期刊文献+
共找到40篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源 被引量:3
1
作者 沈今楷 吴兴龙 +3 位作者 袁仁宽 谭超 邓树胜 鲍希茂 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期339-342,共4页
我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位... 我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位,而与锗的氧化物紧密相关。PLE的结果证实它们来源于GeO色心TⅡ’→S0的光学跃迁,给出的GeO电子态模型描述了载流子激发和复合的过程。 展开更多
关键词 光荧光 磁控溅射 红外光发射 geO色心 sio2/ge:sio2/sio2结构 二氧化硅 混合物薄膜 氧化锗
下载PDF
切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征 被引量:3
2
作者 崔云先 杨德顺 +2 位作者 孙宝元 贾颖 徐军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1850-1852,1856,共4页
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO2多层复合绝缘薄膜的制备工艺。通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进... 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO2多层复合绝缘薄膜的制备工艺。通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×1012Ω。其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求。 展开更多
关键词 切削刀具 测温传感器 sio2绝缘薄膜 多层复合 磁控溅射
下载PDF
溶胶-凝胶法制备Ge/SiO_2微晶复合薄膜 被引量:3
3
作者 翟继卫 杨合情 +1 位作者 张良莹 姚熹 《材料科学与工程》 CAS CSCD 1999年第4期14-16,共3页
采用Sol-gel方法制备了GeO2-SiO2复合薄膜,并用H2/N2还原使得GeO2转变成Ge微晶而镶嵌在SiO2的玻璃网格中,其平均晶粒尺寸小于4nm 。随着热处理时间的增加,240nm 处吸收峰的强度随之增大,并... 采用Sol-gel方法制备了GeO2-SiO2复合薄膜,并用H2/N2还原使得GeO2转变成Ge微晶而镶嵌在SiO2的玻璃网格中,其平均晶粒尺寸小于4nm 。随着热处理时间的增加,240nm 处吸收峰的强度随之增大,并且其吸收边产生红移,说明Ge 展开更多
关键词 ge微晶 sio2玻璃 微晶复合薄膜 溶胶-凝胶法
下载PDF
Ge,Al共掺SiO_2薄膜的发光性能研究 被引量:1
4
作者 陈虎 王加贤 张培 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期212-215,234,共5页
用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了... 用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了薄膜的结构特征,同时对观察到的光致发光从理论上做了重点分析,认为双重配位的Si孤对中心和GeO色心中的三重激发态到基态(T1→S0)之间的辐射跃迁分别是产生414和398 nm发光峰的主要原因。实验结果表明,Al的掺入可能在GeO2晶粒中引入了新缺陷能级,从而产生494 nm这一特殊的发光带,同时Al的掺入也提高了398 nm发光峰的发光效率。 展开更多
关键词 光致发光 ge Al共掺sio2复合薄膜 PL谱 缺陷中心 磁控溅射
下载PDF
多层模型计算椭偏法测量的SiO_2/Si超薄膜厚度 被引量:2
5
作者 范江玮 王锋 +1 位作者 孙钦蕾 韩小刚 《测试技术学报》 2012年第5期388-392,共5页
采用不同的光学模型对厚度为6 nm,密度为2.2 g/cm3的理想SiO2薄膜理论曲线进行了拟合,得到了薄膜厚度的计算结果随所采取的薄膜密度变化的规律:选用更大的薄膜密度值进行拟合计算会得到更小的厚度结果,其趋势近似线性.参考GIXRR方法测... 采用不同的光学模型对厚度为6 nm,密度为2.2 g/cm3的理想SiO2薄膜理论曲线进行了拟合,得到了薄膜厚度的计算结果随所采取的薄膜密度变化的规律:选用更大的薄膜密度值进行拟合计算会得到更小的厚度结果,其趋势近似线性.参考GIXRR方法测量得到的薄膜物理结构的结果,给出了优化的拟合计算模型(薄膜密度为2.4 g/cm3、表面粗糙度为0.4 nm、界面粗糙度为0.3 nm),对于热氧化法制备的厚度小于10 nm的SiO2超薄膜,使用此模型进行拟合计算,可以得到比常规模型更为准确的厚度结果.采用优化的模型拟合了期望厚度为2,4,6,8,10 nm的SiO2超薄膜的SE实验曲线,得到的厚度结果分别为2.61,4.07,6.02,7.41,9.43 nm,与传统模型计算结果相比,分别降低了13.8%,10.3%,8.1%,7.3%和6.6%. 展开更多
关键词 sio2/Si超薄膜 多层模型 椭偏法 X射线全反射 热氧比法
下载PDF
射频磁控溅射技术制备Ge-SiO_2薄膜的结构和光学特性研究 被引量:2
6
作者 栾彩霞 柴跃生 +2 位作者 孙钢 马志华 张敏刚 《太原科技大学学报》 2005年第2期136-139,共4页
用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红... 用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红移和宽化现象。测量了薄膜的光致发光谱,所有样品都在394nm处发出很强的光,随着Ge纳米晶粒的出现,样品有310nm和625nm处的光发出,其强度随晶粒平均尺寸的增大而增强。 展开更多
关键词 射频磁控溅射技术 sio2薄膜 特性研究 制备 Raman散射光谱 光学 纳米晶粒 ge纳米晶 光致发光谱 晶体结构 平均尺寸 退火 复合膜 XRD 样品 600
下载PDF
Ge/SiO_2和Ge/ZnO/SiO_2薄膜的磁控溅射制备及电学性能 被引量:1
7
作者 余乐 刘劲松 +7 位作者 李子全 陈建康 何明霞 彭洁 曹安 刘建宁 蒋维娜 万龙 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期103-105,共3页
采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团... 采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团簇结构,并且加入ZnO中间层可以有效的改善Ge层的质量。同时,对所得薄膜材料的电流-电压性能进行了研究,结果发现,Ge/SiO2薄膜的I-V曲线拟合后为斜线,相当于电阻;ZnO/SiO2薄膜为直线,可以认为是绝缘体;Ge/ZnO/SiO2薄膜在-10~10V之间电流电压呈线性关系,其电阻比Ge/SiO2薄膜小,当电压值超过15V之后,电流急剧增加而迅速使薄膜击穿,薄膜导通。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 ge/sio2薄膜 ge/ZnO/sio2薄膜 电流-电压性能
下载PDF
磷酸处理对多孔SiO_2薄膜质子导电特性和双电层薄膜晶体管性能的影响
8
作者 万相 刘阳辉 张洪亮 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期482-486,共5页
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了多孔SiO2薄膜,系统地研究了不同浓度磷酸处理对多孔SiO2薄膜的质子导电特性、双电层电容和以此多孔SiO2薄膜为栅介质的铟锌氧(IZO)双电层薄膜晶体管性能的影响。结果表明:多孔SiO2薄膜的质... 采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了多孔SiO2薄膜,系统地研究了不同浓度磷酸处理对多孔SiO2薄膜的质子导电特性、双电层电容和以此多孔SiO2薄膜为栅介质的铟锌氧(IZO)双电层薄膜晶体管性能的影响。结果表明:多孔SiO2薄膜的质子电导率和双电层电容随磷酸浓度升高而增大,60%浓度磷酸处理后多孔SiO2薄膜质子电导率和双电层电容分别达到1.51×10-4 S/cm和6.33μF/cm2。随磷酸浓度升高,双电层薄膜晶体管的工作电压降低,并且,电流开关比也变大。其中60%浓度磷酸处理后器件工作电压为1.2 V,迁移率为20 cm2/(V·s),电流开关比为4×106。这种双电层薄膜晶体管有望应用在化学和生物传感等领域。 展开更多
关键词 双电 薄膜晶体管 磷酸处理 多孔sio2
下载PDF
SiO_2气凝胶柔性保温隔热薄膜 被引量:17
9
作者 倪星元 程银兵 +4 位作者 马建华 吴广明 周斌 沈军 王珏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期725-727,共3页
 由SiO2气凝胶、聚酰亚胺和镀铝层(SiO2/PI/Al)组成的柔性多层薄膜具有很好的保温隔热特性和广泛的应用前景。采用溶胶 凝胶方法制备的SiO2气凝胶具有很高的气孔率和很低的体积密度,尝试了在溶胶 凝胶过程中先酸性后碱性的二步法催化,...  由SiO2气凝胶、聚酰亚胺和镀铝层(SiO2/PI/Al)组成的柔性多层薄膜具有很好的保温隔热特性和广泛的应用前景。采用溶胶 凝胶方法制备的SiO2气凝胶具有很高的气孔率和很低的体积密度,尝试了在溶胶 凝胶过程中先酸性后碱性的二步法催化,使孔洞率提高到97%,体积密度降低为50kg/m3,成为优秀的保温隔热的主体材料。选择柔性耐温隔热的聚酰亚胺作为骨架材料,并用真空蒸发镀制上金属铝膜与多孔SiO2气凝胶复合成保温隔热薄膜。当薄膜叠加到10层时其保温隔热效果可提高5倍。 展开更多
关键词 sio2 气凝胶 柔性多层薄膜 保温隔热 溶胶-凝胶 气孔率 体积密度
下载PDF
SiO_2薄膜光学常数物理模型(英文) 被引量:7
10
作者 刘华松 杨霄 +6 位作者 刘丹丹 王利栓 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张锋 陈德应 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期286-291,共6页
SiO_2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO_2薄膜,在拟合过程中,基于L_8(2~2)正交... SiO_2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中,通过测量薄膜的椭偏参数,使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO_2薄膜,在拟合过程中,基于L_8(2~2)正交表设计了8组反演计算实验,以评价函数MSE为考核指标。实验结果表明:对IBS SiO_2薄膜拟合MSE函数影响最大的为界面层模型,对EB SiO_2薄膜拟合MSE函数影响最大的为Pore模型。同时确定了不同物理模型对拟合MSE函数的影响大小和反演计算过程模型选择的次序,按照确定的模型选择次序拟合,两种薄膜反演计算的MSE函数相对初始MSE可下降35%和38%,表明拟合过程模型选择合理物理意义明确。文中提供了一种判断薄膜物理模型中各因素对于薄膜光学常数分析作用大小的途径,对于薄膜光学常数分析具有指导意义。 展开更多
关键词 sio2薄膜 光学常数 界面 折射率梯度 孔隙 表面
下载PDF
SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
11
作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 ge量子点 sio2薄膜 SI(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
下载PDF
溶胶凝胶法制备SiO_2/TiO_2多层膜工艺研究 被引量:1
12
作者 杨帆 沈军 +4 位作者 吴广明 孙骐 李小丽 张志华 付甜 《安阳师范学院学报》 2003年第2期31-34,共4页
采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜。采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究。结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要。通过对实验条件的改善与优化... 采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜。采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究。结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要。通过对实验条件的改善与优化,可以镀制出性能优良的SiO2/TiO2多层膜,以用于微型谐振腔、滤光片、一维光子晶体和传统的光学高反膜的研究。 展开更多
关键词 sio2/TiO2多 制备工艺 溶胶-凝胶法 旋涂方法 光学高反膜 薄膜性能
下载PDF
碱催化多孔SiO_2/PI杂化薄膜的制备与力学性能研究
13
作者 田晶 张瑾 +1 位作者 赵鹤云 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期79-83,共5页
采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并在其表面制备致密过渡膜。利用差热分析(DSC-TGA)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)、微纳... 采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并在其表面制备致密过渡膜。利用差热分析(DSC-TGA)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪(Atomic-Profiler)、微纳力学性能测试仪(Universal Nano+Micro Mechanical Tester)等对薄膜的性能进行了分析表征。结果表明,所制备的SiO2/PI杂化多孔薄膜具有较好的力学性能和热稳定性;一层膜和两层膜的平均厚度分别为917和1288nm;镀有过渡膜的样品具有最为平整的表面形貌和最小的表面动摩擦系数。 展开更多
关键词 碱催化 纳米多孔sio2/PI杂化薄膜 表面过渡 力学性能
下载PDF
用变角XPS技术定量计算超薄SiO_2层厚度
14
作者 严少平 汪贵华 +1 位作者 李锋 顾广颐 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2003年第3期452-455,共4页
采用变角XPS技术分析单晶Si和非晶Si衬底上覆盖SiO2薄层的样品,比较变角XPS定量计算超薄SiO2层厚度的几种方法及特点,从而获得一种比较可靠稳定的分析计算方法。实际应用证明,变角XPS技术可用于MOS集成器件的超薄栅氧化层厚度常规分析... 采用变角XPS技术分析单晶Si和非晶Si衬底上覆盖SiO2薄层的样品,比较变角XPS定量计算超薄SiO2层厚度的几种方法及特点,从而获得一种比较可靠稳定的分析计算方法。实际应用证明,变角XPS技术可用于MOS集成器件的超薄栅氧化层厚度常规分析和测试。 展开更多
关键词 变角XPS技术 定量计算 超薄sio2 超薄栅氧化 厚度测量 薄膜 MOS集成器件 金属-氧化物-半导体器件
下载PDF
Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7栅绝缘层的SiO2修饰对ZnO-TFTs性能的影响
15
作者 叶伟 崔立堃 常红梅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1344-1351,共8页
具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO... 具有高介电常数的栅绝缘层材料存在某种极化及耦合作用,使得ZnO-TFTs具有高的界面费米能级钉扎效应、大的电容耦合效应和低的载流子迁移率.为了解决这些问题,本文提出了一种使用SiO 2 修饰的Bi 1.5 Zn 1.0 Nb 1.5 O 7 作为栅绝缘层的ZnO-TFTs结构,分析了SiO 2 修饰对栅绝缘层和ZnO-TFTs性能的影响.结果表明,使用SiO 2 修饰后,栅绝缘层和ZnO-TFTs的性能得到显著提高,使得ZnO-TFTs在下一代显示领域中具有非常广泛的应用前景.栅绝缘层的漏电流密度从4.5×10^-5 A/cm^2 降低到7.7×10^-7 A/cm^2 ,粗糙度从4.52nm降低到3.74nm,ZnO-TFTs的亚阈值摆幅从10V/dec降低到2.81V/dec,界面态密度从8×10^13 cm^-2 降低到9×10 12 cm^-2 ,迁移率从0.001cm^2 /(V·s)升高到0.159cm^2 /(V·s). 展开更多
关键词 sio2薄膜 氧化锌薄膜晶体管 修饰 Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7薄膜 射频磁控溅射
下载PDF
Au/Ge/SiO_2/p-Si结构中的电流输运特性
16
作者 陈彦 马书懿 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第6期44-47,共4页
用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而... 用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而在较高的正向偏压下,Frenkel-Poole发射和空间电荷限制电流两种机制共同作用. 展开更多
关键词 ge/sio2薄膜 射频磁控溅射 电流输运
下载PDF
退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响 被引量:6
17
作者 刘保剑 段微波 +4 位作者 李大琪 余德明 陈刚 王天洪 刘定权 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期172-178,共7页
介质膜反射镜是星载激光测高仪系统中不可缺少的薄膜元件,其面形质量直接影响探测系统测距的分辨率和精度.本文采用离子束辅助电子束蒸发工艺在石英基底上沉积Ta2O5/SiO2多层反射膜,并在200—600℃的空气中做退火处理.通过X射线衍射、... 介质膜反射镜是星载激光测高仪系统中不可缺少的薄膜元件,其面形质量直接影响探测系统测距的分辨率和精度.本文采用离子束辅助电子束蒸发工艺在石英基底上沉积Ta2O5/SiO2多层反射膜,并在200—600℃的空气中做退火处理.通过X射线衍射、原子力显微镜、分光光度计及激光干涉仪等测试手段,系统研究了退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构、光学性能以及应力特性的影响.结果表明:Ta2O5/SiO2多层反射膜退火后,膜层结构保持稳定,膜层表面粗糙度得到有效改善;反射膜在500—600℃退火后,残余应力由压应力向张应力转变;采用合适的退火温度可以有效释放Ta2O5/SiO2薄膜的残余应力,使薄膜与基底构成的介质膜反射镜具有较好的面形精度.本文的实验结果对退火工艺在介质膜反射镜面形控制技术方面的应用具有重要意义. 展开更多
关键词 光学薄膜 Ta2O5/sio2多反射膜 退火 应力特性
下载PDF
温度对SiO_2表面上磁控溅射制备Ge纳米点的生长模式和尺寸的影响 被引量:2
18
作者 夏中高 王茺 +2 位作者 鲁植全 李亮 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期961-965,共5页
采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发... 采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成"Ge纳米点的Si窗口"。在此温度条件下,外延生长实验可获得尺寸均匀且密度高达3.2×1010cm-2的Ge纳米点。 展开更多
关键词 磁控溅射 ge纳米点 sio2薄膜
下载PDF
基于微孔SiO_2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管
19
作者 颜钟惠 王瑶 +2 位作者 吴国栋 轩瑞杰 李想 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期33-36,共4页
采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征。结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应... 采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管。利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征。结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能。 展开更多
关键词 微孔sio2 双电效应 透明氧化物 薄膜晶体管
下载PDF
利用高压拉曼散射研究Ge/SiO_2/Si纳米系统的压力/张力(英文)
20
作者 L. Liu K.L. Teo Z. X. Shen 《光散射学报》 2005年第3期202-204,共3页
We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar... We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar due to the large difference between the compressibility of the SiO2 matrix and Si substrate. The observed effect can be understood by the nonhomogeneous distribution of the elastic field in the Ge/SiO2/Si nanosystem. Previous high pressure PL results on the Si/SiO2/Si nanosystem can also be explained by the nonuniform distribution of the elastic field. Although our investigation focuses on the Ge/SiO2/Si nanosystem, our results could provide generally understanding on the elastic properties of different multi-component nanosystems. 展开更多
关键词 高压拉曼散射 ge/sio2/Si 纳米系统 纳米晶体 二氧化硅薄膜 有限元分析
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部