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ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
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作者 袁慧珠 李德爱 +1 位作者 孙家全 王纪春 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第12期11-12,27,共3页
】ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词 开槽 半导体 自动砂轮划片机 砂轮划片机
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