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Optical Surface Tilt Measurement with Sub-Second Accuracy
1
作者
孙东松
邓桦
+2 位作者
乔立杰
李助朋
蔡喜平
《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》
EI
CAS
1997年第2期12-15,共4页
OpticalSurfaceTiltMeasurementwithSub┐SecondAccuracySUNDongsong(孙东松)DENGHua(邓桦)QIAOLijie(乔立杰)LIZhupeng李助朋CAIX...
OpticalSurfaceTiltMeasurementwithSub┐SecondAccuracySUNDongsong(孙东松)DENGHua(邓桦)QIAOLijie(乔立杰)LIZhupeng李助朋CAIXiping蔡喜平(Dept.ofA...
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关键词
heterodyne
interferometer
position
sensitive
detector
optical
surface
mesaurement
下载PDF
职称材料
相干分辨外差干涉法的光学系统表面检测
2
作者
孙东松
刘世刚
+1 位作者
赵远
蔡喜平
《红外技术》
CSCD
北大核心
1997年第2期37-40,33,共5页
提出了一个用相干分辨的外差干涉仪进行光学系统表面检测的方法。利用相干长度短的光源和位置探测器。该方法具有表面选择性。
关键词
外差干涉仪
表面检测
位置探测器
光学系统
下载PDF
职称材料
题名
Optical Surface Tilt Measurement with Sub-Second Accuracy
1
作者
孙东松
邓桦
乔立杰
李助朋
蔡喜平
出处
《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》
EI
CAS
1997年第2期12-15,共4页
文摘
OpticalSurfaceTiltMeasurementwithSub┐SecondAccuracySUNDongsong(孙东松)DENGHua(邓桦)QIAOLijie(乔立杰)LIZhupeng李助朋CAIXiping蔡喜平(Dept.ofA...
关键词
heterodyne
interferometer
position
sensitive
detector
optical
surface
mesaurement
Keywords
heterodyne interferometer
,
position sensitive detector
,
optical surface mesaurement
分类号
O348.1 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
相干分辨外差干涉法的光学系统表面检测
2
作者
孙东松
刘世刚
赵远
蔡喜平
机构
哈尔滨工业大学应用物理系
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
1997年第2期37-40,33,共5页
文摘
提出了一个用相干分辨的外差干涉仪进行光学系统表面检测的方法。利用相干长度短的光源和位置探测器。该方法具有表面选择性。
关键词
外差干涉仪
表面检测
位置探测器
光学系统
Keywords
heterodyne interferometer
optical
surface
measurement
position
sense
detector
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
Optical Surface Tilt Measurement with Sub-Second Accuracy
孙东松
邓桦
乔立杰
李助朋
蔡喜平
《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》
EI
CAS
1997
0
下载PDF
职称材料
2
相干分辨外差干涉法的光学系统表面检测
孙东松
刘世刚
赵远
蔡喜平
《红外技术》
CSCD
北大核心
1997
0
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职称材料
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引证文献
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