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用于倒装芯片的金球凸点制作技术 被引量:4
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作者 吴燕红 杨恒 唐世弋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期926-928,共3页
倒装芯片中凸点用于实现芯片和基板的电路互连,芯片凸点的制作是倒装芯片技术的关键技术之一。对金球凸点制作进行了介绍。金球凸点直接粘附于芯片上,同时又可具有电路互连的作用,可以完成倒装芯片与基板的电气连接。金球凸点的优势是... 倒装芯片中凸点用于实现芯片和基板的电路互连,芯片凸点的制作是倒装芯片技术的关键技术之一。对金球凸点制作进行了介绍。金球凸点直接粘附于芯片上,同时又可具有电路互连的作用,可以完成倒装芯片与基板的电气连接。金球凸点的优势是简单、灵活、便捷、低成本,最大特点是无需凸点下金属层(UBM),可对任意大小的单个芯片进行凸点制作,平整度可达到±4μm。 展开更多
关键词 倒装芯片 金球凸点 引线键合
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IC芯片钉头金凸点的制作技术研究 被引量:3
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作者 何中伟 《电子工艺技术》 2005年第1期13-16,共4页
重点介绍采用金丝球焊机制作IC芯片钉头形金凸点的工艺技术、钉头金凸点的整平方法及金凸点抗剪切强度的评价。
关键词 钉头金凸点 凸点制作 凸点整平 凸点剪切强度
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