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真空氦漏孔校准方法的研究
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作者 刘贝贝 蒋厚庸 +1 位作者 刘燚 周宇仁 《中国仪器仪表》 2023年第6期48-51,共4页
本文介绍了一种不带氦气源的真空氦漏孔的校准方法,可实现-100~1000kPa压力、(10^(-10)~10^(-4))Pa.m^(3)/s漏率范围内的真空氦漏孔的校准,扩展不确定度U_(rel)=10%(k=2)。适用于真空氦漏孔日常的校准工作。
关键词 真空氦漏孔 漏率 氦质谱检漏仪
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气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响 被引量:8
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作者 王维 钟博扬 +3 位作者 叶小球 李芳芳 陈长安 高涛 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1135-1140,共6页
真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或... 真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考。研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系。同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大。同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法。研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式。 展开更多
关键词 漏率 校准 定容法 氦质谱检漏仪 气体介质 压强
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氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究 被引量:16
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作者 王勇 黄锡宁 孙立臣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期32-36,共5页
文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度... 文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度一定时,该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。 展开更多
关键词 泄漏检测 氦质谱检漏仪 吸枪法 入口压力 显示值 压缩比
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氦质谱检漏仪现场校准方法研究 被引量:10
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作者 赵澜 张涤新 +5 位作者 冯焱 成永军 卢耀文 徐婕 李莉 盛学民 《真空》 CAS 北大核心 2010年第1期59-62,共4页
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得... 目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 标准漏孔 校准
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航天器氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定 被引量:11
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作者 王勇 闫荣鑫 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 2010年第4期71-75,共5页
航天器的单点漏率测试往往采用氦质谱吸枪检漏法,因此,研究该方法的不确定度评定具有重要的工程实际意义。文中首次从不确定度的基础理论出发系统地研究了氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定方法,并结合一个具体的案例给出了评价的详细步... 航天器的单点漏率测试往往采用氦质谱吸枪检漏法,因此,研究该方法的不确定度评定具有重要的工程实际意义。文中首次从不确定度的基础理论出发系统地研究了氦质谱吸枪检漏法的不确定度评定方法,并结合一个具体的案例给出了评价的详细步骤。该评价方法可以为航天器的总漏率测试法和真空检漏法的不确定度评定提供一定的参考依据。 展开更多
关键词 不确定度 氦质谱检漏仪 吸枪法 航天器
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真空氦质谱检漏原理与方法综述 被引量:34
6
作者 孙开磊 孙新利 《真空电子技术》 2007年第6期62-65,共4页
介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法。
关键词 检漏 氦质谱检漏仪 真空 试件
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航天器单机产品真空室检漏法测量结果的不确定度评定 被引量:3
7
作者 汪力 王勇 +4 位作者 孙立臣 孙立志 张海峰 史纪军 郭海涛 《真空》 CAS 2012年第3期17-21,共5页
航天器推进系统的单机产品的漏率测试往往采用氦质谱真空室检漏法,研究该方法测量结果的不确定度评定具有重要的工程应用价值。本文首先对真空室检漏法的原理进行了分析探讨,并从不确定的基础理论出发系统地研究了氦质谱真空室检漏法测... 航天器推进系统的单机产品的漏率测试往往采用氦质谱真空室检漏法,研究该方法测量结果的不确定度评定具有重要的工程应用价值。本文首先对真空室检漏法的原理进行了分析探讨,并从不确定的基础理论出发系统地研究了氦质谱真空室检漏法测量结果的不确定度评定方法,并结合工作的具体案例给出了评价的具体步骤。 展开更多
关键词 不确定度 真空室检漏法 氦质谱检漏仪 航天器单机产品
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大型空间模拟器总体检漏技术 被引量:4
8
作者 张春元 黄本诚 成致祥 《航天器环境工程》 1999年第3期29-37,58,共10页
论述了大型空间环境模拟器的总体检漏技术,针对大型模拟器的特点,从设计、加工到安装调试等过程介绍了检漏方法的选择,并着重介绍了氦质谱检漏法可检灵敏度的分析,对大型模拟器的检漏方案进行了全过程的设计.
关键词 大型空间模拟器 检漏 氦质谱检漏仪
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吸枪检漏法的原理研究 被引量:5
9
作者 王勇 闫荣鑫 黄锡宁 《航天器环境工程》 2010年第3期351-353,265-266,共3页
航天器的单点漏率测试通常采用氦质谱吸枪检漏法,因此,该方法的合理性研究具有重要的工程意义。文章首次建立了吸枪检漏法的数学模型,并通过理论分析得到了被检件的漏率与检漏仪显示值的定量关系。其次,通过大量试验间接证明了该模型的... 航天器的单点漏率测试通常采用氦质谱吸枪检漏法,因此,该方法的合理性研究具有重要的工程意义。文章首次建立了吸枪检漏法的数学模型,并通过理论分析得到了被检件的漏率与检漏仪显示值的定量关系。其次,通过大量试验间接证明了该模型的正确性。最后,证明了氦质谱吸枪比对法的理论合理性。结果表明:用吸枪检漏法测单点的漏率具有较好的合理性,所得结论可以为吸枪法检漏的具体实施提供重要的理论依据。 展开更多
关键词 吸枪检漏法 氦质谱检漏仪 定量研究
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ZQJ-291检漏仪在真空检漏设备数据采集系统中的应用 被引量:1
10
作者 薛长利 刘伟强 丁勤 《真空》 CAS 北大核心 2011年第4期51-55,共5页
通过对检漏仪的通讯原理的分析,介绍了ZQJ-291检漏仪在真空检漏设备数据采集系统中的应用。针对提高真空检漏设备的自动化水平的目标,详细阐述了ZQJ-291检漏仪终端软件的开发思路及关键功能的实现,在文章的最后对软件界面进行了展示。
关键词 ZQJ-291检漏仪 真空检漏 软件开发 自动化
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密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件 被引量:7
11
作者 薛大同 肖祥正 王庚林 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期735-743,共9页
密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法。对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好... 密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法。对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作。预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级。但用户复检时,候检时间往往已很长,如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点。本文改进了预充氦法:提出候检时间存在两个特征点,并给出了表达式;还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能,从而可以针对各种情况,用不同方法和判据,判断漏率是否合格。因此,即使候检时间已很长,仍有可能充分发挥预充氦法优点,并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦
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基于FMECA的ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性分析 被引量:3
12
作者 王凯 崔寓淏 刘胜 《真空》 CAS 2019年第3期48-51,共4页
本文通过故障模式影响及危害性分析的方法对ZQJ-291H型氦质谱检漏仪各组成部分的不同故障进行分析,研究其对系统工作状态的影响。意在识别设备使用过程中的薄弱环节,为该型氦质谱检漏仪的设计、制造、使用等环节提高可靠性的改进提供有... 本文通过故障模式影响及危害性分析的方法对ZQJ-291H型氦质谱检漏仪各组成部分的不同故障进行分析,研究其对系统工作状态的影响。意在识别设备使用过程中的薄弱环节,为该型氦质谱检漏仪的设计、制造、使用等环节提高可靠性的改进提供有效依据。研究结果表明,影响ZQJ-291H型氦质谱检漏仪可靠性的主要因素为泵油退化和离子源老化,因此建议对离子源损耗方面加大研究力度,进而提高检漏仪的可靠性。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 FMECA 可靠性分析
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密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限 被引量:6
13
作者 薛大同 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期721-729,共9页
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状... 利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 等效标准漏率
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密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响 被引量:2
14
作者 薛大同 王庚林 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期730-734,共5页
分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且... 分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检。另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦 氦分压的影响
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氦质谱检漏仪在350MW汽轮机真空系统检漏中的应用 被引量:5
15
作者 王建 甘智勇 +1 位作者 张利 屈斌 《价值工程》 2013年第1期317-319,共3页
本文介绍了氦质谱检漏仪的工作原理及功能特点,结合使用经验介绍了氦质谱检漏仪应用于汽轮机真空系统检漏的测试方法,在军粮城发电厂9号机组汽轮机真空系统检漏中快速、准确地检测出了漏点,并有效地改善了机组真空状态。
关键词 氦质谱检漏仪 真空系统 检漏 应用
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氦质谱检漏仪在溴化锂吸收式制冷技术中的应用 被引量:2
16
作者 王铁恒 王天宁 +2 位作者 姜广均 付玉齐 杨春妹 《制冷与空调》 2001年第5期69-72,39,共5页
指出了氦质谱检漏仪在溴化锂制冷行业中应用的重要性。进一步介绍了氦质谱检漏仪的基本原理,结构,以及对溴化锂制冷机组进行氦质谱检漏时的检漏程序、检漏方法和注意事项。
关键词 淇化理制冷机 真空 泄漏率 氦质谱检漏仪
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L200^+型氦质谱检漏仪常见故障的分析与处理 被引量:1
17
作者 白国云 黄颖军 《真空》 CAS 2012年第5期65-68,共4页
针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文... 针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。 展开更多
关键词 L200+型氦质谱检漏仪 故障 分析 处理
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氦质谱检漏仪查漏原理及其应用 被引量:7
18
作者 高满生 《湖北电力》 2009年第1期47-49,共3页
介绍了氦质谱检漏仪查漏的原理,通过分析湖北省内3台机组真空系统氦质谱检漏仪查漏的情况及真空状况的改善,指出提高汽轮机真空,是提高机组运行经济性和出力,实现节能降耗的有效手段。
关键词 汽轮机组 真空 氰质谱栓漏仪 节能
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真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究 被引量:2
19
作者 靳朋礼 巩春志 +6 位作者 孔营 张鑫 马玉山 刘海波 何涛 岳玲 田修波 《真空》 CAS 2019年第5期69-73,共5页
由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影... 由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题。本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影响因素。得出如下结论:真空室气压低于5.0×10-3Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10-3Pa^9.9×10-3Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10-2Pa^9.9×10-2Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×1010-1Pa^9.9×1010-1Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检。简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检。以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导。 展开更多
关键词 真空 检漏 酒精 氦质谱检漏仪
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KM3热沉检漏技术 被引量:1
20
作者 王轩 高亚杰 +3 位作者 任英杰 王燕 李凤玲 韩京文 《真空》 CAS 北大核心 2008年第4期58-61,共4页
热沉是大型空间环境模拟器的重要组成部分,KM3为KM6的改造热沉,热沉内通的是-196℃的液氮或+100℃的热氮气,最高内压达1.6MPa,其密封性直接影响到模拟器模拟太空冷黑环境的好坏,对漏率的要求非常高,因此对热沉在加工过程中的检漏提出了... 热沉是大型空间环境模拟器的重要组成部分,KM3为KM6的改造热沉,热沉内通的是-196℃的液氮或+100℃的热氮气,最高内压达1.6MPa,其密封性直接影响到模拟器模拟太空冷黑环境的好坏,对漏率的要求非常高,因此对热沉在加工过程中的检漏提出了非常苛刻的要求。KM3设备的真空容器直径3.6m,长7.3m,是当时最大的不锈钢真空容器,检漏难度较大。本文介绍了所采用的并已为实践证明是成功的检漏技术。 展开更多
关键词 热沉 漏率 氦质谱检漏仪
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