期刊文献+
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
Improved interfacial and electrical properties of GaSb metal oxide semiconductor devices passivated with acidic(NH_4)_2S solution
1
作者 赵连锋 谭桢 +1 位作者 王敬 许军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期744-747,共4页
Surface passivation with acidic (NH4)2S solution is shown to be effective in improving the interfacial and electrical properties of HfOE/GaSb metal oxide semiconductor devices. Compared with control samples, the sam... Surface passivation with acidic (NH4)2S solution is shown to be effective in improving the interfacial and electrical properties of HfOE/GaSb metal oxide semiconductor devices. Compared with control samples, the samples treated with acidic (NH4)2S solution show great improvements in gate leakage current, frequency dispersion, border trap density, and interface trap density. These improvements are attributed to the enhancing passivation of the substrates, according to analysis from the perspective of chemical mechanism, X-ray photoelectron spectroscopy, and high-resolution cross-sectional transmission electron microscopy. 展开更多
关键词 gasb metal oxide semiconductor sulfur passivation
下载PDF
Mobility enhancement of strained GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with biaxial compressive strain 被引量:2
2
作者 陈燕文 谭桢 +6 位作者 赵连锋 王敬 刘易周 司晨 袁方 段文晖 许军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期448-452,共5页
Various biaxial compressive strained GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) are experimentally and theoretically investigated, The biaxial compressive strained GaSb MOSFETs show ... Various biaxial compressive strained GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) are experimentally and theoretically investigated, The biaxial compressive strained GaSb MOSFETs show a high peak mobility of 638 cm2/V.s, which is 3.86 times of the extracted mobility of the fabricated GaSb MOSFETs without strain. Meanwhile, first principles calculations show that the hole effective mass of GaSb depends on the biaxial compressive strain. The biaxiai compressive strain brings a remarkable enhancement of the hole mobility caused by a significant reduction in the hole effective mass due to the modulation of the valence bands. 展开更多
关键词 gasb metal-oxide-semiconductor field-effect transistor STRAIN first principles calculations
下载PDF
GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor and its temperature dependent characteristics
3
作者 赵连锋 谭桢 +1 位作者 王敬 许军 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期524-527,共4页
GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) with an atomic layer deposited Al2O3 gate dielectric and a self-aligned Si-implanted source/drain are experimentally demonstrated. Temperat... GaSb p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) with an atomic layer deposited Al2O3 gate dielectric and a self-aligned Si-implanted source/drain are experimentally demonstrated. Temperature dependent electrical characteristics are investigated. Different electrical behaviors are observed in two temperature regions, and the un- derlying mechanisms are discussed. It is found that the reverse-bias pn junction leakage of the drain/substrate is the main component of the off-state drain leakage current, which is generation-current dominated in the low temperature regions and is diffusion-current dominated in the high temperature regions. Methods to further reduce the off-state drain leakage current are given. 展开更多
关键词 gasb metal-oxide-semiconductor field-effect transistor temperature dependent characteristics drain leakage current
下载PDF
基于HfO_(2)插层的Ga_(2)O_(3)基金属-绝缘体-半导体结构日盲紫外光电探测器 被引量:1
4
作者 董典萌 汪成 +5 位作者 张清怡 张涛 杨永涛 夏翰驰 王月晖 吴真平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期161-170,共10页
作为一种新兴的超宽带隙半导体, Ga_(2)O_(3)在开发高性能的日盲紫外光电探测器方面具有独特的优势.金属-半导体-金属结构因其制备方法简单、集光面积大等优点在Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器中得到了广泛的应用.本文在传统的金属-半导... 作为一种新兴的超宽带隙半导体, Ga_(2)O_(3)在开发高性能的日盲紫外光电探测器方面具有独特的优势.金属-半导体-金属结构因其制备方法简单、集光面积大等优点在Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器中得到了广泛的应用.本文在传统的金属-半导体-金属结构Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器的基础上,利用原子层沉积技术引入高介电性和绝缘性的氧化铪(HfO_(2))作为绝缘层和钝化层,制备出带有HfO_(2)插层的金属-绝缘体-半导体结构的Ga_(2)O_(3)日盲紫外光电探测器,显著降低了暗电流,提升了光暗电流比,同时提高了器件的比探测率和响应速度,为未来Ga_(2)O_(3)在高性能弱光探测器件制备提供了一种新通用策略. 展开更多
关键词 氧化镓 紫外探测 金属-绝缘体-半导体 表面钝化
下载PDF
无源温度标签中的超低功耗CMOS温度传感器设计 被引量:2
5
作者 冯鹏 邓元明 +5 位作者 伯林 刘力源 于双铭 李贵柯 王开友 吴南健 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期572-578,602,共8页
设计了一种适用于无源超高频(UHF)温度标签的超低功耗CMOS温度传感器电路。该电路利用衬底pnp晶体管产生随温度变化的电压信号,同时采用了逐次逼近寄存器(SAR)转换和Σ-Δ调制相结合的模拟数字转换方式。为了降低电源电压波动以及... 设计了一种适用于无源超高频(UHF)温度标签的超低功耗CMOS温度传感器电路。该电路利用衬底pnp晶体管产生随温度变化的电压信号,同时采用了逐次逼近寄存器(SAR)转换和Σ-Δ调制相结合的模拟数字转换方式。为了降低电源电压波动以及采样电容电荷泄漏对传感器测温精度的不利影响,提出了一种具有漏电保护机制的采样电路。基于0.18μm CMOS工艺设计实现了该传感器的电路和版图,其中版图面积为550μm×450μm,并利用Cadence Spectre仿真工具对电路进行了仿真。仿真结果表明,在-40~125℃,传感器的系统误差为-1.4~2.0℃,测温分辨率达到0.02℃;在1.2~2.6 V电源电压内,传感器输出温度波动小于0.3℃;在1.2 V电源电压下传感器电路(不含控制逻辑及数字滤波器)的功耗仅为2.4μW。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体(CMOS) 温度传感器 超低功耗 无源 温度标签
下载PDF
应用于微波/毫米波领域的集成无源器件硅基转接板技术 被引量:3
6
作者 黄旼 朱健 石归雄 《电子工业专用设备》 2017年第4期20-23,共4页
展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传... 展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在40 GHz为0.34 dB/mm,电容密度达到1.05 fF/μm^2,2.5圈8 n H电感最大Q值在1.5 GHz达到16。这项制造技术与CMOS制造工艺兼容,可为超高集成度的三维集成型化射频微系统提供有力支撑。 展开更多
关键词 集成无源器件 硅通孔 互补金属氧化物半导体 转接板 射频
下载PDF
YON界面钝化层改善HfO_(2)/Ge界面特性的研究 被引量:1
7
作者 程智翔 徐钦 刘璐 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期2810-2814,共5页
本文采用YON界面钝化层来改善HfO_2栅介质Ge metal-oxide-semiconductor(MOS)器件的界面质量和电特性.比较研究了两种不同的YON制备方法:在Ar+N_2氛围中溅射Y_2O_3靶直接淀积获得以及先在Ar+N_2氛围中溅射Y靶淀积YN再于含氧氛围中退火形... 本文采用YON界面钝化层来改善HfO_2栅介质Ge metal-oxide-semiconductor(MOS)器件的界面质量和电特性.比较研究了两种不同的YON制备方法:在Ar+N_2氛围中溅射Y_2O_3靶直接淀积获得以及先在Ar+N_2氛围中溅射Y靶淀积YN再于含氧氛围中退火形成YON.实验结果及XPS的分析表明,后者可以利用YN在退火过程中先于Ge表面吸收从界面扩散的O而氧化,从而阻挡了O扩散到达Ge表面,更有效抑制了界面处Ge氧化物的形成,获得了更优良的界面特性和电特性:较小的CET(1.66 nm),较大的k值(18.8),较低的界面态密度(7.79×10^(11)e V^(-1)cm^(-2))和等效氧化物电荷密度(-4.83×10^(12)cm^(-2)),低的栅极漏电流(3.40×10^(-4)A/cm^2@V_g=V_(fb)+1 V)以及好的高场应力可靠性. 展开更多
关键词 Ge金属-氧化物-半导体 界面钝化层 YON 界面态密度
下载PDF
一种新型VDMOS器件结构的设计与实现 被引量:1
8
作者 董子旭 王万礼 +2 位作者 赵晓丽 张馨予 刘晓芳 《太赫兹科学与电子信息学报》 2022年第4期402-406,共5页
垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS)器件是一种以多子为载流子的器件,具有开关速度快、开关损耗小、输入阻抗高、工作频率高以及热稳定性好等特点。提出一款60 V平面栅VDMOS器件的设计与制造方法,开发出一种新结构方案,通... 垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS)器件是一种以多子为载流子的器件,具有开关速度快、开关损耗小、输入阻抗高、工作频率高以及热稳定性好等特点。提出一款60 V平面栅VDMOS器件的设计与制造方法,开发出一种新结构方案,通过减少一层终端层版图的光刻,将终端结构与有源区结构结合在一张光刻版上,并在终端工艺中设计了一种改善终端耐压的钝化结构,通过使用聚酰亚胺光刻胶(PI)钝化工艺代替传统的氮化硅钝化层。测试结果表明产品满足设计要求,以期为其他规格的芯片设计提供一种新的设计思路。 展开更多
关键词 功率器件 垂直双扩散金属-氧化物半导体场效应晶体管(VDMOS) 终端结构 击穿电压 钝化工艺
下载PDF
Al2O3介质层厚度对AlGaN/GaN金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管性能的影响 被引量:1
9
作者 毕志伟 冯倩 +5 位作者 郝跃 岳远征 张忠芬 毛维 杨丽媛 胡贵州 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期7211-7215,共5页
在蓝宝石衬底上采用原子层淀积法制作了三种不同Al2O3介质层厚度的绝缘栅高电子迁移率晶体管.通过对三种器件的栅电容、栅泄漏电流、输出和转移特性的测试表明:随着Al2O3介质层厚度的增加,器件的栅控能力逐渐减弱,但是其栅泄漏电流明显... 在蓝宝石衬底上采用原子层淀积法制作了三种不同Al2O3介质层厚度的绝缘栅高电子迁移率晶体管.通过对三种器件的栅电容、栅泄漏电流、输出和转移特性的测试表明:随着Al2O3介质层厚度的增加,器件的栅控能力逐渐减弱,但是其栅泄漏电流明显降低,击穿电压相应提高.通过分析认为薄的绝缘层能够提供大的栅电容,因此其阈值电压较小,但是绝缘性能较差,并不能很好地抑制栅电流的泄漏;其次随着介质厚度的增加,可以对栅极施加更高的正偏压,因此获得了更高的最大饱和电流.另外,对三种器件的C-V与跨导特性的深入分析证明了较厚的Al2O3层拥有更好的介质质量与钝化效果. 展开更多
关键词 AL2O3 金属氧化物半导体-高电子迁移率晶体管 介质层厚度 钝化
原文传递
Diode-pumped passively mode-locked femtosecond Yb:(Y_(0.9)La_(0.1) )_2O_3 ceramic laser
10
作者 朱江峰 王兆华 +5 位作者 王庆 张治国 杨秋红 杨军红 麻云风 魏志义 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第12期42-44,共3页
We experimentally demonstrate a diode-pumped passively mode-locked femtosecond laser with yb3+-doped yttrium lanthanum oxide ceramic. Mode-locking is achieved by using a semiconductor saturable absorber mirror, and i... We experimentally demonstrate a diode-pumped passively mode-locked femtosecond laser with yb3+-doped yttrium lanthanum oxide ceramic. Mode-locking is achieved by using a semiconductor saturable absorber mirror, and intraeavity dispersion is compensated by a pair of SF6 prisms. Laser pulses as short as 357 fs at a central wavelength of 1 075 nm are obtained. The maximum average output power is 670 mW under 4.5 W of pumping power with a slope efficiency of 20%. To the best of our knowledge, this is the shortest pulse generated from Yb-doped yttrium lanthanum oxide ceramic lasers with a sub-500 fs pulse duration. 展开更多
关键词 Lanthanum oxides oxideS Passive mode locking semiconductor saturable absorber mirrors sulfur hexafluoride Ultrashort pulses YTTERBIUM YTTRIUM
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部