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ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
1
作者
袁慧珠
李德爱
+1 位作者
孙家全
王纪春
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第12期11-12,27,共3页
】ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词
开槽
半导体
自动砂轮划片机
砂轮划片机
下载PDF
职称材料
题名
ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
1
作者
袁慧珠
李德爱
孙家全
王纪春
机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第12期11-12,27,共3页
文摘
】ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想、设计方案、主要技术关键、主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。
关键词
开槽
半导体
自动砂轮划片机
砂轮划片机
Keywords
grinding wheel
,
scriber
,
stepping
,
groowing
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
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1
ZSH-Ⅲ 型自动砂轮划片机
袁慧珠
李德爱
孙家全
王纪春
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
0
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