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Determination of trace impurity elements in MnZn ferrite powder by direct current glow discharge mass spectrometry 被引量:3
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作者 FU Liang MA Jun-cai SHI Shu-yun 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第7期1590-1597,共8页
An analytical method for the determination of 26 impurity elements (such as Li, Be, Na, Mg, Al, Si, P, S, K, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Co, Ni, Ga, Ge, Y, Nb, Mo, Ag, Cd, Sb, W and Pb) in MnZn ferrite powder by direct curre... An analytical method for the determination of 26 impurity elements (such as Li, Be, Na, Mg, Al, Si, P, S, K, Ca, Sc, Ti, V, Cr, Co, Ni, Ga, Ge, Y, Nb, Mo, Ag, Cd, Sb, W and Pb) in MnZn ferrite powder by direct current glow discharge mass spectrometry (GD-MS) was established. MnZn ferrite powder was mixed with copper powder, used as a conductor, and pressed. The effects of MnZn ferrite powder preparation conditions and glow discharge parameters for the sensitivity and stability of signal analysis were investigated. By determining the choice of isotope and the application of the mass resolutions of 4000 (MR, medium resolution) and 10000 (HR, high resolution), mass spectral interference was eliminated. The contents of impurity elements in MnZn ferrite powder was calculated by subtraction after normalizing the total signal of Mn, Zn, Fe, O and Cu. The results showed that the detection limit of 26 kinds of impurity elements was between 0.002 and 0.57 μg/g, and the relative standard deviation (RSD) was between 3.33% and 32.35%. The accuracy of this method was verified by the ICP-MS. The method was simple and practical, which is applied to the determination of impurity elements in MnZn ferrite powder. 展开更多
关键词 MnZn ferrite powder glow discharge mass spectrometry impurity elements copper powder
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Glowing discharge ion source of ion mobility spectrometry
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作者 衡磊 《辽宁师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2008年第4期485-486,共2页
The paper investigated a new method of analyzing perfume odors.The study adopted IMS with glow dischargeas ion source and with positive ion mode.We got the quality characteristics of perfume odors in this way without ... The paper investigated a new method of analyzing perfume odors.The study adopted IMS with glow dischargeas ion source and with positive ion mode.We got the quality characteristics of perfume odors in this way without any collection and concentration process.The quality of perfume odors can be identified by IMS peak characteristics,and the characteristics of different quality of perfume also can be identified.In summary,the IMS is an effective technique in the perfume odor detection,it is also a new way of gas sample analysis. 展开更多
关键词 离子 灵活性 光谱测定法 流量
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高纯金属纯度测量研究
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作者 周涛 张见营 +2 位作者 崔彦杰 唐一川 吴冰 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1331-1337,共7页
高纯金属作为先进材料和化学成分量溯源的基础原料,其杂质和纯度量值是重要指标。全杂质元素扣除,即扣除包括非金属和气体元素等杂质的纯度测量方法已成为高纯金属纯度定值的权威方法。该文以高纯金纯度标准物质(GBW02793)为例,详细介... 高纯金属作为先进材料和化学成分量溯源的基础原料,其杂质和纯度量值是重要指标。全杂质元素扣除,即扣除包括非金属和气体元素等杂质的纯度测量方法已成为高纯金属纯度定值的权威方法。该文以高纯金纯度标准物质(GBW02793)为例,详细介绍了辉光放电质谱法、高分辨电感耦合等离子体质谱法、燃烧红外法和惰气熔融-红外热导法等多种方法在纯度测量中的研究要点。对引起辉光放电质谱测量偏差的重要因素—相对灵敏度因子进行了修正,将测量不确定度从200%降至30%。分别采用辉光放电质谱法和高分辨电感耦合等离子体质谱法两种方法对高含量的金属杂质元素Na、Fe、Cu进行测量,方法结果一致。痕量气体元素H、C、N、S采用惰气熔融-红外热导法和燃烧红外法进行测量,其含量分别为0.35、0.51、0.45、0.85 mg/kg,均低于定量下限。采用惰气熔融-红外热导法和二次离子质谱法对痕量氧含量进行了测量,两种方法结果相近。同时对惰性气体元素和放射性元素含量进行了合理评估,并对纯度测量不确定度进行了评定。最终得到扣除94种杂质元素的高纯金标准物质中金的质量分数为99.9995%,扩展不确定度为0.0002%。 展开更多
关键词 高纯金属 纯度 辉光放电质谱 标准物质
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高流速离子源辉光放电质谱校正灵敏度因子法定量分析镍基高温合金中痕量稀土及贵金属元素
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作者 屈华阳 张馨元 +2 位作者 胡净宇 杨国武 王海舟 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1317-1323,共7页
该文通过全面优化高流速辉光放电离子源分析高温合金痕量元素的仪器条件,系统研究高温合金复杂基体元素造成的质谱干扰,选取稀土元素和贵金属元素分析同位素与合适的质谱分辨率,确立了基于基体匹配的变形高温合金标准物质系列的校正灵... 该文通过全面优化高流速辉光放电离子源分析高温合金痕量元素的仪器条件,系统研究高温合金复杂基体元素造成的质谱干扰,选取稀土元素和贵金属元素分析同位素与合适的质谱分辨率,确立了基于基体匹配的变形高温合金标准物质系列的校正灵敏度因子(RSF)定量方案,使测定结果的相对误差由4.0%~80%优化至7.7%~20%,并为痕量分析结果提供了可靠的计量溯源依据。基于此所建立的辉光放电质谱(GDMS)测定镍基高温合金中稀土元素和贵金属元素的方法检出限为0.0010~0.015μg/g,定量下限为0.0030~0.045μg/g。应用于变形高温合金和铸造高温合金实际样品中稀土元素和贵金属元素的分析,测定结果与湿法分析的参考值吻合较好,较好地验证了辉光放电固体样品快捷分析的优势,体现了高分辨质谱检出限低、线性范围宽、可分析元素多的特点,在高温合金材料质控中有着巨大的应用前景。 展开更多
关键词 辉光放电质谱法 镍基 高温合金 稀土元素 贵金属元素 校正灵敏度因子
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辉光放电质谱法测定高温合金中的氧氮元素
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作者 李晓旭 王长春 +1 位作者 李辉 张重远 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1370-1375,共6页
通过优化放电参数,分析质谱干扰,校正相对灵敏度因子(RSF),对高温合金中的氧和氮元素进行测试,并将结果与氧氮氢分析仪检测结果进行比较。结果显示,使用辉光放电质谱仪和氧氮氢分析仪测定高温合金中氧和氮元素结果的偏差分别为小于10%... 通过优化放电参数,分析质谱干扰,校正相对灵敏度因子(RSF),对高温合金中的氧和氮元素进行测试,并将结果与氧氮氢分析仪检测结果进行比较。结果显示,使用辉光放电质谱仪和氧氮氢分析仪测定高温合金中氧和氮元素结果的偏差分别为小于10%和小于5.0%,且结果稳定性的相对标准偏差小于5.0%。校正后的RSF值可信,测试结果稳定可靠。 展开更多
关键词 辉光放电质谱法 高温合金 氧氮元素测定 RSF校正
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辉光放电质谱法测定合金钢中各元素的相对灵敏度因子 被引量:1
6
作者 汤云腾 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第3期84-89,共6页
采用辉光放电质谱法(GDMS)分析合金钢中元素相对灵敏度因子(RSF),优化放电电流、气体流量和预溅射时间等条件,排除质谱干扰并选定合适同位素。研究不同放电条件对元素RSF的影响,并比较不同基体下RSF的差异。通过合金钢标准样品建立回归... 采用辉光放电质谱法(GDMS)分析合金钢中元素相对灵敏度因子(RSF),优化放电电流、气体流量和预溅射时间等条件,排除质谱干扰并选定合适同位素。研究不同放电条件对元素RSF的影响,并比较不同基体下RSF的差异。通过合金钢标准样品建立回归曲线,获得校正后的相对灵敏度因子(RSF_(steel)),用于定量分析。结果表明,放电气体流量是元素RSF的主要影响因素,轻元素RSF随放电气体流量增加而减小,重元素RSF随放电气体流量增加而增大。合金钢基体下的大部分元素RSF小于其标准RSF,经RSF_(steel)校正的测量值与参考值间的相对偏差低于10%,相对标准偏差(RSD)小于5%,准确度和精密度良好。 展开更多
关键词 辉光放电质谱法 合金钢 相对灵敏度因子
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辉光放电光谱法测定钛合金中氢元素
7
作者 李震乾 李剑 +2 位作者 孔令臣 康琼 谭宝星 《化学工程师》 CAS 2024年第4期32-34,113,共4页
本文建立了利用辉光放电光谱仪测定钛合金中氢元素的方法。主要考察了剥蚀时间、功率、压强、积分时间等仪器参数对测定结果的影响。磨抛机转速控制在300r·min^(-1),用400目砂纸打磨,800目砂纸抛光,对测试样品进行处理。在最佳测... 本文建立了利用辉光放电光谱仪测定钛合金中氢元素的方法。主要考察了剥蚀时间、功率、压强、积分时间等仪器参数对测定结果的影响。磨抛机转速控制在300r·min^(-1),用400目砂纸打磨,800目砂纸抛光,对测试样品进行处理。在最佳测试条件下,剥蚀时间50s,功率65W,压强850Pa,积分时间30s,用有证标准物质绘制工作曲线,工作曲线线性相关系数r≥0.995。使用标准物质进行了精密度和准确度实验,氢测定值的RSD(n=7)小于10.0%,同时满足标准物质的扩展不确定度,后续进行了惰性气体熔融-红外法与本方法之间的比对,检测结果一致。结果表明,该方法的精密度好、准确度高。 展开更多
关键词 辉光放电原子发射光谱法 钛合金
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辉光放电质谱法对粉状高温合金中14种痕量元素的相对灵敏度因子校正方法探究
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作者 韩弢 高颂 +3 位作者 张轶波 田悦鸣 张涛 郑松波 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1356-1361,共6页
该文通过辉光放电质谱法(GDMS)对3种不同粒度段FGH96高温合金粉末中14种关键痕量元素的相对灵敏度因子(RSF)进行了系统分析,并首次将不对称电荷转移(ACT)理论应用于镍基高温合金中Mg元素的RSF系数校正。实验结果显示,B、P、S等13种痕量... 该文通过辉光放电质谱法(GDMS)对3种不同粒度段FGH96高温合金粉末中14种关键痕量元素的相对灵敏度因子(RSF)进行了系统分析,并首次将不对称电荷转移(ACT)理论应用于镍基高温合金中Mg元素的RSF系数校正。实验结果显示,B、P、S等13种痕量元素的RSF系数基本不受粉末样品粒度影响,可以使用块状标准物质对其RSF进行修正。通过对不同Mg含量梯度的样品进行考察,对Mg元素的RSF系数提出了校准方案。考虑到基体元素Ni对Mg元素的影响,在准确度要求较高时应根据实际Mg含量高低及粒度段范围建立两套RSF系数进行修正。同时给出了两套RSF系数的参考值,对Mg含量3μg/g平均粒度200目的样品及30~300μg/g平均粒度-80~+120目的样品相应的RSF参考值分别为1.16和0.41。 展开更多
关键词 镍基粉末高温合金 痕量元素 相对灵敏度因子 不对称电荷转移 辉光放电质谱法 粉末粒度
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Direct determination of trace amounts of acetic acid using a novel ambient glow discharge ion source
9
作者 Xiao Hao Wang Kun Liu +3 位作者 Fei Tang Jiu Ming He Xue Ye Wei Zeper Abliz 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2010年第10期1219-1222,共4页
A novel ambient glow discharge ion source with improved line-cylinder electrodes is put forward and designed in this paper. The diameters of inner and outer electrodes are 0.16 and 4 mm respectively. With a special as... A novel ambient glow discharge ion source with improved line-cylinder electrodes is put forward and designed in this paper. The diameters of inner and outer electrodes are 0.16 and 4 mm respectively. With a special assembly method, a perfect coaxiality of the two electrodes is obtained. From the gas discharge experiment, it can be seen that the discharge can stably work in normal glow discharge mode. The operating currents of the ion source are in an order of milliamperes and can generate a much larger number and wider variety of reagent ions. The MS experiment shows that the ion source has higher detection sensitivity, 展开更多
关键词 Ambient ion source Atmospheric glow discharge Mass spectrometry
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辉光放电光谱法在镀锌板检测分析的应用
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作者 刘钢耀 常欢 +1 位作者 王宴秋 杨翰枭 《包钢科技》 2023年第6期89-92,共4页
辉光放电光谱法可同时完成镀锌板基体化学成分分析和镀层厚度、镀层重量的检测。通过对不同电极尺寸、吹扫条件、测定压力及测定功率下的结果进行比对分析,选择出了最佳测定条件,确定了各分析元素的测定下限;通过分析方法间比对,精密度... 辉光放电光谱法可同时完成镀锌板基体化学成分分析和镀层厚度、镀层重量的检测。通过对不同电极尺寸、吹扫条件、测定压力及测定功率下的结果进行比对分析,选择出了最佳测定条件,确定了各分析元素的测定下限;通过分析方法间比对,精密度、准确度试验,建立了测定镀锌板基体成分、镀层厚度、镀层重量的分析方法。 展开更多
关键词 辉光放电光谱法 镀锌板 基体元素 镀层厚度 镀层重量
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HL-2A装置器壁处理质谱分析 被引量:1
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作者 周军 曹曾 +3 位作者 曹诚志 黄向玫 高霄雁 胡毅 《真空》 CAS 2023年第2期45-50,共6页
为了对HL-2A装置升级改造后的器壁处理效果展开分析,使用四极质谱计对HL-2A装置壁处理过程中或壁处理前后的残余气体进行了质谱测量。利用粒子平衡方程和质谱图变化分析了直流辉光放电清洗过程中的气体成分变化。研究了HL-2A装置壁处理... 为了对HL-2A装置升级改造后的器壁处理效果展开分析,使用四极质谱计对HL-2A装置壁处理过程中或壁处理前后的残余气体进行了质谱测量。利用粒子平衡方程和质谱图变化分析了直流辉光放电清洗过程中的气体成分变化。研究了HL-2A装置壁处理的性能并优化了He+D_(2)-GDC的氦氘比例参数。结果表明:HL-2A装置真空室烘烤除气后,残余气体中H2O所占百分比由烘烤前的92%降至56%,真空室真空度达到2.2×10^(-5)Pa;在不同阶段利用H2-GDC、He-GDC、He+D_(2)-GDC进行壁处理消除了真空室内部件升级改造对壁处理造成的不利影响,保障了HL-2A装置等离子体放电实验的开展。 展开更多
关键词 HL-2A装置 壁处理 质谱分析 辉光放电清洗 硅化
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直流辉光放电质谱法测定高纯α-Al 2 O 3颗粒中16种杂质元素 被引量:2
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作者 谭秀珍 李江霖 +2 位作者 李瑶 邓育宁 朱刘 《中国无机分析化学》 CAS 北大核心 2023年第7期755-760,共6页
采用高纯Ga作为辅助电极,通过考察取样量、放电参数对基体信号强度、信号稳定性、基体和Ga的信号比值的影响,建立了直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)测定高纯α-Al_(2)O_(3)颗粒中的Li、Be、Na、Mg等16种杂质元素含量的分析方法。当选取3颗2... 采用高纯Ga作为辅助电极,通过考察取样量、放电参数对基体信号强度、信号稳定性、基体和Ga的信号比值的影响,建立了直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)测定高纯α-Al_(2)O_(3)颗粒中的Li、Be、Na、Mg等16种杂质元素含量的分析方法。当选取3颗2 mm左右大小的α-Al_(2)O_(3)颗粒用Ga包裹,在1.6 mA/950 V的放电参数下,基体27 Al信号稳定,强度为3.2×10^(8) cps,Al、Ga的信号比约为1∶270。采用实验方法对α-Al_(2)O_(3)颗粒独立测定5次,相对标准偏差均在30%以内。为了验证Ga对α-Al_(2)O_(3)颗粒测定结果的影响,分别采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)和dc-GDMS法对易于消解的γ-Al_(2)O_(3)粉进行测定。对于dc-GDMS法,选择压在Ga上的γ-Al_(2)O_(3)粉直径约为4~5 mm,在同样的放电参数下,27 Al的信号强度为3.0×10^(9) cps,Al、Ga的信号比约为1∶29。γ-Al_(2)O_(3)粉的GDMS测定结果和ICP-OES基本一致。采用Ga作辅助电极测定α-Al_(2)O_(3)颗粒和γ-Al_(2)O_(3)粉的检出限均可达ng/g。 展开更多
关键词 直流辉光放电质谱仪(dc-GDMS) 高纯Ga 高纯α-Al 2 O 3颗粒 杂质元素
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直流辉光放电质谱法(DC-GDMS)半定量分析高纯氧化镱中30种杂质元素 被引量:1
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作者 罗勉 王贵超 +2 位作者 罗芝雅 石雪峰 张曼宁 《湖南有色金属》 CAS 2023年第3期94-98,共5页
在选定的条件下,采用仪器自带的标准相对灵敏度因子(stdRSF)校正结果,测定了高纯氧化镱中30种杂质元素。结果表明,在没有标准物质的情况下,可实现对高纯氧化镱中30种杂质元素的半定量分析。将该方法与国家标准方法进行比对,相对偏差的... 在选定的条件下,采用仪器自带的标准相对灵敏度因子(stdRSF)校正结果,测定了高纯氧化镱中30种杂质元素。结果表明,在没有标准物质的情况下,可实现对高纯氧化镱中30种杂质元素的半定量分析。将该方法与国家标准方法进行比对,相对偏差的绝对值<30%。 展开更多
关键词 直流辉光放电质谱法(DC-GDMS) 高纯氧化镱 半定量分析 杂质元素
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辉光放电质谱仪校准方法
14
作者 汤云腾 《化学分析计量》 CAS 2023年第1期69-72,共4页
研究了辉光放电质谱仪(GDMS)的校准方法,评定了校准结果不确定度。用纯铜和合金钢标准样品在优化条件下对辉光放电质谱仪的灵敏度、稳定性、分辨率、检出限、示值误差和重复性等计量指标进行校准,验证仪器的可靠性。运用标准曲线方法定... 研究了辉光放电质谱仪(GDMS)的校准方法,评定了校准结果不确定度。用纯铜和合金钢标准样品在优化条件下对辉光放电质谱仪的灵敏度、稳定性、分辨率、检出限、示值误差和重复性等计量指标进行校准,验证仪器的可靠性。运用标准曲线方法定量分析合金钢标准样品中铜、钼、钨3钟元素,计算得铜、钼、钨3钟元素测量值的相对扩展不确定度分别为8%、6%、9%。根据不确定度来源和各不确定度分量结果,可知相对灵敏度因子(F)带来的不确定度显著高于其它不确定度,其对GDMS定量分析的准确性产生较大影响。 展开更多
关键词 计量学 辉光放电质谱仪 校准方法 不确定度
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不同电铸工艺金饰品的金含量测定研究
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作者 金绪广 王金砖 +6 位作者 李倍 卻婉婷 王亮 张帆 张驰 周骏贵 伏荣进 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期2755-2760,共6页
电铸工艺黄金饰品金含量及其杂质元素含量测定主要采用火试金法和电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)法,然而这两种方法对于该类产品金含量的测试结果存在明显差异,尤其是无氰电铸和有氰电铸两种不同工艺制备的黄金饰品。研究了辉光放... 电铸工艺黄金饰品金含量及其杂质元素含量测定主要采用火试金法和电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)法,然而这两种方法对于该类产品金含量的测试结果存在明显差异,尤其是无氰电铸和有氰电铸两种不同工艺制备的黄金饰品。研究了辉光放电质谱(GDMS)技术测定金样品26种杂质元素的含量,显示GDMS仪器相对灵敏度因子(RSF)测试的杂质元素含量总体偏高,其中16种元素的仪器RSF与校正RSF比值为0.96~1.90,铜和铬元素仪器RSF与校正RSF比值差距较大分别是3.01和3.91,能够满足金制品中杂质元素的含量测定。通过对比GDMS法和国家标准火试金法和ICP-AES法对金含量测定结果,发现GDMS法测定无氰电铸金饰品的金含量与火试金法和ICP-AES法测试的金含量结果相当;而对于有氰电铸工艺制备的金饰品,GDMS法测定的金含量结果与火试金法测定结果一致,却明显小于ICP-AES法测试的结果。这表明GDMS法和火试金法适用于不同类型电铸工艺金饰品金含量的准确测定,而ICP-AES法仅适用于无氰工艺电铸金饰品金含量的测定。此外,相比于现行国家标准ICP-AES法,GDMS法能够测试碳和氮元素。研究发现采用GDMS测试有氰电铸工艺金饰品中碳、氮、钠、钾元素的含量明显高于无氰电铸工艺金饰品,进而能够推断黄金饰品的电铸工艺类型是否为有(无)氰工艺。 展开更多
关键词 辉光放电质谱 非金属元素 轻金属 无氰电铸工艺 有氰电铸工艺
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辉光光谱法测定热镀锌钢板界面宽度
16
作者 胡维铸 《鞍钢技术》 CAS 2023年第1期39-41,共3页
开展了利用辉光放电原子发射光谱法测定热镀锌钢板镀层界面宽度的实验研究。结果表明,同一钢种热镀锌钢板镀层因工艺条件相同导致界面宽度基本一致,不同钢种热镀锌钢板镀层因工艺条件不同导致界面宽度各不相同;辉光光谱法测定热镀锌钢... 开展了利用辉光放电原子发射光谱法测定热镀锌钢板镀层界面宽度的实验研究。结果表明,同一钢种热镀锌钢板镀层因工艺条件相同导致界面宽度基本一致,不同钢种热镀锌钢板镀层因工艺条件不同导致界面宽度各不相同;辉光光谱法测定热镀锌钢板界面宽度结果准确。 展开更多
关键词 辉光放电原子发射光谱法 热镀锌钢板 界面宽度
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辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的应用 被引量:32
17
作者 陈刚 葛爱景 +1 位作者 卓尚军 王佩玲 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期107-112,共6页
辉光放电质谱法 (GDMS)作为一种固体样品直接分析技术 ,已广泛应用于金属、半导体等材料的痕量和超痕量杂质分析。近年来 ,随着制样方法和离子源装置的改进 ,GDMS同样也能很好地应用于玻璃、陶瓷、氧化物粉末等非导体材料的成分分析。... 辉光放电质谱法 (GDMS)作为一种固体样品直接分析技术 ,已广泛应用于金属、半导体等材料的痕量和超痕量杂质分析。近年来 ,随着制样方法和离子源装置的改进 ,GDMS同样也能很好地应用于玻璃、陶瓷、氧化物粉末等非导体材料的成分分析。简介了GDMS的基本原理和分析特点 。 展开更多
关键词 辉光放电质谱 无机非金属材料 痕量分析 成分分析
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直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子 被引量:14
18
作者 刘洁 钱荣 +2 位作者 斯琴毕力格 卓尚军 何品刚 《分析化学》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2012年第1期66-71,共6页
采用直流辉光放电质谱(dc-GD-MS)测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子(RSF)。标样制作过程中主要是在连续通入氩气条件下将固定量的非标准多晶硅样品熔化,向硅熔体中均匀掺入浓度范围为1~30μg/g的关键杂质元素(如B和P),采用快... 采用直流辉光放电质谱(dc-GD-MS)测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子(RSF)。标样制作过程中主要是在连续通入氩气条件下将固定量的非标准多晶硅样品熔化,向硅熔体中均匀掺入浓度范围为1~30μg/g的关键杂质元素(如B和P),采用快速固化法制成标样;再将制成的标准样品加工成一系列适合GD-MS扁平池(Flat Cell)的片状样品(20 mm×20 mm×2 mm)。采用二次离子质谱法(SI-MS)对标准样品中关键掺杂元素进行多次定量测定,取平均值作为关键杂质元素的精确含量。优化一系列质谱条件后,运用GD-MS对标样中关键掺杂元素的离子强度进行多次测定,计算平均结果,得到未校正的表观浓度,利用标准曲线法计算出关键杂质元素的相对灵敏度因子。 展开更多
关键词 直流辉光放电质谱 多晶硅 杂质元素 相对灵敏度因子
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辉光放电质谱研究与应用新进展 被引量:14
19
作者 苏永选 孙大海 +1 位作者 王小如 杨原 《分析测试学报》 CAS CSCD 1999年第3期82-87,共6页
简要介绍了辉光放电的基本原理,主要概述了过去4年有关辉光放电质谱研究的新进展,包括辉光放电质谱的基础研究,新装置和新方法的发展,以及辉光放电质谱的分析应用。文中最后展望了辉光放电质谱法的发展前景。
关键词 辉光放电 质谱分析 固体样品 直接测量 表面分析
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辉光放电质谱分析技术的应用进展 被引量:14
20
作者 余兴 李小佳 王海舟 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期28-36,共9页
简单介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理。对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用进行了综述。块状金属和半导体的痕量元素分析为GDMS主要的应用,它们的研究报道众多;对非导体材料的分析扩宽了GDM... 简单介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理。对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用进行了综述。块状金属和半导体的痕量元素分析为GDMS主要的应用,它们的研究报道众多;对非导体材料的分析扩宽了GDMS的应用范围;同时尝试采用GDMS对溶液和气体样品进行分析;GDMS作为一种重要的深度分析方法,相关的应用迅速增加。最后展望了辉光放电质谱的发展趋势。 展开更多
关键词 辉光放电质谱 应用 进展
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