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铌酸锂波导质子交换温度控制及折射率分布研究
被引量:
1
1
作者
宋凝芳
戴念
+1 位作者
宋镜明
刘嘉琪
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019年第5期655-660,共6页
针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法,建立了质子交换温控模型,并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析,在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H+浓度纵向分布的影响。采用预热-反应方法制作了波...
针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法,建立了质子交换温控模型,并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析,在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H+浓度纵向分布的影响。采用预热-反应方法制作了波导样本,实验测试了其折射率纵向分布,并与传统工艺制作的波导样本测试结果进行对比,验证了所提方法对质子交换精确控制的有效性。实验表明:预热-反应方法折射率分布同理论计算折射率分布结果吻合更好。
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关键词
铌酸锂波导
PID温度控制
质子交换
h
+
浓度
纵向
分布
折射率
纵向
分布
下载PDF
职称材料
题名
铌酸锂波导质子交换温度控制及折射率分布研究
被引量:
1
1
作者
宋凝芳
戴念
宋镜明
刘嘉琪
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019年第5期655-660,共6页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ040877)
文摘
针对铌酸锂波导质子交换的精确控制提出了一种预热-反应方法,建立了质子交换温控模型,并对该模型进行了PID控制参数整定和温度波动误差分析,在此基础上研究了质子交换过程中温度波动对H+浓度纵向分布的影响。采用预热-反应方法制作了波导样本,实验测试了其折射率纵向分布,并与传统工艺制作的波导样本测试结果进行对比,验证了所提方法对质子交换精确控制的有效性。实验表明:预热-反应方法折射率分布同理论计算折射率分布结果吻合更好。
关键词
铌酸锂波导
PID温度控制
质子交换
h
+
浓度
纵向
分布
折射率
纵向
分布
Keywords
lit
h
ium niobate waveguides
PID temperature control
proton exc
h
ange
longitudinal distribution of
h
+concentration
longitudinal distribution of refractive index
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铌酸锂波导质子交换温度控制及折射率分布研究
宋凝芳
戴念
宋镜明
刘嘉琪
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019
1
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