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nc-Ge/SiO_2薄膜的光发射和光吸收研究
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作者 张培 王加贤 +2 位作者 王燕飞 郭亨群 吴志军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1067-1070,共4页
采用射频磁控反应溅射技术和后退火法制备了nc-Ge/SiO2薄膜材料。采用X射线衍射仪(XRD)对薄膜的微结构进行测试,随着退火温度的升高,衍射峰的半高宽减小,表明Ge纳米晶粒的平均尺寸逐渐增大,发现经过1 000℃退火后的薄膜具有三个明显的... 采用射频磁控反应溅射技术和后退火法制备了nc-Ge/SiO2薄膜材料。采用X射线衍射仪(XRD)对薄膜的微结构进行测试,随着退火温度的升高,衍射峰的半高宽减小,表明Ge纳米晶粒的平均尺寸逐渐增大,发现经过1 000℃退火后的薄膜具有三个明显的纳米锗衍射峰。薄膜的傅里叶红外吸收谱表明,随着退火温度的升高,薄膜的红外吸收增强。室温下,测量了不同温度退火下薄膜的光致发光谱,观察到了紫外光、紫光和橙色光。而且不同退火温度的薄膜,其光致发光谱有所不同,理论上着重讨论了紫光和橙光的发光机制。 展开更多
关键词 nc-ge/sio2薄膜 光吸收 发光机制 与氧相关的缺陷 射频磁控反应溅射技术
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Au/Ge/SiO_2/p-Si结构中的电流输运特性
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作者 陈彦 马书懿 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第6期44-47,共4页
用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而... 用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而在较高的正向偏压下,Frenkel-Poole发射和空间电荷限制电流两种机制共同作用. 展开更多
关键词 ge/sio2薄膜 射频磁控溅射 电流输运
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Ge/SiO_2和Ge/ZnO/SiO_2薄膜的磁控溅射制备及电学性能 被引量:1
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作者 余乐 刘劲松 +7 位作者 李子全 陈建康 何明霞 彭洁 曹安 刘建宁 蒋维娜 万龙 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期103-105,共3页
采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团... 采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团簇结构,并且加入ZnO中间层可以有效的改善Ge层的质量。同时,对所得薄膜材料的电流-电压性能进行了研究,结果发现,Ge/SiO2薄膜的I-V曲线拟合后为斜线,相当于电阻;ZnO/SiO2薄膜为直线,可以认为是绝缘体;Ge/ZnO/SiO2薄膜在-10~10V之间电流电压呈线性关系,其电阻比Ge/SiO2薄膜小,当电压值超过15V之后,电流急剧增加而迅速使薄膜击穿,薄膜导通。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 ge/sio2薄膜 ge/ZnO/sio2薄膜 电流-电压性能
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SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源 被引量:3
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作者 沈今楷 吴兴龙 +3 位作者 袁仁宽 谭超 邓树胜 鲍希茂 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期339-342,共4页
我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位... 我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位,而与锗的氧化物紧密相关。PLE的结果证实它们来源于GeO色心TⅡ’→S0的光学跃迁,给出的GeO电子态模型描述了载流子激发和复合的过程。 展开更多
关键词 光荧光 磁控溅射 红外光发射 geO色心 sio2/ge:sio2/sio2夹层结构 二氧化硅 混合物薄膜 氧化锗
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纳米Ge-SiO_2薄膜对1342nm激光的被动调Q 被引量:2
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作者 王燕飞 王加贤 +1 位作者 张培 杨先才 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第4期385-388,共4页
采用射频磁控溅射技术和热退火处理方法制备纳米锗镶嵌二氧化硅(Ge-SiO2)薄膜.利用光吸收谱和X射线衍射谱对薄膜材料进行表征,得到薄膜的光学带隙为1.12 eV,纳米Ge晶粒的平均尺寸约为16.4 nm.将纳米Ge-SiO2薄膜作为可饱和吸收体插入激... 采用射频磁控溅射技术和热退火处理方法制备纳米锗镶嵌二氧化硅(Ge-SiO2)薄膜.利用光吸收谱和X射线衍射谱对薄膜材料进行表征,得到薄膜的光学带隙为1.12 eV,纳米Ge晶粒的平均尺寸约为16.4 nm.将纳米Ge-SiO2薄膜作为可饱和吸收体插入激光二极管泵浦的平-凹腔Nd∶YVO4激光器内,实现1 342 nm激光的被动调Q运转,获得脉冲宽度约为40 ns,重复频率为33.3 kHz的调Q脉冲序列输出.根据实验现象并结合薄膜结构,认为纳米Ge-SiO2薄膜的界面态和缺陷态是产生调Q的主要原因. 展开更多
关键词 激光技术 Nd∶YVO4激光器 纳米锗镶嵌二氧化硅薄膜 被动调Q 可饱和吸收体
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
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作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 ge量子点 sio2薄膜 SI(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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Al^(3+)对Ge/Al-SiO_2薄膜光致发光的影响 被引量:1
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作者 陈虎 王加贤 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期32-35,共4页
采用磁控溅射及后退火技术制备了不同组份和不同退火温度的Ge、Al共掺SiO2薄膜。通过对样品的X射线光电子能谱(XPS)测试,确定了薄膜的成分和结构特征;同时还测试了样品的光致发光谱(PL谱),得到了峰值位于420 nm附近的紫光发射峰和峰值位... 采用磁控溅射及后退火技术制备了不同组份和不同退火温度的Ge、Al共掺SiO2薄膜。通过对样品的X射线光电子能谱(XPS)测试,确定了薄膜的成分和结构特征;同时还测试了样品的光致发光谱(PL谱),得到了峰值位于420 nm附近的紫光发射峰和峰值位于470 nm的蓝光发射峰。实验结果表明,Al的掺杂不仅可以显著地提高GeNOV中心和SiNOV中心的光发射效率,还可以促进GeNOV缺陷和SiNOV缺陷中心的形成,进而有利于薄膜的光致发光。 展开更多
关键词 光致发光 ge/Al-sio2薄膜 缺陷中心 磁控溅射
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退火温度对镶嵌于SiO_2膜中的Ge纳米晶结构的影响 被引量:1
8
作者 张佳雯 高斐 +4 位作者 晏春愉 孙杰 权乃承 刘伟 方晓玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期143-147,共5页
采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样... 采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样品中Ge纳米晶的尺寸。通过XRD谱计算复合膜的内部压应力,得出由其引起的拉曼峰位的蓝移量,得出结论:压应力是造成拉曼模拟曲线与实验曲线峰位偏离的主要原因。 展开更多
关键词 ge纳米晶 磁控溅射 退火 sio2 声子限域模型
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Ge,Al共掺SiO_2薄膜的发光性能研究 被引量:1
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作者 陈虎 王加贤 张培 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期212-215,234,共5页
用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了... 用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了薄膜的结构特征,同时对观察到的光致发光从理论上做了重点分析,认为双重配位的Si孤对中心和GeO色心中的三重激发态到基态(T1→S0)之间的辐射跃迁分别是产生414和398 nm发光峰的主要原因。实验结果表明,Al的掺入可能在GeO2晶粒中引入了新缺陷能级,从而产生494 nm这一特殊的发光带,同时Al的掺入也提高了398 nm发光峰的发光效率。 展开更多
关键词 光致发光 ge Al共掺sio2复合薄膜 PL谱 缺陷中心 磁控溅射
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利用高压拉曼散射研究Ge/SiO_2/Si纳米系统的压力/张力(英文)
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作者 L. Liu K.L. Teo Z. X. Shen 《光散射学报》 2005年第3期202-204,共3页
We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar... We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar due to the large difference between the compressibility of the SiO2 matrix and Si substrate. The observed effect can be understood by the nonhomogeneous distribution of the elastic field in the Ge/SiO2/Si nanosystem. Previous high pressure PL results on the Si/SiO2/Si nanosystem can also be explained by the nonuniform distribution of the elastic field. Although our investigation focuses on the Ge/SiO2/Si nanosystem, our results could provide generally understanding on the elastic properties of different multi-component nanosystems. 展开更多
关键词 高压拉曼散射 ge/sio2/Si 纳米系统 纳米晶体 二氧化硅薄膜 有限元分析
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温度对SiO_2表面上磁控溅射制备Ge纳米点的生长模式和尺寸的影响 被引量:2
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作者 夏中高 王茺 +2 位作者 鲁植全 李亮 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期961-965,共5页
采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发... 采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成"Ge纳米点的Si窗口"。在此温度条件下,外延生长实验可获得尺寸均匀且密度高达3.2×1010cm-2的Ge纳米点。 展开更多
关键词 磁控溅射 ge纳米点 sio2薄膜
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掺锗SiO_2玻璃的发光现象 被引量:2
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作者 冯玉英 顾晓天 +3 位作者 周家宏 姚杰 莫祥银 包建春 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期926-928,共3页
SiO2 glassy materials with Ge crystals embedded were formed by heating GeO2/SiO2 glass at 700 in the presence of hydrogen. GeO2/SiO2 glass was prepared with the sol-gel technique. The Ge/SiO2 samples show a special ph... SiO2 glassy materials with Ge crystals embedded were formed by heating GeO2/SiO2 glass at 700 in the presence of hydrogen. GeO2/SiO2 glass was prepared with the sol-gel technique. The Ge/SiO2 samples show a special photoluminescence property and exhibit strong luminescence at 392 nm(3.12 eV), secondary strong luminescence at 600 nm(2.05 eV) and weak luminescence at 770 nm(1.60 eV) when excited under 246 nm(5.01 eV) ultra-violet light at room temperature. The structure of this new luminescence material was studied with XRD, XPS, and TEM. The results show that the presence of nanometer sized(around 10 nm) Ge and GeO crystals in the SiO2 may cause the three-band photoluminescence. The GeO2/SiO2 glass without going through the reducing process only has GeO2 in the SiO2 glass, and does not show the photo-(luminescence). 展开更多
关键词 ge/sio2玻璃 ge纳米晶粒 溶胶-凝胶 光致发光
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Density Functional Theory Study on the Structural and Electronic Properties of Ge(SiO_2)_n Clusters
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作者 葛桂贤 闫红霞 +3 位作者 井群 周龙 曹海宾 张建军 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期913-919,共7页
The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structur... The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structures of Ge(SiO2)n are obtained by adding one Ge on the end site of the O atom or the Si near end site of the O atom in(SiO2)n.The chemical activation of Ge-(SiO2)n is improved compared with(SiO2)n.The calculated second-order difference of energies and fragmentation energies show that the Ge(SiO2)n clusters with n = 2 or 5 are stable. 展开更多
关键词 sio2)n and gesio2)n clusters geOMETRIES electronic properties PACC:3640 3640B
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Anisotropy and thickness effects on reflection coefficients and acoustic signatures of bulk and thin Ge and μ-Ge deposited on SiO2 substrates
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作者 Doghmane Abdellaziz Bouziane Nabil Hadjoub Zahia 《材料科学与工程(中英文版)》 2009年第8期8-14,共7页
关键词 各向异性 sio2 签名 散装 厚度 系数和 声反射 基板
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Mo对A_2B_7型La-Mg-Ni贮氢电极合金相结构及电化学性能的影响 被引量:4
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作者 蒋明 李子全 +2 位作者 刘劲松 彭洁 谢理明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期32-38,共7页
采用磁控溅射技术在石英衬底上制备出(Ge/SiO2)15多层膜,并在不同温度下对其进行退火处理。XRD和Raman结果表明:溅射态的薄膜为非晶态,当退火温度为500℃时开始出现明显的结晶衍射峰,随后晶化率明显增大,当600℃后,薄膜的晶化率几乎不变... 采用磁控溅射技术在石英衬底上制备出(Ge/SiO2)15多层膜,并在不同温度下对其进行退火处理。XRD和Raman结果表明:溅射态的薄膜为非晶态,当退火温度为500℃时开始出现明显的结晶衍射峰,随后晶化率明显增大,当600℃后,薄膜的晶化率几乎不变。FESEM和小角度X射线衍射结果表明:溅射态薄膜的层与层之间存在明显的界面,具有良好的周期性,升高退火温度,晶粒尺寸增大,但仍保持周期性结构。薄膜的紫外-可见光吸收光谱表明:随着退火温度的升高,吸收边发生红移,光学带隙从溅射态的1.86eV减小到600℃时的1.59eV。 展开更多
关键词 ge/sio2多层薄膜 射频磁控溅射 退火温度 UV-VIS光谱 小角度X射线衍射
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Ge/Si量子点生长的研究进展 被引量:1
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作者 鲁植全 王茺 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第19期117-122,共6页
回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以... 回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以及Ge量子点的演变及组分变化。 展开更多
关键词 ge/Si量子点生长 图形衬底 表面原子掺杂 超薄sio2 ge组分
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Analysis of tensile strain enhancement in Ge nano-belts on an insulator surrounded by dielectrics
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作者 卢卫芳 李成 +6 位作者 黄诗浩 林光杨 王尘 严光明 黄巍 赖虹凯 陈松岩 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第10期539-543,共5页
Ge nano-belts with large tensile strain are considered as one of the promising materials for high carrier mobility metal- oxide-semiconductor transistors and efficient photonic devices. In this paper, we design the Ge... Ge nano-belts with large tensile strain are considered as one of the promising materials for high carrier mobility metal- oxide-semiconductor transistors and efficient photonic devices. In this paper, we design the Ge nano-belts on an insulator surrounded by Si3N4 or SiO? for improving their tensile strain and simulate the strain profiles by using the finite difference time domain (FDTD) method. The width and thickness parameters of Ge nano-belts on an insulator, which have great effects on the strain profile, are optimized. A large uniaxial tensile strain of 1.16% in 50-nm width and 12-nm thickness Ge nano-belts with the sidewalls protected by Si3N4 is achieved after thermal treatments, which would significantly tailor the band gap structures of Ge-nanobelts to realize the high performance devices. 展开更多
关键词 ge nano-belts FDTD Si3N4 or sio2 uniaxially strain
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Photoluminescence from Ge-SiO_2 thin films and its mechanism 被引量:1
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作者 DONG Yemin, CHEN Jing, TANG Naiyun, YE Chunnuan, WU Xuemei, ZHUGE Lanjian & YAO Weiguo1. Department of Physics, Suzhou University, Suzhou 215006, China 2. Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2001年第15期1268-1271,共4页
Ge-SiO2 thin films were deposited on p-type Si substrates using the radio frequency (rf) magnetron sputtering technique with a Ge-SiO2 composite target. Films were annealed in N2 ambience for 30 min at 300℃-1000℃ wi... Ge-SiO2 thin films were deposited on p-type Si substrates using the radio frequency (rf) magnetron sputtering technique with a Ge-SiO2 composite target. Films were annealed in N2 ambience for 30 min at 300℃-1000℃ with an interval of 100℃. Through the X-ray diffraction, the average size of Ge nanocrystals (nc-Ge) was determined. They increased from 3.9 to 6.1 nm with increasing annealing temperature in the range of 600℃-1000℃. Under ultraviolet excitation, all samples emit a strong violet band centered at 396 nm. With the formation of nc-Ge, the samples exhibit another emission of orange band with the peak at 580 nm and its intensity increases with the increasing size of nc-Ge.The peak positions of two bands do not shift obviously. Experimental data indicate that the violet band comes from GeO defect and the orange band originates mainly from the luminescence centers at the interface between the nc-Ge and SiO2 matrix. 展开更多
关键词 ge-sio2 THIN films rf MAGNETRON SPUTTERING photolumi- nescence light EMITTING mechanism.
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Preparation and optical properties of Ge-SiO_2 composite films
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作者 岳兰平 姚伟国 +1 位作者 戚震中 何怡贞 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1995年第6期522-526,共5页
The structural and optical properties of semiconductor microcrystals embedded in glassy thin films have prompted considerable interest in the fields of solid state physics and materials science. They are currently sub... The structural and optical properties of semiconductor microcrystals embedded in glassy thin films have prompted considerable interest in the fields of solid state physics and materials science. They are currently subjects of intensive research for both fundamental and practical reasons. Since the semiconductor-embedded glassy films show distinctive optical properties, many studies have been carried out to evaluate the usefulness of this type 展开更多
关键词 ge-sio2 THIN film ion beam SPUTTERING OPTICAL ABSORPTION SPECTRUM heat treatment.
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锗/氧化硅和碳/氧化硅薄膜电致发光的比较研究
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作者 李勇 马书懿 +1 位作者 蔡利霞 李锡森 《甘肃科技》 2009年第7期56-57,共2页
分别以锗-氧化硅和碳-氧化硅复合靶作为溅射靶,采用射频磁控共溅射技术在p型硅衬底上淀积了含纳米锗的氧化硅薄膜Ge/SiO2和含纳米碳的氧化硅薄膜C/SiO2。将各样品在氮气氛中经过600℃退火处理30min,然后,在p型硅衬底背面蒸镀铝电极,并... 分别以锗-氧化硅和碳-氧化硅复合靶作为溅射靶,采用射频磁控共溅射技术在p型硅衬底上淀积了含纳米锗的氧化硅薄膜Ge/SiO2和含纳米碳的氧化硅薄膜C/SiO2。将各样品在氮气氛中经过600℃退火处理30min,然后,在p型硅衬底背面蒸镀铝电极,并经过合金形成良好的欧姆接触,最后,在纳米薄膜上蒸镀半透明的Au膜以形成Au/Ge/SiO2/p-Si和Au/C/SiO2/p-Si结构。当正向偏压在5-12V时,对两种结构的电致发光谱(EL)进行了测量,并对其发光机制进行了讨论。 展开更多
关键词 ge/sio2 C/sio2 电致发光 发光中心
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