枕型二维位敏探测器的结构和性能研究

本文从二维位敏探测器 ( PSD)的结构和性能的比较出发 ,对枕型结构 PSD的性能作了理论上的推导和分析 。

大面积枕型二维位敏探测器的研制

在简要分析二维位敏探测器工作原理的基础上,详细介绍了一种大面积枕型二维位敏探测器的结构设计和制作工艺。对器件响应度、暗电流、位置分辨率,以及位置线性度等性能参数进行了分析。测试结果显示,器件在峰值波长λp=930nm处的响应度达0.63A/W,暗电流小于300nA(VR=10V),位置分辨率小于10μm,位置非线性度小于5%。

二维PSD的结构和性能分析

从二维PSD的结构和性能的比较出发，对枕型结构PSD的性能作了理论上的推导和分析，由此得到的结论和现有的实验结果相符。