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氨热法GaN单晶生长的位错密度演变研究
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作者 夏政辉 李腾坤 +6 位作者 任国强 解凯贺 卢文浩 李韶哲 郑树楠 高晓冬 徐科 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期480-486,共7页
氮化镓单晶具有高击穿电压、直接带隙、高饱和电子漂移速率、良好的化学稳定性等特性,在光电子器件和大功率电子器件中有广泛的应用。然而异质外延氮化镓会产生高位错密度,限制了氮化镓基器件的性能发挥。本研究以HVPE-GaN为籽晶,采用... 氮化镓单晶具有高击穿电压、直接带隙、高饱和电子漂移速率、良好的化学稳定性等特性,在光电子器件和大功率电子器件中有广泛的应用。然而异质外延氮化镓会产生高位错密度,限制了氮化镓基器件的性能发挥。本研究以HVPE-GaN为籽晶,采用氨热法生长了氮化镓单晶,利用扫描电子显微镜(SEM),光学显微镜和湿法腐蚀研究了氨热法氮化镓单晶籽晶区至侧向生长区的位错演变。研究结果表明,侧向生长区的氮化镓单晶位错密度明显低于籽晶区,侧向生长超过25μm后,位错密度降低2个数量级。 展开更多
关键词 氮化镓单晶 氨热法 侧向生长 位错密度 腐蚀坑
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不同晶面应变纤锌矿GaN/AlN量子阱的价带结构理论研究
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作者 刘亚群 李希越 章国豪 《广东工业大学学报》 CAS 2024年第1期119-126,共8页
为深刻理解应变异质结量子阱结构的物理性质,帮助改进基于宽禁带氮化物半导体器件的设计,本文基于六带应力相关的k·p哈密顿量与自洽薛定谔-泊松方程建立了在场约束效应下极性(0001)、半极性(10■2)及非极性(10■0)晶面的纤锌矿GaN/... 为深刻理解应变异质结量子阱结构的物理性质,帮助改进基于宽禁带氮化物半导体器件的设计,本文基于六带应力相关的k·p哈密顿量与自洽薛定谔-泊松方程建立了在场约束效应下极性(0001)、半极性(10■2)及非极性(10■0)晶面的纤锌矿GaN/AlN量子阱价带子带模型,并给出了不同晶面GaN/AlN量子阱在双轴和单轴应力作用下的子带能量色散关系。根据应力对量子阱价带结构的影响,对应力与空穴有效质量之间的微观物理关系进行了综合研究。结果表明,价带结构对晶体取向的改变有很大的依赖性。双轴应力对有效质量的改善效果不大,然而单轴压缩应力通过降低垂直沟道方向的能量使低有效质量区域获得更多的空穴,从而有效降低空穴有效质量,且在不同晶面的结构中都减少了约90%。 展开更多
关键词 价带结构 应力 gan/AlN量子阱 晶面 k·p方法
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Improved crystal quality of GaN film with the in-plane lattice-matched In_(0.17)Al_(0.83)N interlayer grown on sapphire substrate using pulsed metal organic chemical vapor deposition
3
作者 李亮 杨林安 +4 位作者 薛军帅 曹荣涛 许晟瑞 张进成 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期478-483,共6页
We report on an improvement in the crystal quality of GaN film with an Ino.17Alo.83N interlayer grown by pulsed metal-organic chemical vapor deposition, which is in-plane lattice-matched to GaN films. The indium compo... We report on an improvement in the crystal quality of GaN film with an Ino.17Alo.83N interlayer grown by pulsed metal-organic chemical vapor deposition, which is in-plane lattice-matched to GaN films. The indium composition of about 17% and the reductions of both screw and edge threading dislocations (TDs) in GaN film with the InA1N interlayer are estimated by high resolution X-ray diffraction. Transmission electron microscopy (TEM) measurements are employed to understand the mechanism of reduction in TD density. Raman and photoluminescence measurements indicate that the InA1N interlayer can improve the crystal quality of GaN film, and verify that there is no additional residual stress induced into the GaN film with InA1N interlayer. Atomic force microscopy measurement shows that the InA1N interlayer brings in a smooth surface morphology of GaN film. All the results show that the insertion of the InA1N interlayer is a convenient method to achieve excellent crystal quality in GaN epitaxy. 展开更多
关键词 In0.17Al0.83N interlayer gan crystal quality dislocation reduction photoluminescence Raman spectra
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单晶GaN纳米力学性能与切削特性试验研究
4
作者 唐昆 梁杰 +2 位作者 张先源 欧旺平 张墨客 《长沙理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2023年第6期119-127,共9页
【目的】研究单晶GaN微纳米量级下的力学性能与切削特性,为微纳制造提供理论基础和数据支撑,也为半导体硬脆材料的超精密加工提供技术依据。【方法】通过纳米压入和变载、恒载纳米刻划试验,研究单晶GaN的纳米力学性能,分析其在变载纳米... 【目的】研究单晶GaN微纳米量级下的力学性能与切削特性,为微纳制造提供理论基础和数据支撑,也为半导体硬脆材料的超精密加工提供技术依据。【方法】通过纳米压入和变载、恒载纳米刻划试验,研究单晶GaN的纳米力学性能,分析其在变载纳米刻划过程中的材料去除机制,探讨恒载刻划参数对材料表面切削特性的影响。【结果】单晶GaN的硬度和弹性模量的均值分别为6.06、92.90 GPa,弹性回复率和弹性能回复率均随压入载荷的增加而降低;材料弹塑性转变与脆塑性转变的临界载荷分别约为390、1 200 mN;切削力与摩擦系数均随刻划速度、法向载荷的增加而增大。【结论】在390~1 200 mN法向载荷加载范围内,单晶GaN能够被塑性域去除,减少刻划过程中的脆性断裂损伤,提高加工表面的质量。 展开更多
关键词 单晶gan 纳米压入 纳米刻划 力学性能 切削特性
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掺杂对GaN晶体力学性能影响的研究
5
作者 王海笑 李腾坤 +6 位作者 夏政辉 陈科蓓 张育民 王鲁华 高晓东 任国强 徐科 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第2期229-234,共6页
对GaN单晶力学性能的研究有助于解决其在生长、加工和器件应用中的开裂问题。本文围绕掺杂对GaN单晶力学性能的影响,通过纳米压痕法测试了不同掺杂类型(非掺、Si掺和Fe掺)GaN单晶的弹性模量和硬度,测试结果表明掺杂对GaN单晶的硬度有重... 对GaN单晶力学性能的研究有助于解决其在生长、加工和器件应用中的开裂问题。本文围绕掺杂对GaN单晶力学性能的影响,通过纳米压痕法测试了不同掺杂类型(非掺、Si掺和Fe掺)GaN单晶的弹性模量和硬度,测试结果表明掺杂对GaN单晶的硬度有重要影响。Si掺、Fe掺GaN较非掺样品硬度有所提升,用重掺杂的氨热GaN单晶作为对照,也证明了这一结论。通过高分辨X射线衍射分析和原子力显微镜表征实验发现,晶体结晶质量、接触面积等因素对GaN单晶硬度的影响较小。对GaN表面纳米压痕滑移带长度和晶体晶格常数进行测试,结果表明,掺杂影响GaN单晶硬度的主要原因是缺陷对GaN位错增殖、滑移的阻碍作用和掺杂引起的GaN晶格常数的变化。 展开更多
关键词 gan单晶 弹性模量 硬度 纳米压痕 氨热法 掺杂
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The finding of natural GaN crystals in sediments from the East Pacific Ocean
6
作者 CHEN Jing SHI Xuefa +2 位作者 ZHANG Haiping LUE Huahua FU Zhendong 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2006年第9期1101-1105,共5页
The first finding of natural GaN crystals is reported in sediments from the East Pacific. They are identified by multiple micro-beam techniques such as TEM, EDS and EELS. Detailed examinations show that these GaN crys... The first finding of natural GaN crystals is reported in sediments from the East Pacific. They are identified by multiple micro-beam techniques such as TEM, EDS and EELS. Detailed examinations show that these GaN crystals are euhedral and authigenic, and belong to the hexagonal system (space group P63mc) with cell parameters: a = b = 0.3186 nm, c = 0.5178 nm. Structure data fit closely with those of the synthetic GaN crystals obtained from high-temperature and high-pressure experi- ments. Moreover, the nearly perfect euhedral form of the sample excludes the possible synthetic origin of the GaN crystals as artifacts with long transport. The sampling localities are located between the Clarion and Clipperton Fracture Zone in the East Pacific where ongoing hydrothermal activities, deformation, and volcanic eruptions are very intensive. It is sug- gested that the natural GaN crystals may form at relatively high-temperature and high-pressure condi- tions in geologic environments that have been af- fected by intense hydrothermal activities. 展开更多
关键词 透射电子显微镜 半导体 gan 表面沉积 太平洋
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Influence of crystal structure and formation energies of impurities (Mg, Zn and Ca) in zinc blende GaN
7
作者 熊志华 江风益 +1 位作者 万齐欣 饶建平 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B02期854-857,共4页
First-principles calculations on neutral metal impurities (Mg, Zn and Ca) in zinc blende GaN were studied. Formation energies were calculated for substitution on the gallium site, the nitrogen site and incorporation i... First-principles calculations on neutral metal impurities (Mg, Zn and Ca) in zinc blende GaN were studied. Formation energies were calculated for substitution on the gallium site, the nitrogen site and incorporation in the octahedral interstitial site and the tetrahedral interstitial sites. The calculated results show that the major defects studied have a high formation energy in excess of 5 eV, and the gallium substitutional site is favorable for incorporation. MgGa has particularly low formation energy 1.19 eV and can be expected to incorporate readily into GaN. The local crystal structural changes around the impurity in the lattice were studied after metal atoms occupying the gallium substitutional site. It shows that the lattice constant becomes bigger and the tetrahedral angle between impurities and its nearest N atom becomes smaller mainly due to the extended M-N bond length and big size of impurities atoms, which results in a local lattice distortion. The Zn-N (2.04 A) bond strength is the smallest among the three impurities which raises the formation energy. CaGa is unfavorable due to a large size mismatch in spite of a large bond strength (2.25 A). The calculated results identify the two key factors determining impurities incorporation in zinc blende GaN: the atomic size of impurities comparing to that of host atoms and the bond strength between the impurities and its neighbors. The results are in well agreement with other calculated and experimental results. 展开更多
关键词 闪锌矿型 氮化镓 杂质 晶体结构 晶体缺陷形成能
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GaN纳米线的制备
8
作者 李建业 陈小龙 +5 位作者 乔芝郁 曹永革 兰玉成 许燕平 许涛 蒋培植 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期141-141,共1页
Wurtzite structure gallium nitride, GaN,a direct bandgap semiconductor(3.4 eV at room temperature),is an ideal material for fabrication of blue/green light emit ting diodes(LED),laser diodes(LD),and high power integra... Wurtzite structure gallium nitride, GaN,a direct bandgap semiconductor(3.4 eV at room temperature),is an ideal material for fabrication of blue/green light emit ting diodes(LED),laser diodes(LD),and high power integrated circuits.When used a s the material for LEDs and LDs,GaN has high transforming efficiencies and its d evice s have a long using lifetime of up to 10000 hours,several decuple times longer t han that of conventional light emitting diodes.As a semiconductor material for b lue/green light sources,GaN is non replaceable.It will have important applications in li g ht emitting devices,optical communication systems,compact disk(CD)players,full c olor copying devices,full color printers,high distinguishing laser printers,gr ea t screen full color displaying devices,and super thin TV displaying devices etc . In recent years,GaN has been the focus and hotspot of semiconductor industries,a nd its devices have a shining place in light emitting and laser industries. We synthesized GaN nanowires by a chemical vapor deposition (CVD)method.The nano wires have diameters from 20 nm to 60 nm,and the maximum length is up to 100 μ m .Following figure is the scanning electron microscopy (SEM)image of the as synt hesized GaN nanowires. 展开更多
关键词 gan crystal NANOWIRES vapour method
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GaN晶体的生长及其低维材料的制备
9
作者 陈小龙 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期140-141,共2页
Wurtzite strcture gallium nitride, GaN,a direct bandgap semiconductor (3.4 eV at room temperature),is an ideal material for fabrication of blue/green light emit ti ng diodes, laser diodes,and high power integrated cir... Wurtzite strcture gallium nitride, GaN,a direct bandgap semiconductor (3.4 eV at room temperature),is an ideal material for fabrication of blue/green light emit ti ng diodes, laser diodes,and high power integrated circuits.Recent progress in th in film crystal technique has realized the output of blue semiconductor lasers w i th a lifetime of over 10000 hours under continuous wave operation at room tempe r ature.So far GaN and its ternary indium and aluminum alloys are grown almost uni v ersally on foreign substrates with varying lattice mismatches.The mismatch undou btedly results in a significant dislocation density in the grown films.Hence it is necessary to grow single crystal GaN to be used as substrates for improvement of laser diodes.On the other hand,low dimensional GaN materials such as nanocry stalline powder,nanocrystal assembled bulk(nanophase) and nano wires are very u seful in both fundamental mesoscopic research and future development of GaN nano devices.Here we report our main recent progresses on the crystal growth of GaN a nd the preparation of its low dimensional materials. 展开更多
关键词 gan crystal semicondactor material vapour method high tem perature and high pressure method flux method hydrothermal method.
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GaN纳米棒的催化合成及其发光特性(英文) 被引量:4
10
作者 陈金华 薛成山 +3 位作者 庄惠照 李红 秦丽霞 杨兆柱 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第2期355-358,共4页
使用稀土元素Tb作催化剂,通过氨化溅射在Si(111)衬底上的Ga2O3/Tb薄膜,成功制备出GaN纳米棒.X射线衍射测试显示,GaN纳米棒具有六方结构.利用扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察分析得出,纳米棒为单晶GaN,纳米棒的直径为50-150nm... 使用稀土元素Tb作催化剂,通过氨化溅射在Si(111)衬底上的Ga2O3/Tb薄膜,成功制备出GaN纳米棒.X射线衍射测试显示,GaN纳米棒具有六方结构.利用扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察分析得出,纳米棒为单晶GaN,纳米棒的直径为50-150nm,长度约10μm.光致发光谱在368.6nm处有一强的紫外发光峰,说明纳米棒具有良好的发光特性.讨论了GaN纳米棒的生长机制. 展开更多
关键词 gan 纳米棒 单晶 发光
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GaN场发射高分辨电子显微像的图像处理显示GaN中原子分辨率晶体缺陷的可能性 被引量:3
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作者 王怀斌 李方华 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期589-592,共4页
本文介绍了场发射高分辨电子显微像的图像处理原理.用300kV场发射电子显微镜的参数模拟了GaN完整晶体和缺陷晶体结构模型的显微像.经过处理的显微像上能够分辨间距为0.112nm的Ga和N原子,并能显示N原子空位.
关键词 gan 晶体缺陷 高分辨电子显微学 场发射电子显微镜 解卷处理
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GaN电子结构与光学性质的第一原理研究 被引量:4
12
作者 黄保瑞 张富春 崔红卫 《河南科学》 2016年第1期16-19,共4页
采用了基于密度泛函理论和广义梯度近似方法计算了GaN电子结构和光学性质.计算结果表明,GaN属于直接带隙半导体,静态介电常数为5.72,折射率为2.2.并利用计算所得图形,分析了GaN的能带结构、态密度、介电函数、折射率和能量损失函数,从... 采用了基于密度泛函理论和广义梯度近似方法计算了GaN电子结构和光学性质.计算结果表明,GaN属于直接带隙半导体,静态介电常数为5.72,折射率为2.2.并利用计算所得图形,分析了GaN的能带结构、态密度、介电函数、折射率和能量损失函数,从理论上阐述了GaN材料电子结构与光学性质的关系,计算结果与实验结果相符. 展开更多
关键词 gan晶体 电子结构 密度泛函 光学性质
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利用低温插入层改善GaN外延层晶体质量研究 被引量:2
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作者 张东国 李忠辉 +5 位作者 孙永强 董逊 李亮 彭大青 倪金玉 章咏梅 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期328-330,344,共4页
采用MOCVD系统在蓝宝石衬底上生长了GaN外延薄膜,在高温GaN生长中插入了低温GaN。通过改变低温GaN的生长温度和/比得到不同样品。对样品薄膜进行了高分辨X射线衍射(HRXRD)和光致发光谱(PL)测试,PL半峰宽变化不大,XRD半峰宽有明显变化。... 采用MOCVD系统在蓝宝石衬底上生长了GaN外延薄膜,在高温GaN生长中插入了低温GaN。通过改变低温GaN的生长温度和/比得到不同样品。对样品薄膜进行了高分辨X射线衍射(HRXRD)和光致发光谱(PL)测试,PL半峰宽变化不大,XRD半峰宽有明显变化。实验结果表明,低温GaN缓冲层可以使后续生长更好,达到二维生长模式,并且合适的低温生长条件可以明显改善GaN外延层的结晶质量,降低位错密度。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相淀积 氮化镓 缓冲层 结晶
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光子晶体提高GaN基LED出光效率的研究进展 被引量:4
14
作者 李天保 梁建 许并社 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期339-343,371,共6页
光子晶体作为有效提高LED出光效率的手段之一,在过去的十多年受到了广泛的关注。简述了光子晶体提高LED出光效率的物理原理。从GaN基LED不同光子晶体的结构、晶格常数和高度等参数的影响出发,通过几种新型光子晶体发光二级管的介绍,总... 光子晶体作为有效提高LED出光效率的手段之一,在过去的十多年受到了广泛的关注。简述了光子晶体提高LED出光效率的物理原理。从GaN基LED不同光子晶体的结构、晶格常数和高度等参数的影响出发,通过几种新型光子晶体发光二级管的介绍,总结了近年来利用光子晶体提高LED出光效率所取得的研究进展。 展开更多
关键词 光子晶体 gan 发光二极管
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蓝宝石衬底上HVPE-GaN表面形貌研究 被引量:3
15
作者 徐永宽 程红娟 +3 位作者 杨巍 于祥潞 赖占平 严如岳 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期988-990,共3页
通过研究蓝宝石衬底上HVPE-GaN的表面形貌,指导HVPE-GaN工艺。工艺是在自制的立式HVPE设备上进行的,通过显微镜观察了各种不同工艺条件下的GaN表面形貌。发现不采用成核层直接生长的GaN表面粗糙为多晶,而采用低温成核层所得到的GaN表面... 通过研究蓝宝石衬底上HVPE-GaN的表面形貌,指导HVPE-GaN工艺。工艺是在自制的立式HVPE设备上进行的,通过显微镜观察了各种不同工艺条件下的GaN表面形貌。发现不采用成核层直接生长的GaN表面粗糙为多晶,而采用低温成核层所得到的GaN表面随着Ⅴ/Ⅲ比由大到小,从包状表面向坑状表面过渡,通过选择合适的Ⅴ/Ⅲ,可以得到表面光滑、无色透明的GaN。其XRD摇摆曲线半高宽为450 arcs,表面粗糙度为0.9 nm。 展开更多
关键词 氮化镓 氢化物气相外延 表面形貌 晶体生长 成核层
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Mg掺杂GaN纳米线的结构及其特性 被引量:1
16
作者 薛成山 张冬冬 +3 位作者 庄惠照 黄英龙 王邹平 王英 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第1期113-115,共3页
利用类似Delta掺杂技术在硅衬底上沉积Mg:Ga2O3薄膜,然后在850℃下对薄膜进行氨化,反应后制备出大量Mg掺杂GaN纳米线.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品进行分析... 利用类似Delta掺杂技术在硅衬底上沉积Mg:Ga2O3薄膜,然后在850℃下对薄膜进行氨化,反应后制备出大量Mg掺杂GaN纳米线.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品进行分析.结果表明,Mg掺杂GaN纳米线具有六方纤锌矿单晶结构,纳米线的直径在30-50nm范围内,长度为几十微米. 展开更多
关键词 氮化镓 纳米线 单晶 Mg掺杂
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磁控溅射与氨化法催化合成GaN纳米棒 被引量:1
17
作者 陈金华 薛成山 +3 位作者 庄惠照 秦丽霞 李红 杨兆柱 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期557-558,562,共3页
使用一种新奇的稀土元素作为GaN纳米棒生长的催化剂,通过氨化溅射在Si(111)衬底上的Ga2O3/Tb薄膜成功合成了大规模的GaN纳米棒。采用扫描电子显微镜,X射线衍射,透射电子显微镜,高分辨透射电子显微镜和傅立叶红外吸收光谱来检测样品的形... 使用一种新奇的稀土元素作为GaN纳米棒生长的催化剂,通过氨化溅射在Si(111)衬底上的Ga2O3/Tb薄膜成功合成了大规模的GaN纳米棒。采用扫描电子显微镜,X射线衍射,透射电子显微镜,高分辨透射电子显微镜和傅立叶红外吸收光谱来检测样品的形态,结构和成分。研究结果表明,合成的样品为六方纤锌矿结构的单晶GaN纳米棒。最后讨论了GaN纳米棒的生长机理。 展开更多
关键词 纳米棒 gan 溅射 单晶
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生长模式控制对MOCVD生长GaN性能的影响 被引量:1
18
作者 李述体 范广涵 +3 位作者 周天明 孙慧卿 郑树文 郭志友 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第4期58-62,共5页
采用MOCVD以A l2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用X射线双晶衍射、电化学CV技术对GaN的结晶性能和电学性能进行了表征.研究表明,GaN的生长模式对其电学性能和结晶性能影响很大.在高温GaN生长初期,适当延长GaN的三维生长时间,能明显改善Ga... 采用MOCVD以A l2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用X射线双晶衍射、电化学CV技术对GaN的结晶性能和电学性能进行了表征.研究表明,GaN的生长模式对其电学性能和结晶性能影响很大.在高温GaN生长初期,适当延长GaN的三维生长时间,能明显改善GaN薄膜的结晶性能,降低薄膜的缺陷密度和本底载流子浓度,使GaN质量明显提高. 展开更多
关键词 半导体 gan MOCVD X射线双晶衍射 ECV
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MOCVD生长GaN:Si单晶膜的研究 被引量:6
19
作者 江风益 李述体 +4 位作者 王立 熊传兵 彭学新 辛勇 姚冬敏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期120-124,共5页
获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n... 获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n型GaN:Si单晶膜;并有效地抑制了GaN中由深能级引起的黄带发射,大大提高带边发光强度。研究结果还表明:随着S掺杂量的增大,GaN:Si单晶膜的电子载流于浓度增加,迁移率下降,X光双晶衍射峰半高宽增大。首次报道了随掺S量增大,GaN:Si单晶膜的生长速率显著下降的现象。 展开更多
关键词 MOCVD 单晶膜 氮化镓
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金属表面等离子体对GaN-LED光提取特性的影响 被引量:1
20
作者 刘宏伟 刘雨鑫 +3 位作者 于丹丹 王迪 郭凯 郏成奎 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2019年第3期55-60,共6页
为了提高光提取效率,分析在GaN发光二极管(LED)结构中的光波矢传播模型,并分析Ag光子晶体的表面等离激元和能带结构;同时模拟未覆盖和覆盖Ag光子晶体的GaN-LED结构的发光,通过改变Ag光子晶体直径、周期和入射光的角度,分析不同晶格方向... 为了提高光提取效率,分析在GaN发光二极管(LED)结构中的光波矢传播模型,并分析Ag光子晶体的表面等离激元和能带结构;同时模拟未覆盖和覆盖Ag光子晶体的GaN-LED结构的发光,通过改变Ag光子晶体直径、周期和入射光的角度,分析不同晶格方向的GaN-LED的光提取效率。结果表明:当Ag光子晶体的周期为800 nm、直径为70 nm时,GaN-LED的总透射率达到最大值,光提取效率提高了34.43%。 展开更多
关键词 gan发光二极管 光子晶体 金属表面等离子体 光提取
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