Optical Surface Tilt Measurement with Sub-Second Accuracy

ＯｐｔｉｃａｌＳｕｒｆａｃｅＴｉｌｔＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｗｉｔｈＳｕｂ┐ＳｅｃｏｎｄＡｃｃｕｒａｃｙＳＵＮＤｏｎｇｓｏｎｇ（孙东松）ＤＥＮＧＨｕａ（邓桦）ＱＩＡＯＬｉｊｉｅ（乔立杰）ＬＩＺｈｕｐｅｎｇ李助朋ＣＡＩＸｉｐｉｎｇ蔡喜平（Ｄｅｐｔ．ｏｆＡ...

相干分辨外差干涉法的光学系统表面检测

提出了一个用相干分辨的外差干涉仪进行光学系统表面检测的方法。利用相干长度短的光源和位置探测器。该方法具有表面选择性。