H_2C_2O_4稳定剂对Sol-Gel法制备LiNbO_3薄膜的影响

研究了分别以H2 C2 O4 、HNO3、HCOOH和CH3COOH作稳定剂的LiNbO3薄膜先驱液的稳定性 ,发现H2 C2 O4 作稳定剂的先驱液的稳定性最好 ;用sol gel法在Si(110 )基板上制备了以H2 C2 O4 作稳定剂的LiNbO3薄膜 ,并对LiNbO3薄膜进行了IR、XRD和SEM表征 ,结果表明 ,生成的LiNbO3为多晶 ,与HNO3相比 ,以H2 C2 O4 作稳定剂制备的LiNbO3薄膜形貌较差。