钝化工艺对HEDP镀铜层耐蚀性的影响

采用盐水浸泡试验、硝酸点滴试验以及电化学测试方法,研究了苯并三氮唑、苯并三氮唑与Cr(Ⅲ)复配、苯并三氮唑与铈盐复配、Cr(Ⅵ)以及HAD无铬钝化工艺对HEDP镀铜层耐蚀性的影响。结果表明,经苯并三氮唑复配钝化液钝化处理后,钝化膜耐蚀性较单一的苯并三氮唑钝化稍有提高,但均不及Cr(Ⅵ)钝化处理,而经HAD无铬钝化处理后,钝化膜耐硝酸点滴时间最长,在3.5%Na Cl溶液中的Rct最大,icorr最小,耐蚀性明显优于Cr(Ⅵ)钝化处理。