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Regulating Effect of Substrate Temperature on Sputteringgrown Ge/Si QDs under Low Ge Deposition
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作者 舒启江 YANG Linjing +1 位作者 LIU Hongxing 黄鹏儒 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期888-894,共7页
The effect of deposition temperature on the morphology and optoelectronic performance of Ge/Si QDs grown by magnetron sputtering under low Ge deposition(~4 nm)was investigated by atomic force microscopy,Raman spectros... The effect of deposition temperature on the morphology and optoelectronic performance of Ge/Si QDs grown by magnetron sputtering under low Ge deposition(~4 nm)was investigated by atomic force microscopy,Raman spectroscopy,and photoluminescence(PL)tests.The experimental results indicate that temperatures higher than 750℃effectively increase the crystallization rate and surface smoothness of the Si buffer layer,and temperatures higher than 600℃significantly enhance the migration ability of Ge atoms,thus increasing the probability of Ge atoms meeting and nucleating to form QDs on Si buffer layer,but an excessively high temperature will cause the QDs to undergo an Ostwald ripening process and thus develop into super large islands.In addition,some PL peaks were observed in samples containing small-sized,high-density Ge QDs,the photoelectric properties reflected by these peaks were in good agreement with the corresponding structural characteristics of the grown QDs.Our results demonstrate the viability of preparing high-quality QDs by magnetron sputtering at high deposition rate,and the temperature effect is expected to work in conjunction with other controllable factors to further regulate QD growth,which paves an effective way for the industrial production of QDs that can be used in future devices. 展开更多
关键词 ge/si QDs deposition temperatures evolution law photoelectric performance
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Sensitivity investigation of 100-MeV proton irradiation to SiGe HBT single event effect
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作者 冯亚辉 郭红霞 +7 位作者 刘益维 欧阳晓平 张晋新 马武英 张凤祁 白如雪 马晓华 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期554-562,共9页
The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive positi... The single event effect(SEE) sensitivity of silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(Si Ge HBT) irradiated by 100-Me V proton is investigated. The simulation results indicate that the most sensitive position of the Si Ge HBT device is the emitter center, where the protons pass through the larger collector-substrate(CS) junction. Furthermore, in this work the experimental studies are also carried out by using 100-Me V proton. In order to consider the influence of temperature on SEE, both simulation and experiment are conducted at a temperature of 93 K. At a cryogenic temperature, the carrier mobility increases, which leads to higher transient current peaks, but the duration of the current decreases significantly.Notably, at the same proton flux, there is only one single event transient(SET) that occurs at 93 K. Thus, the radiation hard ability of the device increases at cryogenic temperatures. The simulation results are found to be qualitatively consistent with the experimental results of 100-Me V protons. To further evaluate the tolerance of the device, the influence of proton on Si Ge HBT after gamma-ray(^(60)Coγ) irradiation is investigated. As a result, as the cumulative dose increases, the introduction of traps results in a significant reduction in both the peak value and duration of the transient currents. 展开更多
关键词 silicon–germanium heterojunction bipolar transistor(si ge HBT) 100-Me V proton technology computer-aided design(TCAD) single event effect(SEE)
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非化学计量比MnFe(P,Si,Ge)合金在低场下的磁热效应 被引量:14
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作者 王高峰 松林 +3 位作者 李福安 哈斯朝鲁 李新文 特古斯 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期889-892,共4页
通过XRD和磁性测量对非化学计量比MnFe(P,Si,Ge)合金的相组成和磁性进行了研究.xRD分析表明。所有样品都具有Fe_2P型六角结构,主相为(Re,Mn)_2(P,Si,Ge),并存在少量的第二相(Fe,Mn)_3(Si,Ge).过量的Mn和Fe都会使合金的Curie温度降低,由3... 通过XRD和磁性测量对非化学计量比MnFe(P,Si,Ge)合金的相组成和磁性进行了研究.xRD分析表明。所有样品都具有Fe_2P型六角结构,主相为(Re,Mn)_2(P,Si,Ge),并存在少量的第二相(Fe,Mn)_3(Si,Ge).过量的Mn和Fe都会使合金的Curie温度降低,由343K(化学计量比)降低到294K(过量Mn)和286K(过量Fe);过量的Mn能减小热滞,而过量的Fe会使热滞增加;磁熵变也有所减小,在1.5T的磁场下,最大磁熵变由5.2J/(kg·K)(化学计量比)减小到4.9J/(kg·K)(过量Mn)和3.8J/(kg·K)(过量Fe). 展开更多
关键词 MnFe(P si ge)合金 非化学计量比 CURIE温度 热滞 磁熵变
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原材料Gd对Gd-Si-Ge合金巨磁热效应影响的研究 被引量:12
4
作者 吴卫 赵平 +3 位作者 姜自莲 李远辉 朱向东 周廷栋 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期962-964,共3页
采用国产钆制作Gd-Si-Ge合金,测量H-M曲线,计算磁熵变(-ΔSm)判断其磁热效应。发现采用商业级钆配制合金时,由于杂质抑制了材料的一级相变,未发现巨磁热效应。经提纯后的钆尽管没有Ames实验室的纯度高,但配制的合金具有典型的一级相变,-... 采用国产钆制作Gd-Si-Ge合金,测量H-M曲线,计算磁熵变(-ΔSm)判断其磁热效应。发现采用商业级钆配制合金时,由于杂质抑制了材料的一级相变,未发现巨磁热效应。经提纯后的钆尽管没有Ames实验室的纯度高,但配制的合金具有典型的一级相变,-ΔSm值基本上达到Ames实验室报道的数据,而且居里点有所提高。 展开更多
关键词 GD Gd—sige合金 巨磁热效应
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热丝CVD法在单晶硅衬底上低温外延生长Si和Ge薄膜的研究 被引量:6
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作者 黄海宾 沈鸿烈 +2 位作者 唐正霞 吴天如 张磊 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期603-607,共5页
采用热丝CVD法在单晶Si衬底上进行了Si和Ge薄膜的低温外延生长,用XRD和Raman谱对其结构性能进行了分析。结果表明:在衬底温度200℃时,Si(111)单晶衬底上外延生长出了Raman峰位置为521.0cm-1;X射线半峰宽(FWHM)为5.04cm-1。结晶质量非常... 采用热丝CVD法在单晶Si衬底上进行了Si和Ge薄膜的低温外延生长,用XRD和Raman谱对其结构性能进行了分析。结果表明:在衬底温度200℃时,Si(111)单晶衬底上外延生长出了Raman峰位置为521.0cm-1;X射线半峰宽(FWHM)为5.04cm-1。结晶质量非常接近于体单晶的(111)取向的本征Si薄膜;在衬底温度为300℃时,在Si(100)单晶衬底上异质外延,得到了Raman峰位置为300.3cm-1的Ge薄膜,Ge薄膜的晶体取向为Ge(220)。研究表明热丝CVD是一种很好的低温外延薄膜的方法。 展开更多
关键词 热丝CVD 低温外延 单晶si衬底 si ge
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离子束溅射制备Si/Ge多层膜的结晶研究 被引量:5
6
作者 邓书康 陈刚 +4 位作者 高立刚 陈亮 俞帆 刘焕林 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期288-291,共4页
采用离子束溅射制备Si/Ge多层膜,通过X射线小角衍射计算其周期厚度及各子层的厚度,用Raman光谱对Si/Ge多层膜的微观结构及Si子层的结构进行表征。结果表明,所制备的Si/Ge多层膜中,当Ge子层的厚度为6. 2nm时, Si子层的结晶质量较好,表明... 采用离子束溅射制备Si/Ge多层膜,通过X射线小角衍射计算其周期厚度及各子层的厚度,用Raman光谱对Si/Ge多层膜的微观结构及Si子层的结构进行表征。结果表明,所制备的Si/Ge多层膜中,当Ge子层的厚度为6. 2nm时, Si子层的结晶质量较好,表明适量的Ge含量有诱导Si结晶的作用。 展开更多
关键词 si/ge多层膜 离子束溅射 拉曼光谱 制备方法 薄膜 结构分析
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Si基Ge异质结构发光器件的研究进展 被引量:3
7
作者 刘智 李传波 +1 位作者 薛春来 成步文 《中国光学》 EI CAS 2013年第4期449-456,共8页
近年来,与Si的CMOS工艺相兼容的Ge/Si异质结构发光器件取得很多重要的进展。本文概述了Si基Ge异质结构发光器件的最新成果,如Ge/Si量子点发光二极管、Si衬底上的Ge发光二极管及激光器和Ge/SiGe多量子阱发光二极管,分别描述了这些器件的... 近年来,与Si的CMOS工艺相兼容的Ge/Si异质结构发光器件取得很多重要的进展。本文概述了Si基Ge异质结构发光器件的最新成果,如Ge/Si量子点发光二极管、Si衬底上的Ge发光二极管及激光器和Ge/SiGe多量子阱发光二极管,分别描述了这些器件的特点和增强其发光特性的途径。最后展望了Si基Ge异质结构发光器件的发展趋势,指出尽管Si基Ge异质结构发光器件获得了很大的发展,但是器件的发光效率仍然很低,离实用还有一定距离,还需要在材料和器件的结构方面有更多的创新。 展开更多
关键词 发光器件 发光二极管 ge ge si量子点 ge sige量子阱
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
8
作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 ge量子点 siO2薄膜 si(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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离子束溅射制备Si/Ge多层膜及红外吸收性能研究 被引量:5
9
作者 刘焕林 郝瑞亭 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期280-284,共5页
采用离子束溅射方法在S i衬底上制备S i/Ge多层膜。通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列S i/Ge多层膜样品。通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流(10mA)、室温条件... 采用离子束溅射方法在S i衬底上制备S i/Ge多层膜。通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列S i/Ge多层膜样品。通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流(10mA)、室温条件下制备出界面清晰、周期完整的S i/Ge多层膜。通过红外吸收谱的测量发现薄膜样品具有较好的红外吸收性能。 展开更多
关键词 si/ge多层膜 离子束溅射 红外探测材料
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Ge/Si纳米多层膜的埋层调制结晶研究 被引量:2
10
作者 杨瑞东 陈寒娴 +4 位作者 邓荣斌 孔令德 陶东平 王茺 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期328-330,333,共4页
采用磁控溅射设备,当衬底温度为500℃时,在Si(100)基片上磁控溅射生长Ge/Si多层膜样品。使用Raman,AFM和低角X射线技术对样品进行检测和研究,结果表明通过控制Ge埋层的厚度,可以调制Ge膜的结晶及晶粒尺寸,获得晶粒平均尺寸和空间分布较... 采用磁控溅射设备,当衬底温度为500℃时,在Si(100)基片上磁控溅射生长Ge/Si多层膜样品。使用Raman,AFM和低角X射线技术对样品进行检测和研究,结果表明通过控制Ge埋层的厚度,可以调制Ge膜的结晶及晶粒尺寸,获得晶粒平均尺寸和空间分布较均匀的多晶Ge/Si多层膜。 展开更多
关键词 ge/si纳米多层膜 埋层 纳米晶粒
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溅射Si/Ge多层膜及其发光誊性研究 被引量:2
11
作者 陈寒娴 杨瑞东 +3 位作者 王茺 邓荣斌 孔令德 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期730-732,736,共4页
采用离子束溅射技术,在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si/Ge多层膜样品。利用X射线小角衍射、Raman散射光谱和室温光致发光(PL)对样品进行表征。结果表明,2.0~2.3eV之间的发光带是由薄膜中的各种缺陷形成的;1.77~1.84eV之间... 采用离子束溅射技术,在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si/Ge多层膜样品。利用X射线小角衍射、Raman散射光谱和室温光致发光(PL)对样品进行表征。结果表明,2.0~2.3eV之间的发光带是由薄膜中的各种缺陷形成的;1.77~1.84eV之间的发光带来自薄膜中的非晶结构和晶粒间的缺陷;1.53eV发光峰则可能源于纳米Ge晶粒发光。 展开更多
关键词 si/ge多层膜 可见光致发光 离子束溅射
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束流密度对Ge/Si量子点溅射生长的影响 被引量:2
12
作者 杨杰 王茺 +1 位作者 陶东平 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第16期2239-2242,2246,共5页
采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力显微镜测试结果表明,随着束流密度的增加,量子点的面密度持续增大,其尺寸不断减小,量子点的形貌由圆顶形... 采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力显微镜测试结果表明,随着束流密度的增加,量子点的面密度持续增大,其尺寸不断减小,量子点的形貌由圆顶形转变为过渡圆顶形。计算直径标准偏差的结果表明,当束流密度为0.86mA/cm2时,量子点的尺寸均匀性最佳。束流密度与沉积速率成正比,影响着表面吸附原子与其它原子相遇而形成晶核的能力。 展开更多
关键词 离子束溅射沉积 ge/si量子点 束流密度 原子力显微镜
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光子晶体对nc-Ge/Si岛发光增强的模拟 被引量:4
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作者 唐海侠 王启明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期435-441,共7页
在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多... 在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多的Si基发光材料体系中,Ge/Si量子点材料,不仅生长工艺与标准的CMOS工艺有很好的兼容性,而且发光波长能够覆盖重要的光通信波段即1.3—1.55μm,因此成为实现Si基发光器件的重要途径之一。但是目前这种材料的发光效率仍很低,所以提高其发光效率自然成为人们关注的焦点。如果将光子晶体引入到nc—Ge/Si材料中,它不仅可以改变材料本身的自发发射特性,而且可以改变发射的光子的提取效率,从而使材料的发光效率得到增强。提出了在Ge/Si量子点材料中引入光子晶体结构来提高其发光效率,包括光子晶体点缺陷腔结构和带边模式工作的完整光子晶体结构,并从理论上分析了发光效率提高的原理。针对发光波长在1.5μm附近的材料结构,模拟出了相应的光子晶体的结构参数。从模拟结果可以看出,对于缺陷腔的光子晶体结构,采用单点缺陷微腔很好地实现了单模运作,但是微腔内有源材料的体积很小,因此得到的发光效率很低。而采用耦合缺陷腔的结构和H2腔都增加了腔内有源区的体积。但是耦合腔与H2腔相比,谐振腔模减少,主谐振模式的峰值强度增加,更容易实现单模发光。因而更适用于提高nc—Ge/Si的发光效率。而带边模式工作的光子晶体结构,尺寸较大,不需引入缺陷,工艺上更容易实现。 展开更多
关键词 光子晶体 光子带隙 谐振腔 nc—ge/si 量子点
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Sn合金化对Gd_5Si_2Ge_2磁致冷材料结构和性能的影响 被引量:5
14
作者 张铁邦 付浩 +2 位作者 陈云贵 涂铭旌 唐永柏 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1528-1531,共4页
以商业纯Gd为原料,采用非自耗电弧炉氩气保护下熔炼了Gd5Si2Ge2-xSn(xx=0.2,0.5,1)和Gd5Si2-yGe2Sny(y=0.1,0.2,0.5)系列合金,研究Sn合金化对Gd5Si2Ge2晶体结构和磁热性能的影响。粉末XRD结果表明:Sn代Ge样品具有正交Gd5Si4型结构;Sn少... 以商业纯Gd为原料,采用非自耗电弧炉氩气保护下熔炼了Gd5Si2Ge2-xSn(xx=0.2,0.5,1)和Gd5Si2-yGe2Sny(y=0.1,0.2,0.5)系列合金,研究Sn合金化对Gd5Si2Ge2晶体结构和磁热性能的影响。粉末XRD结果表明:Sn代Ge样品具有正交Gd5Si4型结构;Sn少量代Si(y=0.1,0.2)的样品具有单斜Gd5Si2Ge2型结构;Gd5Si1.5Ge2Sn0.5则为单斜和正交的混合结构。用超导量子磁强计(SQUID)测定了样品的M-T和不同温度的M-H曲线,结果表明:Gd5Si2Ge2-xSnx(x=0.2,0.5,1)不具有巨磁热效应;Gd5Si1.9Ge2Sn0.1合金的最大磁熵变达15.3J/kg·K(0T^5T),具有巨磁热效应。 展开更多
关键词 Gd5si2ge2 磁热效应 磁致冷材料 晶体结构 磁熵变
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Ge/Si SACM-APD器件分析 被引量:1
15
作者 王巍 颜琳淑 +5 位作者 王川 杜超雨 王婷 王冠宇 袁军 王振 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第4期1349-1353,共5页
Ge/Si吸收区-电荷区-倍增区分离(SACM)结构的APD作为一种新型光电探测器已成为硅基APD器件研究的重点。对SACM Ge/Si型APD器件的基本结构及其主要特性参数,包括量子效率、响应度、暗电流等进行了理论分析及仿真验证。实验结果表明:... Ge/Si吸收区-电荷区-倍增区分离(SACM)结构的APD作为一种新型光电探测器已成为硅基APD器件研究的重点。对SACM Ge/Si型APD器件的基本结构及其主要特性参数,包括量子效率、响应度、暗电流等进行了理论分析及仿真验证。实验结果表明:在给定的器件参数条件下,所设计的APD器件的雪崩击穿电压为25.7V,最大内部量子效率为91%,单位增益下响应度峰值为0.55 A/W,在750-1500 nm范围内具有较高响应度,其峰值波长为1050 nm;在高偏压以及高光照强度情况下,倍增区发生空间电荷效应从而导致增益降低。 展开更多
关键词 ge/si雪崩二极管 吸收区-电荷区-倍增区分离 器件仿真
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Si衬底上Ge材料的UHVCVD生长 被引量:3
16
作者 成步文 薛春来 +4 位作者 罗丽萍 韩根全 曾玉刚 薛海韵 王启明 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期118-120,共3页
采用超低温Buffer层技术在Si衬底上生长出了质量优良的厚Ge材料,材料的穿透位错密度为1×105cm-2。原子力显微镜测试表明表面均方根粗糙度为0.33nm,卢瑟福背散射谱表明Ge的沟道产额低达3.9%,透射电镜分析则表明应变的弛豫主要是通过... 采用超低温Buffer层技术在Si衬底上生长出了质量优良的厚Ge材料,材料的穿透位错密度为1×105cm-2。原子力显微镜测试表明表面均方根粗糙度为0.33nm,卢瑟福背散射谱表明Ge的沟道产额低达3.9%,透射电镜分析则表明应变的弛豫主要是通过在Si与Ge的界面处形成失配位错来实现的。 展开更多
关键词 硅基 ge 外延
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非化学计量比Gd_5Si_2Ge_2合金的磁热性能研究 被引量:5
17
作者 付浩 滕保华 +3 位作者 唐永柏 陈云贵 唐定骧 涂铭旌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期29-30,33,共3页
 在使用纯度为99.94%(质量分数)的国产稀土金属Gd的基础上,研究了非化学计量比的Gd5Si2Ge2合金的磁热效应。结果表明:适量的非化学计量比可以使合金保持一级磁相变的特征并表现出巨磁热效应,而且还使居里点有所提高。
关键词 非化学计量比 Gd5si2ge2合金 磁热性能 磁热效应 一级磁相变
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Ge/Si波导集成型APD器件的仿真分析 被引量:1
18
作者 王振 王婷 +5 位作者 王巍 杜超雨 陈丽 鲍孝圆 王冠宇 王明耀 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第1期23-26,35,共5页
设计了一种Ge/Si波导集成型雪崩光电二极管(APD)。器件采用将Si波导层置于Ge吸收层之下的结构,光经波导层进入吸收层只需一次耦合,降低了光的损耗,提高了光的吸收率和光电流。采用silvaco软件对器件的结构和性能进行仿真,结果表明:... 设计了一种Ge/Si波导集成型雪崩光电二极管(APD)。器件采用将Si波导层置于Ge吸收层之下的结构,光经波导层进入吸收层只需一次耦合,降低了光的损耗,提高了光的吸收率和光电流。采用silvaco软件对器件的结构和性能进行仿真,结果表明:器件的雪崩击穿电压为-28V,最大内量子效率达到89%,在1.15~1.60μm范围内具有较高响应度,峰值波长位于1.31μm,单位响应度最高达0.74A/W,3dB带宽为10GHz。 展开更多
关键词 ge/si 雪崩光电二极管 波导集成型 光吸收率 器件仿真
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近红外Si_(0.8)Ge_(0.2)/Si横向pin探测器的模拟与测试 被引量:1
19
作者 莫太山 张世林 +2 位作者 郭维廉 郭辉 郑云光 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期311-315,共5页
设计了一种新型叉指状近红外 Si0 .8Ge0 .2 / Si pin横向光电探测器。采用半导体器件模拟软件 Atlas分别对该器件平衡条件下物理特性及反向偏压下电场分布、光电特性进行了模拟 ;对实际制作的光电探测器进行了测试 ,结果表明 :其波长响... 设计了一种新型叉指状近红外 Si0 .8Ge0 .2 / Si pin横向光电探测器。采用半导体器件模拟软件 Atlas分别对该器件平衡条件下物理特性及反向偏压下电场分布、光电特性进行了模拟 ;对实际制作的光电探测器进行了测试 ,结果表明 :其波长响应范围为 0 .4~ 1 .3μm,峰值响应波长在 0 .93μm,响应度达 0 .3 8A/ W,寄生电容小于 2 .0 p F。实验结果和模拟结果符合得很好。其良好的光电性能为应用于近红外光的高速。 展开更多
关键词 光电集成电路 si0.8ge0.2/si-pin 横向光电探测器 模拟 光电性能 近红外光
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离子束溅射Si/Ge多层膜的界面结构研究 被引量:1
20
作者 陈寒娴 杨瑞东 +3 位作者 邓荣斌 秦芳 王茺 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A10期4075-4077,共3页
采用离子束溅射技术,在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si/Ge多层膜样品。通过Raman光谱和X射线小角衍射对薄膜进行了表征和分析,发现随着生长周期数的增加,层与层之间的互扩散效应逐渐减弱,界面结构逐渐清晰,生长周期为25的样品界... 采用离子束溅射技术,在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si/Ge多层膜样品。通过Raman光谱和X射线小角衍射对薄膜进行了表征和分析,发现随着生长周期数的增加,层与层之间的互扩散效应逐渐减弱,界面结构逐渐清晰,生长周期为25的样品界面最平整。 展开更多
关键词 si/ge多层膜 界面结构 离子束溅射
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