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真空离子镀金靶材成分和性能的研究 被引量：2
1
作者 高科 刘革 常占河 《黄金学报》 2000年第3期170-172,共3页
在纯金中加入了银、铟、镍、钯等几种合金元素制成金合金靶材 ,改善了镀膜色度值和耐磨性等理化指标 ,获得了多种色度 ,色度值达到了 ISO-8654标准 ,提高了镀层的使用寿命 .
关键词 金靶材 成分 性能 真空离子镀
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