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Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响 被引量:1
1
作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 王浩 孙慧卿 郑树文 郭志友 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期375-378,共4页
采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5... 采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。以X射线双晶衍射技术和光致发光技术对外延片进行了表征 ,研究了Si掺杂对AlGaInP/GaInP多量子阱性能的影响。研究表明 :掺Si能大大提高 (Al0 .3 Ga0 .7) 0 .5In0 .5P/Ga0 .5In0 .5P多量子阱的发光强度。相对于未故意掺杂的样品 ,多量子阱垒层掺Si使多量子阱的发光强度提高了 13倍 ,阱层和垒层均掺Si使多量子阱的发光强度提高了 2 8倍。外延片的X射线双晶衍射测试表明 。 展开更多
关键词 algainp algainp/gainp多量子阱 X射线双晶衍射 Si掺杂 光致发光
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AlGaInP/GaInP多量子阱的拉曼光谱 被引量:1
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作者 陈练辉 范广涵 +1 位作者 孟耀勇 刘桂强 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期859-862,共4页
利用LP-MOCVD生长了不同周期的AlGaInP/GaInP MQW样品,并测量了它们的拉曼光谱。由于样品包括了掺杂的电流扩展层和欧姆接触层以及上、下限制层,拉曼光谱中观察到了与掺杂有关的耦合电子(空穴)气-纵光学声子模。根据喇曼光谱的选择定则... 利用LP-MOCVD生长了不同周期的AlGaInP/GaInP MQW样品,并测量了它们的拉曼光谱。由于样品包括了掺杂的电流扩展层和欧姆接触层以及上、下限制层,拉曼光谱中观察到了与掺杂有关的耦合电子(空穴)气-纵光学声子模。根据喇曼光谱的选择定则,结合光致发光谱,发现AlP-LO/TO的相对强度比可以评定晶体AlGaInP MQW的生长质量。 展开更多
关键词 光电子学 algainp/gainp MQW 拉曼光谱 耦合电子(空穴)气-纵光学声子模
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退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度的影响 被引量:1
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作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 孙慧卿 王浩 郑树文 郭志友 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第1期67-70,共4页
采用LP-MOCVD技术在n-GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片.相关研究表明退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度有重要影响.与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5 6×1018cm-3增大到6 5×... 采用LP-MOCVD技术在n-GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片.相关研究表明退火对p型GaP和p型AlGaInP载流子浓度有重要影响.与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5 6×1018cm-3增大到6 5×1018cm-3,p型AlGaInP层的空穴浓度由6 0×1017cm-3增大到1 1×1018cm-3.这可能是由于退火破坏了Mg-H复合体,恢复了Mg受主的活性导致的. 展开更多
关键词 半导体 光致发光 砷化镓 载流子浓度 退火
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退火对AlGaInP/GaInP多量子阱LED外延片性能的影响
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作者 李述体 范广涵 +4 位作者 周天明 孙慧卿 王浩 郑树文 郭志友 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期510-514,共5页
采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。研究表明退火对外延片性能有重要影响。与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5.6×1018cm-3增大到6.5×1018cm-3,p型AlGaIn... 采用LP MOCVD技术在n GaAs衬底上生长了AlGaInP/GaInP多量子阱红光LED外延片。研究表明退火对外延片性能有重要影响。与未退火样品相比,460℃退火15min,外延片p型GaP层的空穴浓度由5.6×1018cm-3增大到6.5×1018cm-3,p型AlGaInP层的空穴浓度由6.0×1017cm-3增大到1.1×1018cm-3。但退火温度为780℃时,p型GaP层和p型AlGaInP层的空穴浓度分别下降至8×1017cm-3和1.7×1017cm-3,且Mg原子在AlGaInP系材料中的扩散加剧,导致未掺杂AlGaInP/GaInP多量子阱呈现p型电导。在460~700℃退火范围内,并没有使AlGaInP/GaInP多量子阱的发光性能发生明显变化。但退火温度为780℃时,AlGaInP/GaInP多量子阱的发光强度是退火前的2倍。 展开更多
关键词 Mgainp algainp/gainp多量子阱 金属有机化学气相沉积 电化学电容电压分析 光致发光
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GaInP/AlGaInP脊形波导激光器器件结构的优化研究
5
作者 高峰 章燕申 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期90-92,共3页
通过优化脊形波导的结构参数可以降低脊形波导激光器的阈值电流 ,提出了实现亚微米脊宽 ,从而降低阈值电流的方法。针对脊形波导制作过程中蚀刻深度不易控制的问题 。
关键词 gainp/algainp 脊形波导 优化 激光器器件 结构
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实用化GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器
6
作者 熊飞克 郭良 +3 位作者 马骁宇 杨志鸿 王树堂 陈良惠 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第11期1-3,共3页
用低压MOVPE方法研制出了波长为655nm与670nm的GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器,并已形成一定的批量生产能力。器件的阈值电流典型值为45mA,输出光功率不小于5mW,最高工作温度不低于50... 用低压MOVPE方法研制出了波长为655nm与670nm的GaInP-AlGaInP半导体量子阱可见光激光器,并已形成一定的批量生产能力。器件的阈值电流典型值为45mA,输出光功率不小于5mW,最高工作温度不低于50℃,预计20℃时寿命接近100,000小时,主要技术指标与目前进口的同类产品水平相当,完全可以满足实用要求。 展开更多
关键词 半导体 激光器 量子阱 gainp algainp
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AlGaInP/GaInP多量子阱MOCVD外延片光学特性测试
7
作者 王雅芳 罗键 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期26-29,共4页
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长了不同周期的四元合金半导体材料AlGaInP/(GaInP多量子阱(MQW)外延片,通过实验找到了在周期数和阱/垒宽度比等结构参数上生产AlGaInP/GaInP MQW的比较理想的结果.对常温下AlGaInP/GaInP MQW外延... 利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长了不同周期的四元合金半导体材料AlGaInP/(GaInP多量子阱(MQW)外延片,通过实验找到了在周期数和阱/垒宽度比等结构参数上生产AlGaInP/GaInP MQW的比较理想的结果.对常温下AlGaInP/GaInP MQW外延片的光学性质进行深入的分析和实验研究,发现当阱/垒宽度比a=0.56时,出光强度趋于饱和,当周期数目N=20时,FWHM减小到11.9 nm,可在一定程度上达到改善MQW结构设计和提高材料生长质量的目的. 展开更多
关键词 algainp/gainp MQW 拉曼光谱 金属有机物化学气相沉积
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(Al)GaInP材料的MOCVD生长研究 被引量:3
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作者 俞波 李建军 +6 位作者 盖红星 牛南辉 邢艳辉 邓军 韩军 廉鹏 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期181-183,共3页
对可见光半导体光电子材料Ga0. 5In0. 5P、(AlXGa1-X)0. 5In0. 5P的MOCVD生长进行了研究。使用X射线双晶衍射和PL谱测量结合的手段,研究了生长速度和生长温度对材料质量的影响。根据测试结果优化了(Al)GaInP材料的生长速度和生长温度。... 对可见光半导体光电子材料Ga0. 5In0. 5P、(AlXGa1-X)0. 5In0. 5P的MOCVD生长进行了研究。使用X射线双晶衍射和PL谱测量结合的手段,研究了生长速度和生长温度对材料质量的影响。根据测试结果优化了(Al)GaInP材料的生长速度和生长温度。为研制出高性能的650nm半导体激光器打下良好的材料基础。 展开更多
关键词 金属有机化合物汽相淀积 algainp gainp
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GaInP/AlGaInP应变多量子阱激光器垂直于结方向上的光束质量研究 被引量:3
9
作者 周国泉 吕章德 王绍民 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期583-586,共4页
用转移矩阵方法对 680nmGaInP/AlGaInP应变多量子阱激光器的波导模式作了分析和计算。根据非傍轴光束传输的矢量矩理论 ,对该激光器垂直于结平面方向上的光束质量因子M2 ⊥ 进行了理论计算 ,结果表明M2 ⊥ 小于 1,和实验结果相符合。
关键词 应变多量子阱激光器 光束质量 转移矩阵 波导模式 gainp/algainp
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脊形波导激光器中GaInP/AlGaInP选择蚀刻性的研究 被引量:1
10
作者 高峰 吴麟章 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期899-901,共3页
本文制做了 6 70 nm Ga In P/ Al Ga In P应变层单量子阱脊形波导激光器。为了进一步优化工艺 ,在普通的单量子阱材料横向结构中嵌入了 30~ 5 0 nm的 Ga In P蚀刻阻挡层。用此种材料加工而成的腔长12 0 0 μm、宽 6 4μm的氧化条激光... 本文制做了 6 70 nm Ga In P/ Al Ga In P应变层单量子阱脊形波导激光器。为了进一步优化工艺 ,在普通的单量子阱材料横向结构中嵌入了 30~ 5 0 nm的 Ga In P蚀刻阻挡层。用此种材料加工而成的腔长12 0 0 μm、宽 6 4μm的氧化条激光器的阈值电流密度为 340 A/ cm2。采用配比为 1.0∶ 2 .5的 HCl∶H2 O溶液对 Ga In P/ Al Ga In P进行湿蚀刻研究 。 展开更多
关键词 gainp/algainp 蚀刻阻挡层 选择蚀刻性 脊形波导激光器
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谱导数法在光谱研究GaInAs/InP和GaInP/AlGaInP多量子阱中的应用 被引量:2
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作者 邵军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期2534-2540,共7页
在简要讨论谱导数法物理机理的基础上 ,给出了其在光吸收谱和光反射谱方法研究张应变GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的成功应用实例 .比较了不同阶谱导数对测定激子跃迁能量的影响 ,论及了其与双调制谱方法、曲线拟合方法的区别 ... 在简要讨论谱导数法物理机理的基础上 ,给出了其在光吸收谱和光反射谱方法研究张应变GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的成功应用实例 .比较了不同阶谱导数对测定激子跃迁能量的影响 ,论及了其与双调制谱方法、曲线拟合方法的区别 .指出了谱导数法在光谱研究GaInAs InP和GaInP AlGaInP多量子阱中的重要性和易行性 . 展开更多
关键词 谱导数法 物理机理 光谱研究 半导体 光吸收谱 光反射谱 多量子阱 激子跃迁 GAINAS/INP gainp/algainp
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Measurement of Refractive Indices of (Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P Grown by Low Pressure Organometallic Vapor Phase Epitaxy
12
作者 廉鹏 马骁宇 +1 位作者 张广泽 陈良惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期398-401,共4页
The refractive indices of disordered (Al xGa 1-x ) 0 51 In 0 49 P,which is grown by low-pressure organometallic vapor phase epitaxy and lattice-matched to GaAs substrate,have been determined by measurin... The refractive indices of disordered (Al xGa 1-x ) 0 51 In 0 49 P,which is grown by low-pressure organometallic vapor phase epitaxy and lattice-matched to GaAs substrate,have been determined by measuring their reflectance spectra when the wavelength ranges between 0 5 to 2 5 micrometer.A single-oscillator dispersion model is used to verify the experiment data and calculate the reflectance spectrum.The refractive indices are used to analyze the waveguide of strain quantum well GaInP/AlGaInP visible laser diode.The simulated far field pattern is consistent with the experimental results very well. 展开更多
关键词 LP-OMVPE refractive index MEASUREMENT gainp/algainp
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GaInP/AlGaInP应变多量子阱激光器的光束质量
13
作者 王绍民 赵道木 周国泉 《激光与光电子学进展》 CSCD 2001年第9期49-49,共1页
设计了一大角度能将非傍轴光束非截取地变换到傍轴光束的光学变换系统,并应用于测量650 nm GaInP/AlGaInP应变多量子阱激光器的等效光束质量.垂直于结方向上的光束经变换后的第二束腰的位置,要比平行于结方向上的远.实验测得平行于结方... 设计了一大角度能将非傍轴光束非截取地变换到傍轴光束的光学变换系统,并应用于测量650 nm GaInP/AlGaInP应变多量子阱激光器的等效光束质量.垂直于结方向上的光束经变换后的第二束腰的位置,要比平行于结方向上的远.实验测得平行于结方向上的等效光束质量因子是1.2;垂直于结方向上的等效光束质量因子是0.6.综合考虑各种因素,实验的测量误差约为±20%.随后,用波导模式理论和非傍轴矢量矩理论对各类激光器的光束质量进行了初步的理论分析和计算,得到光束质量因子小于1的基本条件是发射区的尺寸小于0.3个波长.由于目前变换系统还存在着像差,实验结果与理论计算值尚有一定差距,因此该光学变换系统有待于进一步改进、完善.通过这一研究,有助于半导体激光器有源区尺寸的优化设计和半导体激光器的优化封装,从而有利于半导体激光器性能的综合改善,以提高其使用性能,拓展其应用范围,推动半导体激光器科学技术的研究、应用和发展.(OG15) 展开更多
关键词 gainp/algainp 多量子阱激光器 光束质量
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红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器
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作者 李敬 黄永箴 +2 位作者 肖金龙 杜云 樊中朝 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1278-1281,共4页
利用普通光刻和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制作了红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器,光功率电流曲线表明,器件实现了200 K的低温激射。对边长为10μm、输出波导长为30μm的正方形微腔激光器,室温测量得到的纵模模式间距为1.3 nm,... 利用普通光刻和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制作了红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器,光功率电流曲线表明,器件实现了200 K的低温激射。对边长为10μm、输出波导长为30μm的正方形微腔激光器,室温测量得到的纵模模式间距为1.3 nm,所对应的是由输出波导和正方形腔组成的F-P腔的F-P模式。采用二维时域有限差分法(FDTD),模拟研究了侧壁粗糙对正方形腔模式品质因子的影响。 展开更多
关键词 光学微腔 半导体激光器 gainp/algainp 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀
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MOCVD growth of AlGaInP/GaInP quantum well laser diode with asymmetric cladding structure for high power applications 被引量:2
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作者 李沛旭 王翎 +5 位作者 李树强 夏伟 张新 汤庆敏 任忠祥 徐现刚 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第6期489-491,共3页
In order to improve the characteristics of the general broad-waveguide 808-nm semiconductor laser diode (LD), we design a new type quantum well LD with an asymmetric cladding structure. The structure is grown by met... In order to improve the characteristics of the general broad-waveguide 808-nm semiconductor laser diode (LD), we design a new type quantum well LD with an asymmetric cladding structure. The structure is grown by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). For the devices with 100-ttm-wide stripe and 1000-/zm-long cavity under continuous-wave (CW) operation condition, the typical threshold current is 190 mA, the slope efficiency is 1.31 W/A, the wall-plug efficiency reaches 63%, and the maximum output power reaches higher than 7 W. And the internal absorption value decreases to 1.5 cm^-1. 展开更多
关键词 MOCVD growth of algainp/gainp quantum well laser diode with asymmetric cladding structure for high power applications well high
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Mg掺杂AlInP 650 nmLD外延片的Zn扩散研究
16
作者 李树强 马德营 +5 位作者 夏伟 陈秀芳 张新 任忠祥 徐现刚 蒋民华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期854-856,共3页
利用石英闭管法,对Mg掺杂AlInP 650 nm LD外延片进行Zn扩散,分析了扩散温度和时间2个参数对Zn扩散的影响。采用光致发光(PL)谱和电化学蒸涂(ECV)方法研究了Zn扩散产生的影响。PL谱结果表明,Zn扩散引起了AlGaInP/GaInP多量子阱(MQW)有源... 利用石英闭管法,对Mg掺杂AlInP 650 nm LD外延片进行Zn扩散,分析了扩散温度和时间2个参数对Zn扩散的影响。采用光致发光(PL)谱和电化学蒸涂(ECV)方法研究了Zn扩散产生的影响。PL谱结果表明,Zn扩散引起了AlGaInP/GaInP多量子阱(MQW)有源层的组分无序,使PL谱的峰值蓝移,最大蓝移为54 nm,约175 meV。ECV测量结果显示,Zn已经扩散到MQW有源区,MQW区域的p型载流子浓度为4.4×1017cm-3。 展开更多
关键词 algainp/gainp量子阱 ZN扩散 组分无序
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