静态千级车间洁净室气流组织数值模拟

随着电子芯片行业的高速发展,生产车间洁净室的气流组织优劣得到了广泛的关注,良好的气流组织可以提高产品的质量与成品率。对青岛市某洁净等级为ISO 6级的厂房洁净室气流组织进行了数值模拟,得到了厂房内的温度分布、气流分布及空气龄状况。结果表明该厂房洁净室内气流组织状况良好,温度分布较为均匀,人员工作区的通风换气状况满足需求,数值模拟结果可为单向流洁净室结果分析提供一定的参考。