FWHM)为 5 .8nm,3 d B带宽为 3 0 MHz,暗电流为 2× 1 0 - 11A.通过对 MBE生长条件和器件结构的优化 ,将进一步提高该器件的性能 . 展开更多
关键词 gainnas量子阱 RCE光探测器 分子束外延 量子效应 结构优化 镓铟氮砷量子阱
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谐振腔增强型光电探测器的角度相关特性研究(英文) 被引量:2
16
作者 梁琨 杨晓红 +1 位作者 杜云 吴荣汉 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期637-640,共4页
采用MBE生长In0 .3 Ga0 .7As/GaAs和GaInNAs/GaAs量子阱为有源区的器件结构材料 ,制备出工作在10 60nm及 1310nm波段的谐振腔增强型光电探测器 .对谐振腔增强型光电探测器的空间角度相关特性进行了实验与物理分析 ,改变光束入射角度 。
关键词 谐振腔增强型光电探测器 空间角度相关特性 量子阱 gainnas GAAS 砷化镓 半导体
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高效GaAs基系Ⅲ-Ⅴ族化合物太阳电池的研究进展 被引量:1
17
作者 高慧 杨瑞霞 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期81-90,共10页
GaAs基系Ⅲ-V族化合物太阳电池具有带隙最优、抗辐射能力强、高效率、高温稳定性好和机械强度高等优点,是目前高效太阳电池的研发重点。从异质结设计、多结结构设计、晶格匹配优化、光谱-能带匹配设计、掺N半导体材料及半导体键合工艺... GaAs基系Ⅲ-V族化合物太阳电池具有带隙最优、抗辐射能力强、高效率、高温稳定性好和机械强度高等优点,是目前高效太阳电池的研发重点。从异质结设计、多结结构设计、晶格匹配优化、光谱-能带匹配设计、掺N半导体材料及半导体键合工艺等方面,介绍了Ⅲ-V族高效多结太阳电池近年来的研究进展和关键技术,重点讨论了光谱匹配结构设计和半导体键合等新技术方法。采用半导体键合技术的四结聚光太阳电池最高效率已达46%。同时结合目前的技术现状,对其未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 GAAS太阳电池 gainnas 反向失配 正向失配 半导体键合
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砷化镓基系Ⅲ-V族化合物半导体太阳电池的发展和应用(8)
18
作者 向贤碧 廖显伯 《太阳能》 2016年第1期10-11,共2页
4 Ⅲ-Ⅴ族化合物电池研发的新动向 4.1含GalnNAs(Sb)晶格匹配的三~五结叠层聚光电池 前文介绍在研发与GaAs晶格匹配的1eV带隙的GaInNAs材料时遇到了困难,这一问题在2011年终于取得了突破。据Solar Junction公司报道,他们制备了高... 4 Ⅲ-Ⅴ族化合物电池研发的新动向 4.1含GalnNAs(Sb)晶格匹配的三~五结叠层聚光电池 前文介绍在研发与GaAs晶格匹配的1eV带隙的GaInNAs材料时遇到了困难,这一问题在2011年终于取得了突破。据Solar Junction公司报道,他们制备了高质量的稀N含量GaInNAs(Sb)分子束外延材料,并成功研制了GaInP/GaAs/GaInNAs(Sb)三结叠层电池。 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 太阳电池 GaInP/GaAs 砷化镓 应用 gainnas 讲座 晶格匹配
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砷化镓基系Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体太阳电池的发展和应用(6)
19
作者 向贤碧 廖显伯 《太阳能》 2015年第11期14-15,共2页
1997年Olson等提出采用Ga1-xInxN1-yAsy四元系材料来研制第三结子电池,因为这是化合物半导体材料中,唯一一种可通过调节x、y值(Ga0.93In0.07 N0.023As0.977),既能得到约1 eV的带隙,又与GaAs晶格匹配的材料[24].但是,带隙为1 eV的窄带... 1997年Olson等提出采用Ga1-xInxN1-yAsy四元系材料来研制第三结子电池,因为这是化合物半导体材料中,唯一一种可通过调节x、y值(Ga0.93In0.07 N0.023As0.977),既能得到约1 eV的带隙,又与GaAs晶格匹配的材料[24].但是,带隙为1 eV的窄带隙Ga1-xInxN1-yAsy材料的质量差,与N相关的本征缺陷多,少子扩散长度小,载流子迁移率低.虽然经过多年的努力,研制出的1 eV的GaInNAs太阳电池的量子效率和短路电流Isc仍不够大. 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 太阳电池 化合物半导体材料 砷化镓 应用 gainnas 讲座 少子扩散长度
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退火后应变Ga_(1-x)ln_xN_yAs_(1-y)/GaAs量子阱特性 被引量:2
20
作者 李培 唐吉玉 +2 位作者 文于华 王茜 李德钦 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期505-508,共4页
引入N原子周围In原子数r自建模型,研究退火对GaInNAs/GaAs量子阱能带结构和应变效应的影响,计算退火前后量子阱的光增益谱,讨论了退火温度和量子阱阱宽对光增益峰值蓝移的影响。结果表明退火使带隙发生蓝移,光增益峰值向短波方向移动,... 引入N原子周围In原子数r自建模型,研究退火对GaInNAs/GaAs量子阱能带结构和应变效应的影响,计算退火前后量子阱的光增益谱,讨论了退火温度和量子阱阱宽对光增益峰值蓝移的影响。结果表明退火使带隙发生蓝移,光增益峰值向短波方向移动,退火温度T越高,相同组分条件下的峰值蓝移越大。减小合金中N含量以及增加量子阱阱宽可减少增益峰值蓝移,从而降低退火带来的不利影响。 展开更多
关键词 gainnas/GaAs 退火 光增益
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