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超精密车床激光测量误差补偿系统的研制 被引量：6
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作者 汪建新 张国雄 +2 位作者 董申 刘晋春 李国伟 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第1期65-68,共4页
详细分析了激光测量系统测量误差产生的原因，并提出了补偿测量误差的方法，进而建立了ＨＣＭ－Ⅰ型超精密车床激光测量误差补偿系统．系统分辨率为０．０１μｍ．
关键词 超精密车床 激光测量 误差补偿系统 hcm-i型
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