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德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介
被引量:
23
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作者
李得天
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第4期289-294,共6页
在真空技术应用中 ,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。PTB先后研制了三代气体微流量计 ,第一代为手动型 ,第二代为半自动型 ,第三代为全自动型。本文详细介绍了PTB研制的气体...
在真空技术应用中 ,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。PTB先后研制了三代气体微流量计 ,第一代为手动型 ,第二代为半自动型 ,第三代为全自动型。本文详细介绍了PTB研制的气体微流量计的性能和特点 ,并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用。另外 。
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关键词
气体微流量
气体微流量计
漏孔漏率
测量
计量
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职称材料
题名
德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介
被引量:
23
1
作者
李得天
机构
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第4期289-294,共6页
文摘
在真空技术应用中 ,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。PTB先后研制了三代气体微流量计 ,第一代为手动型 ,第二代为半自动型 ,第三代为全自动型。本文详细介绍了PTB研制的气体微流量计的性能和特点 ,并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用。另外 。
关键词
气体微流量
气体微流量计
漏孔漏率
测量
计量
Keywords
gas flow
,
gas flowmeter
,
leak rate
,
measurement
,
metrology
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
TN107 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介
李得天
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003
23
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