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30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜
被引量:
10
1
作者
朱京涛
张淑敏
+9 位作者
王蓓
吴文娟
李存霞
徐垚
张众
王风丽
王占山
陈玲燕
周洪军
霍同林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期735-738,共4页
波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反...
波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
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关键词
薄膜光学
极紫外
多层膜
磁控溅射
同步辐射
太阳
he-ⅱ谱线
原文传递
30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜
被引量:
4
2
作者
白亮
朱京涛
+5 位作者
徐敬
黄秋实
吴文娟
王晓强
王占山
陈玲燕
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2615-2618,共4页
太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁...
太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
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关键词
薄膜光学
多层膜
磁控溅射
极紫外
he-ⅱ谱线
反射率
原文传递
题名
30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜
被引量:
10
1
作者
朱京涛
张淑敏
王蓓
吴文娟
李存霞
徐垚
张众
王风丽
王占山
陈玲燕
周洪军
霍同林
机构
同济大学物理系精密光学工程与技术研究所
中国科技大学国家同步辐射实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期735-738,共4页
基金
国家自然科学基金(60378021
10675092)
+1 种基金
教育部新世纪人才基金(NCET-04-0376)
同济大学理科发展基金
文摘
波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
关键词
薄膜光学
极紫外
多层膜
磁控溅射
同步辐射
太阳
he-ⅱ谱线
Keywords
thin film optics
extreme ultraviolet
multilayer film
magnetron sputtering
synchrotron radiation
solar
he-
ⅱ
spectrum
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜
被引量:
4
2
作者
白亮
朱京涛
徐敬
黄秋实
吴文娟
王晓强
王占山
陈玲燕
机构
同济大学精密光学工程技术研究所物理系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2615-2618,共4页
基金
国家自然科学基金(10435050
10675091
+2 种基金
10675092)
国家863计划(2006AA12Z139)
上海市科委项目(07DZ22302)资助课题
文摘
太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
关键词
薄膜光学
多层膜
磁控溅射
极紫外
he-ⅱ谱线
反射率
Keywords
thin-film optics
multilayer film
magnetron sputtering
extreme ultraviolet
he-
ⅱ
line
reflectivity
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜
朱京涛
张淑敏
王蓓
吴文娟
李存霞
徐垚
张众
王风丽
王占山
陈玲燕
周洪军
霍同林
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
10
原文传递
2
30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜
白亮
朱京涛
徐敬
黄秋实
吴文娟
王晓强
王占山
陈玲燕
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
4
原文传递
已选择
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