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VPE ZnS_xSe_(1-x)外延膜中的自发和受激辐射 被引量:2
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作者 张家骅 范希武 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第2期98-104,共7页
本文首次报道了VPE ZnS_xSe_(1-x)外延膜在77K时起因于激子和激子(Ex—Ex)散射的自发辐射和受激辐射,研究了Ex—Ex散射发光的位置和强度与激发密度的关系,分析了受激辐射的光子能量比自发辐射稍低的原因.
关键词 ZnSxSe1-x 外延 辐射
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MOCVD生长A1_xGa_(1-x)P/GaAs异质外延层的结晶完整性初探
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作者 张兆春 黄柏标 +2 位作者 崔得良 秦晓燕 蒋民华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期151-,共1页
MOCVD生长的III V族异质外延材料的晶体结构完整性主要由生长时采用的源材料、衬底、温度、压力、流量以及反应器设计等因素所决定。为了获得具有优良光电性能的异质外延材料 ,需要对这些影响因素进行优化。AlxGa1-xP由于具有宽的禁带... MOCVD生长的III V族异质外延材料的晶体结构完整性主要由生长时采用的源材料、衬底、温度、压力、流量以及反应器设计等因素所决定。为了获得具有优良光电性能的异质外延材料 ,需要对这些影响因素进行优化。AlxGa1-xP由于具有宽的禁带宽度、较低的本征载流子浓度和折射率 ,因此可以用于制作优良的光电器件。然而由于AlxGa1-xP与GaAs在晶格常数、热膨胀系数等物理化学性质上存在着差异 ,致使利用MOCVD在GaAs衬底生长的AlxGa1-xP外延层常常呈现较差的表面形貌以及内部存在大量缺陷。本文利用扫描电子显微镜、双晶X射线衍射、背散射分析技术对常压MOCVD生长的AlxGa1-xP/GaAs异质外延层的结晶完整性进行了初步研究。通过观察A1xGa1-xP外延层的表面形貌及双晶X射线衍射半峰宽 ,对外延生长温度和V/Ⅲ比进行了优化 ,利用背散射分析对外延层结晶完整性进行了初步表征。本文研究结果表明 ,虽然AlxGa1-xP与GaAs存在较大的晶格失配 ,但是仍然可以利用MOCVD在GaAs衬底上优化生长出具有良好结晶完整性的AlxGa1-xP外延材料。 展开更多
关键词 Al_xGa_(1-x)p/GaAs异质外延材料 结晶完整性 MOCVD法
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Ga_(x)In_(1-x)P氢化物气相外延制备工艺及性能研究进展
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作者 张嵩 程文涛 +4 位作者 王健 程红娟 闫礼 孙科伟 董增印 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期266-273,共8页
对Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体Ga_(x)In_(1-x)P材料的性质、应用和外延工艺的发展进行了简单阐述,重点介绍了Ga_(x)In_(1-x)P材料的氢化物气相外延(HVPE)制备工艺对Ga_(x)In_(1-x)P外延层质量和Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池性能的影响,并对国外研... 对Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体Ga_(x)In_(1-x)P材料的性质、应用和外延工艺的发展进行了简单阐述,重点介绍了Ga_(x)In_(1-x)P材料的氢化物气相外延(HVPE)制备工艺对Ga_(x)In_(1-x)P外延层质量和Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池性能的影响,并对国外研究中用于制备Ga_(x)In_(1-x)P材料的垂直和水平HVPE结构设计、外延的原理和工艺改进、Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池的结构等对外延层质量和相关器件性能的影响进行了评述,总结了近年来HVPE法制备Ga_(x)In_(1-x)P材料在太阳电池领域的研究进展,HVPE有望代替MOCVD而成为Ga_(x)In_(1-x)P的主流制备工艺。最后,对HVPE法制备Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池的研究成果和难点以及未来研究的重点进行了总结,并对国内在该领域的研究工作指明了方向。 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族化合物 Ga_(x)In_(1-x)p 氢化物气相外延(HVpE) 外延 太阳电池
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Ga_xIn_(1-X)P外延膜中成份调制对光致发光的影响
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作者 梁家昌 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 1994年第4期7-,1-6,共7页
通过用一高分辨、微机控制的三晶体x-射线衍射仪来测量Ga_xIn_(1-x)P外延膜中(11)与()衍射峰的积分强度差,定量地确定了有序度。讨论Ga_xIn_(1-x)P外延膜中有序度与成份调制间的关系。考察了成份调... 通过用一高分辨、微机控制的三晶体x-射线衍射仪来测量Ga_xIn_(1-x)P外延膜中(11)与()衍射峰的积分强度差,定量地确定了有序度。讨论Ga_xIn_(1-x)P外延膜中有序度与成份调制间的关系。考察了成份调制与施主-受主对复会发光能量间的关联。通过计及施主一受主对在由成份调制所导致的超格子势场中的附加能量,导出了施主一受主对在部分有序相中跃迁时新的能量方程。 展开更多
关键词 Ga_xIn_(1-x)p外延 成份调制 有序度 施主一受主对的能量方程
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