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静电离子探针在气体放电磁化等离子体参数测量中的应用 被引量:3
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作者 潘阁生 王成 +4 位作者 万树德 闻一之 俞昌旋 周立永 王之江 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第2期116-119,共4页
为测量气体放电磁化等离子体离子参数 ,建立了一套静电离子探针诊断系统 ,进行了从近芯部到边缘区的离子温度分布的测量 。
关键词 气体放电 磁化等离子体 静电离子探针 离子参数 参数测量
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