电子探针参数设置对钢板表面富集元素表征的影响

以HC300W热成型钢为研究对象,摸索了电子束流、加速电压和束斑尺寸等电子探针分析参数对钢板表面富集元素表征的影响,并考察了不同露点下试样表面元素的分布情况和变化趋势。结果表明:随着电子束流从50 nA、100 nA增大到200 nA时,电子探针所表征的钢板表面平均颗粒尺寸从3.66μm、5.72μm增大到7.91μm;当加速电压由15 kV增大到20 kV时,平均颗粒尺寸约减小0.7μm;分析条件推荐采用加速电压20 kV、束流50 nA、束斑尺寸为"min",可实现冷轧钢板表面富集元素的电子探针定性定量优化表征。随着露点温度从-60℃、-30℃提高至0℃,HC300W钢表面锰氧化物的面积占比从6.1%、10.5%提高到19.7%,氧化物的数量逐渐增加,Mn元素的表面富集程度逐渐增大。