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复合型金属孔周期阵列的THz透射特性 被引量:2
1
作者 熊伟 姚军 +3 位作者 李伟 张铁军 沈京玲 李宾宾 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期32-35,共4页
利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属... 利用微细加工技术,制作出金属矩形孔阵列,从实验和理论上研究了金属矩形孔阵在THz波段的透射极大值和极小值产生的规律.并利用透射极大值频率随矩形孔长度增大而向低频移动的特性,在同一层金属上,利用不同尺寸的金属孔结构形成复合金属孔阵列,设计出中心频率可调节、频率拓宽的频率选择器件和频率拓宽器件.此研究为太赫兹滤波器等无源器件提供了新的设计思路和加工方法,对太赫兹波技术的发展具有重要意义. 展开更多
关键词 金属阵列 THZ 滤波 复合周期结构
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二维金属亚波长孔阵列的强透射特性研究进展 被引量:5
2
作者 肖功利 姚翔 +3 位作者 纪新明 周嘉 包宗明 黄宜平 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期161-167,共7页
光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、... 光通过二维金属亚波长孔(孔的直径不超过入射光波长的一半)阵列(TDMSHA)时,由于入射光与金属表面自由电子的电荷密度波发生共振耦合作用,会在特定的波长内表现出窄带透射增强。TDMSHA对光具有的透射增强与滤波特性在纳米光学、光电子、化学传感和生物物理上都有着十分重要的潜在应用。文中回顾了该特性的研究历史,详细地阐述了其发生的物理机理,对近十年来该特性在机理、材料、结构等方面的研究进展作了总结,对其前沿研究热点和应用前景分别进行了分析与展望。 展开更多
关键词 表面光学 强透射 滤波 金属亚波长孔阵列 表面等离子体
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采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板 被引量:6
3
作者 胡洋洋 朱荻 李寒松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1793-1800,共8页
针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60m... 针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60min,曝光3000mJ/cm2,显影2min等)利用光刻制作了高度为50μm、直径为50μm的AZEXP125nXT-10A光刻胶群柱结构,以此胶膜结构作为模具进行了过电铸工艺实验,并与仿真结果进行对比,结果证明了有限元仿真的正确性。最后,通过过电铸缩孔2h获得了厚度达70μm,孔径为4μm的微细阵列网板结构。实验表明,过电铸工艺是一种低廉、安全、可批量生产的制作超小阵列网板的方法。 展开更多
关键词 光刻 AZ胶 金属微细阵列网板 过电铸
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基于金属孔阵列的聚酰亚胺薄膜太赫兹探测 被引量:2
4
作者 董凯 赖伟恩 +2 位作者 孙丹丹 文岐业 张怀武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1479-1482,共4页
优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构,结合超薄低折射率的聚酰亚胺(PI)薄膜,探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性。利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构,利用太赫兹时域... 优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构,结合超薄低折射率的聚酰亚胺(PI)薄膜,探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性。利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构,利用太赫兹时域光谱技术测试了阵列结构的反射波谱,获得了强烈的反射共振现象。然后在亚波长金属孔阵列结构背面叠加PI薄膜,结果表明太赫兹反射峰出现了显著低频移动现象。利用这一现象,实现了低至10μm的PI薄膜的有效探测,说明亚波长金属孔阵列结构在太赫兹传感领域对检测超薄低折射率薄膜材料有极强敏感性。 展开更多
关键词 太赫兹 金属孔阵列 超薄聚酰亚胺薄膜 低折射率
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基于FDTD亚波长金属孔径滤波器仿真分析 被引量:1
5
作者 范拓 张洁 陈俞霖 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期702-705,710,共5页
通过建立三维金属孔径模型,采用三维时域有限差分法(FDTD),对300~900nm波段内不同特征参数下的亚波长周期性金属孔径膜的透过率情况进行了仿真分析;运用FDTD solution软件得到了金属膜孔径、周期、厚度及孔径填充介质等参数影响下亚波... 通过建立三维金属孔径模型,采用三维时域有限差分法(FDTD),对300~900nm波段内不同特征参数下的亚波长周期性金属孔径膜的透过率情况进行了仿真分析;运用FDTD solution软件得到了金属膜孔径、周期、厚度及孔径填充介质等参数影响下亚波长周期性金属孔径膜的波长与透过率对应曲线。结果表明,亚波长周期性金属孔径的透射系数随着孔径的增大而增大;随着孔径阵列周期的变大而减小;在金属前、后介质匹配时透射最强,这为制作光学滤波器奠定了基础。 展开更多
关键词 亚波长金属孔径 三维时域有限差分法(FDTD) 光学滤波器
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内置金属/电介质同心圆柱的金属孔阵列结构强透射特性
6
作者 肖功利 郑龙 +3 位作者 王宏庆 杨宏艳 韦力丹 岳宏卫 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第6期779-783,795,共6页
采用有限时域差分(FDTD)法研究了内置金属/电介质同心圆柱结构的材料属性、半径及其相对高度对金属孔阵列强透射特性的影响。发现该结构与内置单一金属、单一电介质和电介质/金属三种不同的同心圆柱结构相比较,光的透射性能得到显著的增... 采用有限时域差分(FDTD)法研究了内置金属/电介质同心圆柱结构的材料属性、半径及其相对高度对金属孔阵列强透射特性的影响。发现该结构与内置单一金属、单一电介质和电介质/金属三种不同的同心圆柱结构相比较,光的透射性能得到显著的增强;这种内置金属/电介质同心圆柱结构具有进一步增强表面等离激元与局域表面等离激元共振耦合作用。结果表明,金属、电介质的材料属性对强透射特性影响明显,当金属圆柱为Au、电介质圆柱折射率较小时,其透射性能较好;圆柱半径是影响透射率与共振峰位置的主要因素,半径越大,共振峰红移越明显,但其透射率先增大而后持续减小。同时,金属/电介质圆柱的相对高度也影响透射率大小,当金属圆柱高度为60nm时,其透射性能较好。 展开更多
关键词 表面光学 金属孔阵列 金属/电介质同心圆柱 时域有限差分法 强透射特性
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基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
7
作者 姚翔 肖功利 +3 位作者 纪新明 周嘉 包宗明 黄宜平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1550-1554,共5页
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M... 以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。 展开更多
关键词 表面等离子体共振效应 二维金属亚波长孔阵列结构 SU-8膜的厚度 透射增强特性
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源漏区域孔阵列挖槽对氮化镓n型欧姆接触的影响
8
作者 黄念宁 韩克锋 +1 位作者 蔡立康 王彦硕 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第3期201-203,215,共4页
采用源漏区域孔阵列挖槽的方法降低氮化镓n型欧姆接触的合金温度,并改善合金后金属形貌。相对于非源漏区域孔阵列挖槽的氮化镓n型欧姆接触合金,合金温度可降低40℃,合金后源漏金属形貌尤其是金属侧边形貌显著改善,这对于提高相关器件及... 采用源漏区域孔阵列挖槽的方法降低氮化镓n型欧姆接触的合金温度,并改善合金后金属形貌。相对于非源漏区域孔阵列挖槽的氮化镓n型欧姆接触合金,合金温度可降低40℃,合金后源漏金属形貌尤其是金属侧边形貌显著改善,这对于提高相关器件及电路性能、成品率及可靠性很有好处。 展开更多
关键词 孔阵列挖槽 接触电阻 合金温度 金属形貌
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钣金零件孔特征的提取及其PLC控制模型 被引量:1
9
作者 谭智 宋福林 何文学 《机械工程师》 2019年第9期82-84,共3页
以立柱零件为例,对该零件的各种孔加工特征进行分类提取,并将各类孔在零件中的位置以数组变量来表示,然后编程,由PLC程序控制冲孔模具对钣金类零件进行冲孔加工并保证孔的位置,可方便实现对不同种类的立柱零件的加工,简化了生产线的操作... 以立柱零件为例,对该零件的各种孔加工特征进行分类提取,并将各类孔在零件中的位置以数组变量来表示,然后编程,由PLC程序控制冲孔模具对钣金类零件进行冲孔加工并保证孔的位置,可方便实现对不同种类的立柱零件的加工,简化了生产线的操作,扩大了生产线的加工范围。 展开更多
关键词 钣金零件 自动化生产线 PLC控制 冲孔模具 孔加工特征 数组变量
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H型金属孔阵列结构强透射折射率传感特性研究
10
作者 肖功利 刘小刚 +7 位作者 杨宏艳 蒋行国 韦清臣 徐俊林 刘利 李海鸥 陈永和 李琦 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第1期71-76,共6页
提出了一种H型金属孔阵列结构,利用该结构形成的法布里-珀罗腔加强表面等离激元耦合作用,以期获得较好的强透射现象。采用有限时域差分法(FDTD)对该结构进行数值仿真,并详细研究了H型金属孔阵列中水平方向矩形孔和竖直方向的两相同对称... 提出了一种H型金属孔阵列结构,利用该结构形成的法布里-珀罗腔加强表面等离激元耦合作用,以期获得较好的强透射现象。采用有限时域差分法(FDTD)对该结构进行数值仿真,并详细研究了H型金属孔阵列中水平方向矩形孔和竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽等参数对强透射特性的影响;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。结果表明:当水平方向矩形孔的长和宽分别为300和120nm、竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽分别为60和10nm时,强透射现象较好,并在此基础上获得了389RIU/nm的折射率灵敏度。这些研究结果有望为高性能微纳等离子体传感器的设计提供理论参考。 展开更多
关键词 H型金属孔阵列 强透射现象 法布里-珀罗腔 表面等离子激元 传感特性
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基于亚波长金属孔阵列的光控太赫兹强度调制器(英文) 被引量:4
11
作者 李晨龙 冯丽爽 +2 位作者 周震 隋佳伟 殷博昊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期4013-4016,共4页
太赫兹波强度调制器对太赫兹技术的发展至关重要。亚波长金属孔阵列可以激发表面等离子激元,增加入射电磁波的透射效率,极大地提高调制器的调制深度。提出了一种基于表面等离子激元的光控太赫兹波强度调制器。首先给出了器件所依赖的基... 太赫兹波强度调制器对太赫兹技术的发展至关重要。亚波长金属孔阵列可以激发表面等离子激元,增加入射电磁波的透射效率,极大地提高调制器的调制深度。提出了一种基于表面等离子激元的光控太赫兹波强度调制器。首先给出了器件所依赖的基本原理;其次利用传统的微纳加工技术在半绝缘砷化镓衬底上制作出二维亚波长金属孔阵列;最后搭建了太赫兹时域光谱系统,测试了器件样品对太赫兹波的透过率。结果表明:亚波长金属孔阵列可以引起透射率的异常增强,且透射率随着泵浦光强的增大而减小,在特定频率点实现了较高的调制深度。此研究为实现高调制深度的太赫兹波强度调制器提供了参考。 展开更多
关键词 太赫兹波强度调制器 亚波长金属孔阵列 表面等离子激元
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频率选择表面结构的电子系统K/Ka波段电磁屏蔽分析 被引量:3
12
作者 沈宁 闫丽萍 +1 位作者 谷智渊 赵翔 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期67-73,共7页
电子设备和无线技术不断向K/Ka波段发展以及电子系统集成度的不断提高给电子系统的电磁屏蔽设计带来了严峻挑战。提出一种将频率选择表面(FSS)用于电子系统屏蔽的新方法,可以替代传统散热孔阵,在满足通风散热性能的同时确保电子系统在5... 电子设备和无线技术不断向K/Ka波段发展以及电子系统集成度的不断提高给电子系统的电磁屏蔽设计带来了严峻挑战。提出一种将频率选择表面(FSS)用于电子系统屏蔽的新方法,可以替代传统散热孔阵,在满足通风散热性能的同时确保电子系统在5G毫米波段的电磁屏蔽性能。基于金属腔中心点屏蔽效能和全局屏蔽效能,分析了FSS孔阵排布方式、电磁波极化与入射角度对金属外壳电磁屏蔽效能(SE)的影响。结果表明:FSS孔阵排布方式对金属腔屏蔽性能的影响较小,并且SE不受入射电磁波极化方式影响;含FSS通风孔阵的金属外壳在23.0~25.5 GHz范围内屏蔽效能约为30 dB,比含传统散热孔阵金属腔屏蔽效能提高15 dB。 展开更多
关键词 金属腔 5G毫米波 频率选择表面 通风孔阵 屏蔽效能
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Mode splitting transmission effect of surface wave excitation through a metal hole array 被引量:8
13
作者 Lin Chen Yiming Zhu +4 位作者 Xiaofei Zang Bin Cai Zhou Li Le Xie Songlin Zhuang 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS 2013年第1期192-196,共5页
The resonant frequencies of the excited surface waves on a metal hole array with respect to the incident angle were studied in the terahertz region.The experimental and theoretical results demonstrate that the resonan... The resonant frequencies of the excited surface waves on a metal hole array with respect to the incident angle were studied in the terahertz region.The experimental and theoretical results demonstrate that the resonant peak of surface wave excitation splits into two when transmitted through a metal hole array off-normally.The high-order mode with resonant frequency above the cutoff frequency fc(plasma frequency effect)has a shorter attenuation length than that of the low-order mode whose resonant frequency is below fc.The reason is that the high-order mode is a coupled mode consisting of surface wave and hole modes,while the low-order mode is just an excited surface wave(which can be considered as the spoof surface plasmons).Our investigation may open a door to distinguish the spoof surface plasmons and the coupled modes of surface waves and hole modes. 展开更多
关键词 angular dependence cutoff frequency metal hole arrays surface waves TERAHERTZ
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周期性亚波长金属孔阵列的单元结构对称性对其增强光透射特性的影响
14
作者 袁志 刘辉 +3 位作者 陈志勇 朱卫华 郭玮 王新林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期62-70,共9页
采用三维时域有限差分方法,对比研究了石英基底上周期性亚波长圆形、纽扣形、半圆形和太极形四种具有不同对称性的孔阵列微结构金属膜的增强光透射特性,并分别探讨了阵列周期、小孔尺寸对这四种阵列结构透射特性的影响.结果表明增强光... 采用三维时域有限差分方法,对比研究了石英基底上周期性亚波长圆形、纽扣形、半圆形和太极形四种具有不同对称性的孔阵列微结构金属膜的增强光透射特性,并分别探讨了阵列周期、小孔尺寸对这四种阵列结构透射特性的影响.结果表明增强光透射特性对单元结构对称性具有很强的依赖性:在超短高斯光脉冲激励下,随着单元结构对称性的降低,归一化透过率逐渐增大,红外波段的透射峰发生大量红移,且其与可见光波段的透射峰之间的距离逐渐增大,在对称性破缺的太极形孔阵列中两峰间距最大,可达1 300nm左右.表面等离激元模式与局域表面等离子体共振模式在增强光透射现象中起着重要的作用.在可见光波段,表面等离激元模式是这四种阵列结构的光透射增强的主导性因素;在红外波段,局域表面等离子体共振模式对单元结构对称性较差孔阵列结构的增强光透射特性有着显著影响. 展开更多
关键词 亚波长金属孔阵列 增强光透射 时域有限差分 单元结构对称性 表面等离激元
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金属孔阵Ku波段透波增强特性研究
15
作者 刘义 李民权 陈静 《电子器件》 CAS 2011年第6期649-652,共4页
用高稳定的辛时域有限差分算法(SFDTD)对金属周期孔阵在Ku波段的透波增强特性进行了研究。数值计算了金属板厚度、孔的大小、孔中填充不同折射率的介质和孔阵的周期等物理参数对孔阵透射系数的影响。得出的研究结果表明:金属周期孔阵在K... 用高稳定的辛时域有限差分算法(SFDTD)对金属周期孔阵在Ku波段的透波增强特性进行了研究。数值计算了金属板厚度、孔的大小、孔中填充不同折射率的介质和孔阵的周期等物理参数对孔阵透射系数的影响。得出的研究结果表明:金属周期孔阵在Ku波段的透射系数随孔的增大而增大,随孔阵周期的增大而减小,填充高折射率的介质有利于其透射。 展开更多
关键词 透波增强 数值计算 辛时域有限差分 金属孔阵列
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金属孔阵列电极板间大气压等离子体的微波传输特性
16
作者 褚佳琪 徐金洲 朱芸桢 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第2期113-118,124,共7页
为探究微波反射法用于诊断射频大气压辉光放电等离子体核心区的可行性,使用COMSOL软件仿真模拟微波通过金属孔阵列结构及存在等离子体的金属孔阵列电极结构的传输特性,分别研究结构参数和等离子体密度对微波传输的影响。结果表明:在57~6... 为探究微波反射法用于诊断射频大气压辉光放电等离子体核心区的可行性,使用COMSOL软件仿真模拟微波通过金属孔阵列结构及存在等离子体的金属孔阵列电极结构的传输特性,分别研究结构参数和等离子体密度对微波传输的影响。结果表明:在57~61 GHz反射频谱中存在两种具有相反特性的表面等离激元共振模式;改变电极的结构尺寸会导致共振频率的漂移;低频模式的反射随等离子体密度的增加而增大,高频模式的反射则表现出相反的响应,尤其在等离子体密度10^(17)~10^(19) m^(-3)内变化明显。因此,应用高频模式的微波传输特性诊断核心区等离子体具有一定的可行性。 展开更多
关键词 微波传输 大气压等离子体 金属孔阵列 表面等离激元共振 诊断
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多用气压打孔器的创新设计
17
作者 胡江平 《时代农机》 2015年第12期30-31,共2页
金属加工领域中,现有的打孔器在加工高硬度小尺寸的胚件时,冲孔的边角容易卷边,并且仅是模刀可拆卸,而连接柱头不能拆卸,加工不便利。为解决现打孔器所存在的缺陷,创新设计了一种多用气压打孔器。新型打孔器采用可更换的连接柱头和液压... 金属加工领域中,现有的打孔器在加工高硬度小尺寸的胚件时,冲孔的边角容易卷边,并且仅是模刀可拆卸,而连接柱头不能拆卸,加工不便利。为解决现打孔器所存在的缺陷,创新设计了一种多用气压打孔器。新型打孔器采用可更换的连接柱头和液压接嘴阵列,可以把毛刺控制在材料厚度的1%~3%内,提高生产效率。 展开更多
关键词 打孔器 金属加工 接嘴阵列
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飞秒激光制备阵列孔金属微滤膜 被引量:11
18
作者 杨洗陈 汪刚 +1 位作者 赵友博 王明伟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1155-1158,共4页
选用不锈钢、铜和铝三种金属薄膜作为实验材料,厚度10~50μm。对不锈钢、铜和铝三种金属薄膜进行飞秒激光加工,研究了所形成的微纳米孔直径与飞秒激光加工参数的关系。结果表明,飞秒激光加工的微孔直径随单脉冲能量和脉冲数的平方根的... 选用不锈钢、铜和铝三种金属薄膜作为实验材料,厚度10~50μm。对不锈钢、铜和铝三种金属薄膜进行飞秒激光加工,研究了所形成的微纳米孔直径与飞秒激光加工参数的关系。结果表明,飞秒激光加工的微孔直径随单脉冲能量和脉冲数的平方根的增大而增大。不锈钢薄膜适于飞秒激光制作金属微孔膜,在25μm厚的不锈钢薄膜上制备了大面积阵列微孔,孔直径为2.5~10μm,孔间距为10~50μm。与传统烧结金属微孔过滤膜比较,飞秒激光制备阵列微孔金属膜具有膜孔尺寸均匀一致、直通孔形、膜孔尺寸和间距可控等特点,可获得较高的孔隙率,有利于提高透过水通量。 展开更多
关键词 激光技术 微纳加工 飞秒 金属膜 阵列孔
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基于金属圆弧孔阵列强透射的折射率传感特性 被引量:7
19
作者 肖功利 刘小刚 +9 位作者 杨宏艳 蒋行国 王宏庆 郑龙 刘利 李海鸥 李琦 张法碧 傅涛 陈永和 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期335-341,共7页
提出了一种由左右、上下对称的一大一小圆弧组成的金属圆弧孔阵列结构。利用该结构形成的法布里-珀罗腔来加强表面等离激元的耦合作用,以获得较好的强透射现象;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。采用有限时域差分法研究了该孔阵... 提出了一种由左右、上下对称的一大一小圆弧组成的金属圆弧孔阵列结构。利用该结构形成的法布里-珀罗腔来加强表面等离激元的耦合作用,以获得较好的强透射现象;同时研究了基于该现象的折射率传感特性。采用有限时域差分法研究了该孔阵列结构中大小圆弧孔的半径、两圆弧的圆心距和阵列周期对强透射现象的影响。研究发现,当大圆弧半径为95nm、小圆弧半径为70nm、两圆弧的圆心距为100nm、周期为425nm时,该结构具有较好的强透射现象,其灵敏度为279nm/RIU,为下一代高性能微纳米等离子体传感器的设计提供了理论参考。 展开更多
关键词 表面光学 折射率传感特性 有限时域差分法 金属圆弧孔阵列 强透射 法布里-珀罗腔 表面等离激元
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等离子体MEMS红外光源研究进展 被引量:1
20
作者 肖功利 姚翔 +3 位作者 纪新明 周嘉 包宗明 黄宜平 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2009年第12期38-45,共8页
利用金属/电介质光子晶体(MDPC)对黑体热辐射光谱有增强透射和滤波的剪裁特性,制成能够发射出高性能、可调谐窄带相干光的等离子体微机电系统(MEMS)红外光源。其工作波长可选择性、工艺简单、成本低和MEMS化等优点使其在生物、医学和军... 利用金属/电介质光子晶体(MDPC)对黑体热辐射光谱有增强透射和滤波的剪裁特性,制成能够发射出高性能、可调谐窄带相干光的等离子体微机电系统(MEMS)红外光源。其工作波长可选择性、工艺简单、成本低和MEMS化等优点使其在生物、医学和军事等领域得到广泛的应用。对该器件的结构与材料选择、工作机理、工艺流程及性能表征和研究进展进行了详细的综述,对其在微型非色散红外(NDIR)气体传感系统中的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学器件 金属/电介质光子晶体 二维金属亚波长孔阵列 表面等离子体 黑体辐射
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