一种高精度大量程气压控制方法在Mems芯片标定中应用

本文阐述了一种压力控制装置、主要作用是控制待测容器的气压值。气压控制器在压力传感器生产过程中,需要将未校准的传感器放置在一个密闭高压容器中,设定已知的压力值,通过计算得出校准系数,并写入传感器参数表中,以得到一个校准好的压力传感器,完成全自动传感器标定。