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Laser-induced damage threshold in HfO_2/SiO_2 multilayer films irradiated by β-ray 被引量:1
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作者 Mei-Hua Fang Peng-Yu Tian +4 位作者 Mao-Dong Zhu Hong-Ji Qi Tao Fei Jin-Peng Lv Hui-Ping Liu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第2期294-298,共5页
Post-processing can effectively improve the resistance to laser damage in multilayer films used in a high power laser system. In this work, HfO_2/SiO_2 multilayer films are prepared by e-beam evaporation and then β-r... Post-processing can effectively improve the resistance to laser damage in multilayer films used in a high power laser system. In this work, HfO_2/SiO_2 multilayer films are prepared by e-beam evaporation and then β-ray irradiation is employed as the post-processing method. The particle irradiation affects the laser induced damage threshold(LIDT),which includes defects, surface roughness, packing density and residual stress. The residual stress that is relaxed during irradiation changes from compressive stress into tensile stress. Our results indicate that appropriate tensile stress can improve LIDT remarkably. In view of the fact that LIDT rises from 8 J/cm^2 to 12 J/cm^2, i.e., 50% increase, after the film has been irradiated by 2.2×10^(13)/cm^2 β-ray, the particle irradiation can be used as a controllable and desirable postprocessing method to improve the resistance to laser induced damage. 展开更多
关键词 Β-RAY IRRADIATION hfo2/sio2 multilayer film residual stress LASER-INDUCED damage threshold
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HfO_2/SiO_2高反射膜的缺陷及其激光损伤 被引量:20
2
作者 胡建平 陈梅 +1 位作者 付雄鹰 柴林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期529-532,共4页
用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力... 用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器 ,对高损伤阈值薄膜常采用的 Hf O2 /Si O2 薄膜进行了表面显微图象研究 ,分析了薄膜常见的表面缺陷 ,如节瘤 ,孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明 ,不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同 ,节瘤缺陷最低 ,约为 1 5 J/ cm2 ,薄膜的损伤阈值主要由其决定 ,孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高 ,约为节瘤的 2~ 3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞 ,与镀制过程中形成的孔洞形貌相似 ,激光再损伤能力也相似。 展开更多
关键词 hfo2/sio2高反射薄膜 表面缺陷 激光损伤 原子电子显微镜 SEM 显微分析
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采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅 被引量:4
3
作者 谢永军 赵福华 +2 位作者 魏伟 赵小侠 赵卫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-135,共3页
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采... 采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅. 展开更多
关键词 信息光学 hfo2/sio2溶胶-凝胶 光栅 光敏
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等离子体辅助沉积HfO_2/SiO_2减反、高反光学薄膜 被引量:3
4
作者 付雄鹰 孔明东 +5 位作者 马平 邱服民 马道远 柴林 胡建平 李瑞洁 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第3期91-93,共3页
本文报导了用等离子体辅助(Plasma-IAD)沉积技术沉积HfO2/SiO2减反及高反光学薄膜。在波长1064nm处,HfO2/SiO2减反膜透过率大于99.5%,HfO2/SiO2高反膜反射率大于99.5%。
关键词 减反膜 高反膜 光学 薄膜 IAD 氧化铪 氧化硅
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HfO_2/SiO_2多层高反膜脉冲YAG激光预处理机理的研究 被引量:2
5
作者 周业为 谢建 +1 位作者 李育德 曾传相 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期13-13,16,共2页
本文研究了HfO2 /SiO2 多层高反膜脉冲YAG激光预处理提高抗激光损伤阈值的机理。通过分析和计算 ,我们提出了一种物理模型 ,即热扩散模型。由于扩散结果 ,导致HfO2 膜层的折射率增加 ,致使HfO2 、SiO2 膜层交界处光驻波波峰降低 。
关键词 hfo2/sio2 多层高反膜 激光预处理 YAG激光
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Effects of Si-Layer-Thickness Ratio on UV-Light-Emission Intensity from Si/SiO<SUB>2</SUB>Multilayered Thin Films Prepared Using Radio-Frequency Sputtering
6
作者 Kenta Miura Hitomi Hoshino +1 位作者 Masashi Honmi Osamu Hanaizumi 《Materials Sciences and Applications》 2015年第3期215-219,共5页
We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-freq... We investigated the effects of Si-layer-thickness ratios on ultraviolet (UV) peak intensities of Si/ SiO2 multilayered films produced by alternately stacking several-nanometer-thick Si and SiO2 layers using radio-frequency sputtering for the first time. The Si-layer-thickness ratio of the Si/SiO2 film is a very important parameter for enhancing the peak intensity because the ratio is concerned with the size of Si nanocrystals in the film, which might affect the intensity of the UV light emission from the film. We prepared seven samples with various estimated Si-layer-thickness ratios, and measured the photoluminescence spectra of the samples after annealing at 1150°C, 1200°C, or 1250°C for 25 min. From our experiments, we estimate that the proper Si-layer-thickness ratio to obtain the strongest UV peaks from the Si/SiO2 multilayered films is around 0.29. Such a UV-lightemitting thin film is expected to be used in future higher-density optical-disk systems. 展开更多
关键词 SI sio2 multilayer SPUTTERING UV-LIGHT Emission
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基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性 被引量:2
7
作者 张艳云 马彬 +2 位作者 马宏平 焦宏飞 程鑫彬 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2275-2280,共6页
以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分... 以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分段线性增长,破斑沿纵向拓展的损伤生长阈值是沿横向拓展的损伤生长阈值的2倍以上,初始损伤结构横向尺寸的生长率与能量密度呈指数关系,且生长阈值随着辐照次数的增加显著降低。 展开更多
关键词 hfo2 sio2高反射薄膜 分层剥落 损伤生长 激光损伤阈值 横向尺寸
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具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究 被引量:2
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作者 赵福华 谢永军 +2 位作者 许素莲 刘刚 付绍军 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1376-1379,共4页
采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,... 采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力. 展开更多
关键词 hfo2/sio2 溶胶-凝胶 辐射聚合 光栅
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HfO_2/SiO_2增透膜激光诱导损伤形貌分析 被引量:1
9
作者 罗康 蒲云体 +4 位作者 乔曌 刘志超 罗晋 朱基亮 马平 《广州化工》 CAS 2015年第4期90-92,共3页
用电子束蒸发法制备了Hf O2/Si O2增透膜样品,并进行退火。测量未退火样品与退火样品的透射光谱,发现退火样品的光谱明显向短波方向移动,原因是退火后薄膜中的吸附水被去除。使用Nd:YAG激光器在"S-on-1"模式下对样品进行了激... 用电子束蒸发法制备了Hf O2/Si O2增透膜样品,并进行退火。测量未退火样品与退火样品的透射光谱,发现退火样品的光谱明显向短波方向移动,原因是退火后薄膜中的吸附水被去除。使用Nd:YAG激光器在"S-on-1"模式下对样品进行了激光诱导损伤处理。两种样品的损伤形貌均主要是损伤坑。考虑到损伤的成因是基底的亚表面微裂纹中的吸收颗粒吸收激光能量后导致裂纹扩大,最终形成损伤坑。基于这种损伤机制,退火对损伤没有明显影响。通过显微镜在损伤形貌中观察到了冲击波传输形成的波动条纹。 展开更多
关键词 增透膜 激光诱导损伤 损伤形貌 hfo2/sio2
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高k值HfO_2栅介质材料电学特性的研究进展 被引量:9
10
作者 田书凤 彭英才 +1 位作者 范志东 张弘 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期22-26,共5页
随着Si-MOS集成电路的迅速发展,高k值栅介质材料将成为下一代MOS器件绝缘栅最有希望的候选材料。介绍了近年来HfO2栅介质材料在制备方法和电学特性方面的研究进展,提出了改善其电学特性的主要途径,其中包括非金属元素掺杂、构建组分渐... 随着Si-MOS集成电路的迅速发展,高k值栅介质材料将成为下一代MOS器件绝缘栅最有希望的候选材料。介绍了近年来HfO2栅介质材料在制备方法和电学特性方面的研究进展,提出了改善其电学特性的主要途径,其中包括非金属元素掺杂、构建组分渐变界面、设计准二元合金系统、制备堆垛积层结构、抑制界面层生长和选择适宜的电极材料等。 展开更多
关键词 高介电常数 hfo2栅介质 等效sio2介电层厚度 电学特性
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SiO_2溶胶及其静电自组装薄膜的制备 被引量:6
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作者 许丕池 姜德生 +2 位作者 余海湖 李小甫 李鸿辉 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第2期165-170,共6页
采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl... 采用HCl催化、NH3 ·H2 O催化、HCl与NH3 ·H2 O分步催化三种途径制备了SiO2 胶体 ,用透射电镜观察了胶体粒子的形貌 .用静电自组装 (ESAM)法制备了聚电解质PDDA与SiO2 胶体粒子的有机 /无机复合光学薄膜 .实验结果表明 ,用HCl催化制备的SiO2 透明溶胶不适合于用ESAM法制备薄膜 ,用HCl与NH3 ·H2 O分步催化以及用NH3 ·H2 O单独催化制备的SiO2 胶体适合于用ESAM法制备光学薄膜 .薄膜的透射电镜微观察结果表明 ,以HCl与NH3 ·H2 O分步催化的SiO2 胶体制备的PDDA/SiO2 薄膜为连续结构 ,NH3 ·H2 O单独催化的为颗粒堆积 .研究了薄膜透光率与薄膜层数的关系 ,考察了薄膜的机械强度 .结果显示 ,以NH3 ·H2 O单独催化的SiO2 胶体制备的光学薄膜的增透效果较好 。 展开更多
关键词 sio2 溶胶 静电自组装 复合薄膜
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等离子体氧化nc-Si/SiO_2多层膜的蓝光发射 被引量:1
12
作者 马忠元 王立 +7 位作者 陈坤基 李伟 张林 鲍云 王晓伟 徐俊 黄信凡 冯端 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期454-457,共4页
报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出... 报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出现了蓝移。在晶化的 a-Si∶ H/ Si O2 多层膜中不仅观察到室温下的红光带 (80 0nm)的发光峰 ,而且还观察到蓝光发射 (4 2 5 nm) ,结合 Raman,TEM和 PL测试 。 展开更多
关键词 等离子体氧化 纳米硅 光致发光 硅/二氧化硅多层膜
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Microstructures and magnetic properties of [SiO_2/FePt]_5/Ag thin films 被引量:2
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作者 范九萍 许小红 +2 位作者 江凤仙 田宝强 武海顺 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2008年第1期11-14,共4页
[SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied... [SiO2/FePt]5/Ag thin films were deposited by RF magnetron sputtering on the glass substrates and post annealing at 550 ℃ for 30 min in vacuum. Vibrating sample magnetometer and X-ray diffraction analyser were applied to study the magnetic properties and microstructures of the films. The results show that without Ag underlayer [SiO2/FePt]5 films deposited onto the glass are FCC disordered; with the addition of Ag underlayer [SiO]FePt]5/Ag films are changed into L10 and (111) mixed texture. The variation of the SiO2 nonmagnetic layer thickness in [SiO2/FePt]5/Ag films indicates that SiO2-doping plays an important role in improving the order parameter and the perpendicular magnetic anisotropy, and reducing the grain size and intergrain interactions. By controlling SiO2 thickness the highly perpendicular magnetic anisotropy can be obtained in the [SiO2 (0.6 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films and highly (001)-oriented films can be obtained in the [SiO2 (2 nm)/FePt (3 nm)]5/Ag (50 nm) films. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer films sio2-doping Ag underlayer (001) orientation
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Effects of Ag layers on the SiO2/FePt thin films deposited by magnetron sputtering
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作者 FAN Jiuping XU Xiaohong WANG Fang JIANG Fengxian TIAN Baoqiang JIN Tao 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期13-17,共5页
The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(... The effects of Ag layers with different locations and thicknesses on the structural and magnetic property of SiO2/FePt multilayer films were investigated.The non-magnetic Ag layer plays an important role in inducing(001) orientation and ordering of FePt grains,as well as the SiO2-doping reducing the grain size and the magnetic exchange coupling between grains.When the 10 nm Ag layer is moved from the bottom to the top of the SiO2/FePt multilayer film,the coercivity gradually decreases;the largest difference between the out-of-plane coercivity and the in-plane one is obtained in the sample of [SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]3/Ag(10 nm)/[SiO2(2 nm)/FePt(3 nm)]2.Furthermore,the location of Ag layers was fixed and the thickness was changed.The XRD curves suggest that the intensity of the(001) peak becomes the strongest with the addition of 10 nm Ag layers. 展开更多
关键词 [sio2/FePt]5 multilayer perpendicular orientation magnetron sputtering COERCIVITY
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Multiscale analysis of single- and multiple-pulse laser-induced damages in HfO_2/SiO_2 multilayer dielectric films at 532 nm 被引量:1
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作者 刘文文 魏朝阳 +1 位作者 易葵 邵建达 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期53-57,共5页
Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric i... Nanosecond single- and multiple-pulse laser damage studies on HfOffSiO2 high-reflection (HR) coatings are performed at 532 nm. For single-pulse irradiation, the damage is attributed to the defects and the electric intensity distribution in the multilayer thin films. When the defect density in the irradiated area is high, delami- nation is observed. Other than the 1064 nm laser damage, the plasma scalding of the 532 nm laser damage is not pits-centered for normal incidence, and the size of the plasma scalding has no relation to the defect density and position, but increases with the laser fluence. For multiple-pulse irradiations, some damage sites show deeper precursors than those from the single-shot irradiation due to the accumulation effects. The cumulative laser- induced damages behave as pits without the presence of plasma scalding, which is unaffected by the laser fluence and shot numbers. The damage morphologies and depth information both confirm the fatigue effect of a HfO2/SiO2 HR coating under 532 nm laser irradiation. 展开更多
关键词 Multiscale analysis of single and multiple-pulse laser-induced damages in hfo2/sio2 multilayer dielectric films at 532 nm
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大尺寸1064nm波段HfO_2/SiO_2高损伤阈值窄带滤光片的研制 被引量:3
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作者 吴晓鸣 李辛 +1 位作者 王一坚 焦宏飞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第4期206-212,共7页
对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm波段Hf O2/Si O2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱分析表明:随着蒸... 对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm波段Hf O2/Si O2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱分析表明:随着蒸镀过程的进行,氧化铪(Hf O2)的实际厚度会逐渐小于设计值,而二氧化硅(Si O2)的实际厚度则会逐渐大于设计值;这种变化趋势导致的厚度误差会严重影响带通的波形;另外掩模板造成的厚度误差也是影响带通波纹的重要因素之一。通过分析研究和优化以上因素,制备了半峰全宽为5 nm、通光口径达200 mm×200 mm、在1064 nm处损伤阈值高于19.5 J/cm^2(3 ns)的窄带滤光元件。 展开更多
关键词 光学器件 波动光学 窄带滤光片 hfo2/sio2薄膜
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HfO_2/SiO_2光学薄膜激光损伤阈值的测量 被引量:6
17
作者 胡建平 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期356-358,共3页
参照国际标准 ISO112 5 4及其规范 ,组建了小口径 10 6 4 nm激光的损伤阈值测量装置 ,能对各种光学元件 ,包括高反膜、偏振膜及增透膜等进行 10 6 4 nm激光损伤阈值测量。按损伤阈值测量国际标准的要求 ,测量了由 Hf O2 / Si O2 镀制的 ... 参照国际标准 ISO112 5 4及其规范 ,组建了小口径 10 6 4 nm激光的损伤阈值测量装置 ,能对各种光学元件 ,包括高反膜、偏振膜及增透膜等进行 10 6 4 nm激光损伤阈值测量。按损伤阈值测量国际标准的要求 ,测量了由 Hf O2 / Si O2 镀制的 10 6 4 nm高反膜、偏振膜及增透膜的激光损伤阈值 ,分析了它们的激光损伤特性 ,对于 10 ns的 10 6 4 nm激光脉冲 ,高反膜的损伤阈值为 12 .8J/ cm2 ,偏振膜为 9.8J/cm2 ,增透膜为 9.2 J/ cm2 ;对于 2 0 ns、1ns的激光脉冲 ,高反膜的损伤阈值分别为 15 .3J/ cm2和 5 .75 J/cm2 。高反膜的损伤阈值对于 ns激光脉冲符合时间定标率τ0 .35。 展开更多
关键词 光学薄膜 激光 损伤阈值 测量 hfo2/sio2薄膜
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不同基底上HfO_2/SiO_2多层膜的力学性能 被引量:2
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作者 王河 贺洪波 张伟丽 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期142-146,共5页
用电子束蒸发技术在K9玻璃及YAG晶体上沉积了HfO2/SiO2多层膜,采用纳米划痕仪对薄膜的力学性能进行了研究。实验结果表明:沉积在YAG和K9的多层膜弹性模量分别为34.8GPa和38.5GPa,基底对薄膜的弹性模量影响较小;YAG和K9上薄膜的粘附失效... 用电子束蒸发技术在K9玻璃及YAG晶体上沉积了HfO2/SiO2多层膜,采用纳米划痕仪对薄膜的力学性能进行了研究。实验结果表明:沉积在YAG和K9的多层膜弹性模量分别为34.8GPa和38.5GPa,基底对薄膜的弹性模量影响较小;YAG和K9上薄膜的粘附失效临界附着力分别为5mN和7mN,薄膜与YAG基底的结合状态较K9基底的差,并且呈现不同破坏模式。从薄膜之间及膜基界面处的界面结合状态和弹性模量两方面分析解释了YAG基底和K9基底上薄膜的不同力学行为。 展开更多
关键词 薄膜 hfo2 sio2多层膜 YAG晶体 K9玻璃 力学性能
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Effect of standing-wave field distribution on femosecond laser-induced damage of HfO_2/SiO_2 mirror coating 被引量:2
19
作者 陈顺利 赵元安 +1 位作者 贺洪波 邵建达 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第8期94-97,共4页
Single-pulse and multi-pulse damage behaviors of "standard" (with A/4 stack structure) and "modified" (with reduced standing-wave field) HfO2/SiO2 mirror coatings are investigated using a commercial 50-fs, 800... Single-pulse and multi-pulse damage behaviors of "standard" (with A/4 stack structure) and "modified" (with reduced standing-wave field) HfO2/SiO2 mirror coatings are investigated using a commercial 50-fs, 800-nm Ti:sapphire laser system. Precise morphologies of damaged sites display strikingly different features when the samples are subjected to various number of incident pulses, which are explained reasonably by the standing-wave field distribution within the coatings. Meanwhile, the single-pulse laser-induced damage threshold of the "standard" mirror is improved by about 14% while suppressing the normalized electric field intensity at the outmost interface of the HfO2 and SiO2 layers by 37%. To discuss the damage mechanism, a theoretical model based on photoionization, avalanche ionization, and decays of electrons is adopted to simulate the evolution curves of the conduction-band electron densitv during r^ulse dHratian. 展开更多
关键词 sio Effect of standing-wave field distribution on femosecond laser-induced damage of hfo2/sio2 mirror coating wave
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Damage characteristics of HfO_2/SiO_2 high reflector at 45° incidence in 1-on-1 and N-on-1 tests
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作者 刘晓凤 李大伟 +3 位作者 赵元安 李笑 凌秀兰 邵建达 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第1期41-44,共4页
P-polarization high reflectors are deposited by e-beam from hafnia and silica. 1-on-1 and N-on-1 tests at 1064-nm wavelength with P-polarization at 45° incidence are carried out on these samples. Microscope and s... P-polarization high reflectors are deposited by e-beam from hafnia and silica. 1-on-1 and N-on-1 tests at 1064-nm wavelength with P-polarization at 45° incidence are carried out on these samples. Microscope and scanning electron microscope are applied to investigate the damage morphologies in both 1-on-1 and N-on^l tests. It is found that the laser damage threshold is higher in N-on-1 tests and nodular defect is the main inducement that leads to the damage because nodular ejection with plasma scalding is the typical damage morphology. Similar damage morphology observed in the two tests indicates that the higher laser damage threshold in N-on-1 test is attributed to the mechanical stabilization process of nodular defects, owing to the gradually increased laser fluence radiation. Based on the typical morphology study, some process optimizations are given. 展开更多
关键词 test incidence in 1-on-1 and N-on-1 tests Damage characteristics of hfo2/sio2 high reflector at 45 HIGH
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