离子束刻蚀高基频石英谐振器的研究与应用

本文介绍了离子束刻蚀设备的性能及最佳工作参数的选择,石英谐振器设计,频率调整和封装形式,以及等效参数测量,振动冲击试验和储存老化试验。最后介绍了高基频石英谐振器在低噪声微波振荡器、调频振荡器和宽带滤波器中的应用,取得了满意的结果。