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多电极静电拉伸薄膜反射镜的光学检测
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作者 钟兴 金光 +1 位作者 张鹏 张元 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期282-286,共5页
利用研制的Φ300 mm口径多电极薄膜反射镜原理样机,开展了光学检测实验工作。利用高斯光学原理对薄膜反射镜的基本光学参数进行了检测,获得了随电压变化的薄膜反射镜曲率半径和最大变形值曲线,趋势与理论计算结果一致。对薄膜反射镜的... 利用研制的Φ300 mm口径多电极薄膜反射镜原理样机,开展了光学检测实验工作。利用高斯光学原理对薄膜反射镜的基本光学参数进行了检测,获得了随电压变化的薄膜反射镜曲率半径和最大变形值曲线,趋势与理论计算结果一致。对薄膜反射镜的面形特性和面形检测方法进行了分析,采用激光干涉仪测试了无电压时中心区域的平面面形,RMS值为1.03λ(λ=632.8nm)。为检验薄膜反射镜的曲面面形,搭建了Hartmann光栏法测试光路并结合Zernike多项式拟合处理方法,对使用非均布电压优化前后的曲面的低频面形进行了测试,面形误差RMS值从24.1μm减小为14.7μm,证明相对于单电极方案,多电极非均压对静电拉伸薄膜反射镜的面形有明显的优化作用。本文使用的检测方法和结论可为相关领域的研究提供参考。 展开更多
关键词 多电极 静电拉伸 薄膜反射镜 hartmann光栏法
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350mm望远镜光能集中度检测
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作者 尚晓星 王备战 毕雄伟 《焦作师范高等专科学校学报》 2011年第1期74-76,共3页
利用哈特曼光栏法对350 mm望远镜光能集中度进行检测,结果证明光能集中范围小于70%时较好,大于70%时较差.因而350 mm望远镜能基本满足普通光电测光工作和科普观测的要求.
关键词 350 mm望远镜 哈特曼 能集中度 检测
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