有埋层图形外延片表面HCI腐蚀量的控制

本文经大量实验和多年工作实践，得到了做有理层图形外延片HCl腐蚀的浓度，HCl腐蚀量的数据。对不同理层图形外延片HCl腐蚀的一些规律现象进行理论分析。最后文章也阐述了有理层图形外延片表面HCl腐蚀不利一面。

聚四氟乙烯在烃化器上的应用

应用四氟衬里技术,成功地解决AlCl3液相法制乙苯存在的HCl对烃化器的腐蚀。