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用于倒装芯片的金球凸点制作技术
被引量:
4
1
作者
吴燕红
杨恒
唐世弋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期926-928,共3页
倒装芯片中凸点用于实现芯片和基板的电路互连,芯片凸点的制作是倒装芯片技术的关键技术之一。对金球凸点制作进行了介绍。金球凸点直接粘附于芯片上,同时又可具有电路互连的作用,可以完成倒装芯片与基板的电气连接。金球凸点的优势是...
倒装芯片中凸点用于实现芯片和基板的电路互连,芯片凸点的制作是倒装芯片技术的关键技术之一。对金球凸点制作进行了介绍。金球凸点直接粘附于芯片上,同时又可具有电路互连的作用,可以完成倒装芯片与基板的电气连接。金球凸点的优势是简单、灵活、便捷、低成本,最大特点是无需凸点下金属层(UBM),可对任意大小的单个芯片进行凸点制作,平整度可达到±4μm。
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关键词
倒装芯片
金球凸点
引线键合
下载PDF
职称材料
IC芯片钉头金凸点的制作技术研究
被引量:
3
2
作者
何中伟
《电子工艺技术》
2005年第1期13-16,共4页
重点介绍采用金丝球焊机制作IC芯片钉头形金凸点的工艺技术、钉头金凸点的整平方法及金凸点抗剪切强度的评价。
关键词
钉头金凸点
凸点制作
凸点整平
凸点剪切强度
下载PDF
职称材料
题名
用于倒装芯片的金球凸点制作技术
被引量:
4
1
作者
吴燕红
杨恒
唐世弋
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期926-928,共3页
文摘
倒装芯片中凸点用于实现芯片和基板的电路互连,芯片凸点的制作是倒装芯片技术的关键技术之一。对金球凸点制作进行了介绍。金球凸点直接粘附于芯片上,同时又可具有电路互连的作用,可以完成倒装芯片与基板的电气连接。金球凸点的优势是简单、灵活、便捷、低成本,最大特点是无需凸点下金属层(UBM),可对任意大小的单个芯片进行凸点制作,平整度可达到±4μm。
关键词
倒装芯片
金球凸点
引线键合
Keywords
flip chip
gold stud bump
wire bonding
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
IC芯片钉头金凸点的制作技术研究
被引量:
3
2
作者
何中伟
机构
华东光电集成器件研究所
出处
《电子工艺技术》
2005年第1期13-16,共4页
文摘
重点介绍采用金丝球焊机制作IC芯片钉头形金凸点的工艺技术、钉头金凸点的整平方法及金凸点抗剪切强度的评价。
关键词
钉头金凸点
凸点制作
凸点整平
凸点剪切强度
Keywords
gold stud bump
stud
bump
making
bump
flattening
bump
shear strength
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于倒装芯片的金球凸点制作技术
吴燕红
杨恒
唐世弋
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
4
下载PDF
职称材料
2
IC芯片钉头金凸点的制作技术研究
何中伟
《电子工艺技术》
2005
3
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职称材料
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