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双偏压辅助HF-PECVD沉积纳米金刚石薄膜工艺参数的AFM分析
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作者 唐元洪 张恩磊 +3 位作者 谭艳 林良武 张勇 郭池 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第18期1-4,共4页
采用双偏压辅助热丝-等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜。采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形貌、粗糙度、内部结构等的影响。结果表明,热丝温度降低,所形成薄膜的晶粒尺寸变大,薄膜表面高低起伏较大... 采用双偏压辅助热丝-等离子增强化学沉积系统制备了纳米金刚石薄膜。采用AFM、SEM、Raman等考察了不同工艺条件对纳米金刚石薄膜形貌、粗糙度、内部结构等的影响。结果表明,热丝温度降低,所形成薄膜的晶粒尺寸变大,薄膜表面高低起伏较大,粗糙度也随之增大;随着射频输出功率的增大,等离子体轰击基底的能力增强,但过大的功率会使构成薄膜的晶粒变大;随着偏压的不断增大,氢离子体对薄膜表面的刻蚀程度逐渐增大,从而有利于形成纳米金刚石薄膜。 展开更多
关键词 纳米金刚石薄膜 双偏压 热丝-等离子化学气相沉积 原子力显微镜
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氮化硼光电薄膜材料的制备及其性能研究 被引量:5
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作者 祁英昆 张溪文 +6 位作者 郝天亮 董博 沈鸽 杜丕一 翁文剑 赵高凌 韩高荣 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第4期510-512,540,共3页
本文通过热丝辅助等离子体增强化学气相沉积法 (HF PECVD)在单晶硅片和石英片衬底上分别成功生长了氮化硼薄膜材料。用X射线衍射 (XRD和傅立叶变换红外光谱 (FTIR)分析了薄膜样品的结构和组成 ,用扫描电镜 (SEM)观察了薄膜样品的表面形... 本文通过热丝辅助等离子体增强化学气相沉积法 (HF PECVD)在单晶硅片和石英片衬底上分别成功生长了氮化硼薄膜材料。用X射线衍射 (XRD和傅立叶变换红外光谱 (FTIR)分析了薄膜样品的结构和组成 ,用扫描电镜 (SEM)观察了薄膜样品的表面形态 ,用紫外—可见光分光光度计 (UV)研究了薄膜样品的紫外吸收特征 ,并确认薄膜样品的光学能隙。此外 。 展开更多
关键词 光电薄膜材料 制备 性能 氮化硼 热丝辅助等离子体增强化学气相沉积 紫外吸收 衬底预处理 半导体材料
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适用于晶体硅太阳能电池的HF/LF-PECVD SiNx:H薄膜的特性研究
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作者 李振华 《枣庄学院学报》 2013年第2期71-75,共5页
介绍了使用HF/LF-PECVD方法制备适用于晶体硅太阳能电池的SiNx:H薄膜.在温度、压强、射频功率和板极间距固定的条件下,通过改变气体流量,制备不同特性的薄膜,并测量薄膜的厚度均匀性、薄膜的折射率和基底的少数载流子寿命的变化,从这三... 介绍了使用HF/LF-PECVD方法制备适用于晶体硅太阳能电池的SiNx:H薄膜.在温度、压强、射频功率和板极间距固定的条件下,通过改变气体流量,制备不同特性的薄膜,并测量薄膜的厚度均匀性、薄膜的折射率和基底的少数载流子寿命的变化,从这三个方面对SiNx:H薄膜的特性进行研究. 展开更多
关键词 晶体硅太阳能电池 HF LF—PECVD 厚度均匀性 折射率 少数载流子寿命
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BN薄膜的制备及BP_xN_(1-X)薄膜的紫外光敏特性
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作者 祁英昆 张溪文 +1 位作者 徐世友 韩高荣 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第3期253-256,共4页
采用热丝和射频等离子体辅助化学气相沉积方法(HF-PECVD),以单晶硅为衬底在低温(<500℃)条件下沉积氮化硼(BN)薄膜材料。通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)及扫描电镜(SEM)对薄膜样品的组成和结构进行了分析,探讨了温度... 采用热丝和射频等离子体辅助化学气相沉积方法(HF-PECVD),以单晶硅为衬底在低温(<500℃)条件下沉积氮化硼(BN)薄膜材料。通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)及扫描电镜(SEM)对薄膜样品的组成和结构进行了分析,探讨了温度和等离子体对沉积BN薄膜的影响。此外,用紫外-可见光分光光度计(UV)测试了石英衬底上生长磷掺杂氮化硼(BPXN1-X)薄膜样品的紫外吸收特征,分析了磷掺杂对BN光学能隙的调节作用以及BPXN1-X薄膜在紫外空间探测领域的应用前景。结果表明,以单晶硅和光学石英玻璃为衬底在低温条件下用HF-PECVD方法可以沉积较高质量的BN薄膜,BN的光学能隙宽度通过磷的掺杂可以得到连续调节,在紫外空间光探测领域具有很大的应用潜力。 展开更多
关键词 BN薄膜 hf-pecvd 氮化硼 低温制备 掺杂 紫外光探测 FTIR XRD SEM
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