CVD方法制备ZnSe系统中尾气的处理

CVDZnSe是目前光学性能最好的红外光学材料之一。但在制备CVDZnSe时,尾气中未反应完全的剧毒硒化氢气体,对操作人员及环境的危害很大。采用逆流填料塔来吸收CVD方法制备ZnSe系统中的剧毒尾气硒化氢。为加快传质速率,提高吸收率,选用NaOH溶液作吸收液;利用H2Se气体与此溶液反应,降低气体在水溶液中的浓度,加大传质推动力;选择了具有高效分离因子的填料以减小塔身的高度和直径。并且对循环吸收液进行氧化,双重过滤等处理。最后用型号为TX-FMD的H2Se检测仪测量处理后的尾气中H2Se气体的含量,达到排放要求。