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Wedge-shaped HfO_(2) buffer layer-induced field-free spin-orbit torque switching of HfO_(2)/Pt/Co structure 被引量:1
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作者 陈建辉 梁梦凡 +4 位作者 宋衍 袁俊杰 张梦旸 骆泳铭 王宁宁 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期662-667,共6页
Field-free spin-orbit torque(SOT)switching of perpendicular magnetization is essential for future spintronic devices.This study demonstrates the field-free switching of perpendicular magnetization in an HfO_(2)/Pt/Co/... Field-free spin-orbit torque(SOT)switching of perpendicular magnetization is essential for future spintronic devices.This study demonstrates the field-free switching of perpendicular magnetization in an HfO_(2)/Pt/Co/TaO_(x) structure,which is facilitated by a wedge-shaped HfO_(2)buffer layer.The field-free switching ratio varies with HfO_(2)thickness,reaching optimal performance at 25 nm.This phenomenon is attributed to the lateral anisotropy gradient of the Co layer,which is induced by the wedge-shaped HfO_(2)buffer layer.The thickness gradient of HfO_(2)along the wedge creates a corresponding lateral anisotropy gradient in the Co layer,correlating with the switching ratio.These findings indicate that field-free SOT switching can be achieved through designing buffer layer,offering a novel approach to innovating spin-orbit device. 展开更多
关键词 spin-orbit torque field-free switching hfo_(2) buffer layer
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环境温度对HfO_(2)铁电存储器的质子辐照效应影响研究
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作者 朱旭昊 袁亦辉 +6 位作者 黄铭敏 马瑶 毕津顺 许高博 龚敏 杨治美 李芸 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第2期330-337,共8页
基于HfO_(2)的铁电随机存取存储器(FeRAM)具有功耗低、存取速度快,易于小型化,抗干扰能力强等优势,在航天航空领域有广袤的发展空间。然而,FeRAM在太空环境下的抗辐照性能尚未得到全面的研究。研究了W/TiN/Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)(HZO)/... 基于HfO_(2)的铁电随机存取存储器(FeRAM)具有功耗低、存取速度快,易于小型化,抗干扰能力强等优势,在航天航空领域有广袤的发展空间。然而,FeRAM在太空环境下的抗辐照性能尚未得到全面的研究。研究了W/TiN/Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2)(HZO)/TiN铁电存储器在常温和高温环境下经5 MeV质子辐照后的电学特性和铁电畴结构变化。通过电学和压电响应力显微镜(PFM)手段表征发现,在常温质子辐照后,电容器的介电常数(ε_(r))和剩余极化强度(P_(r))值均增大,器件的铁电性能提升,常温高注量质子辐照有利于存储器在太空环境中工作,但随着辐照时环境温度升高,HZO存储器的铁电性能下降,漏电流增大,铁电存储器的各项性能明显退化。 展开更多
关键词 hfo_(2) 铁电存储器 质子辐照 温度
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HfO_(2)掺杂对湿化学法制备W-20Cu复合材料微观组织和性能的影响
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作者 许皖南 王彩艳 +2 位作者 丁希鹏 罗来马 吴玉程 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期2318-2329,共12页
采用湿化学法制备W-20Cu复合粉体,通过喷雾干燥法得到球壳状前驱体,再通过氢气还原成功将弥散分布的HfO_(2)第二相颗粒引入W-20Cu复合粉体,确定了引入的HfO_(2)在W-20Cu复合粉体中的存在形式以及分布状态。采用高温液相烧结制备了细小Hf... 采用湿化学法制备W-20Cu复合粉体,通过喷雾干燥法得到球壳状前驱体,再通过氢气还原成功将弥散分布的HfO_(2)第二相颗粒引入W-20Cu复合粉体,确定了引入的HfO_(2)在W-20Cu复合粉体中的存在形式以及分布状态。采用高温液相烧结制备了细小HfO_(2)颗粒均匀分布的W-20Cu复合材料。结果表明:由于HfO_(2)颗粒在W颗粒表面和W/Cu界面间隙中弥散分布,抑制了W颗粒在烧结过程中的粗化,从而降低了W-W的连通性,使得W-20Cu复合材料表现出较高的综合性能。其中,烧结温度在1350℃时,块体的致密度较高,均为97%,掺杂0.5%HfO_(2)制备得到的复合材料综合性能最佳,其硬度最大可达到338HV,抗弯强度为826 MPa,热导率为209 W/(m·K)。 展开更多
关键词 湿化学法 W-CU复合材料 hfo_(2)颗粒 综合性能
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热分解法合成制备Ti/RuO_(2)-HfO_(2)的工艺优化与电容性能研究 被引量:1
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作者 孙俊梅 《重庆科技学院学报(自然科学版)》 CAS 2024年第1期88-92,共5页
通过热分解法制备Ti/RuO_(2)-HfO_(2)二元复合氧化物涂层,利用XRD对涂层组织结构进行表征,通过循环伏安和充放电曲线分析对涂层的超电容性质进行研究。实验结果表明,Hf的加入有利于非晶态组织的形成;随着Hf含量的增加,电极比电容呈现先... 通过热分解法制备Ti/RuO_(2)-HfO_(2)二元复合氧化物涂层,利用XRD对涂层组织结构进行表征,通过循环伏安和充放电曲线分析对涂层的超电容性质进行研究。实验结果表明,Hf的加入有利于非晶态组织的形成;随着Hf含量的增加,电极比电容呈现先增大后减小的变化趋势,当Hf含量为50%时,电极比电容最大;Hf具有促进电化学稳定性的作用。 展开更多
关键词 电极涂层 热分解法 Ti/RuO_(2)-hfo_(2) 电容性能 制备工艺
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HfO_(2)基铁电薄膜的结构、性能调控及典型器件应用 被引量:2
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作者 袁国亮 王琛皓 +2 位作者 唐文彬 张睿 陆旭兵 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期69-90,共22页
大数据、物联网和人工智能的快速发展对存储芯片、逻辑芯片和其他电子元器件的性能提出了越来越高的要求.本文介绍了HfO_(2)基铁电薄膜的铁电性起源,通过掺杂元素改变晶体结构的对称性或引入适量的氧空位来降低相转变的能垒可以增强HfO_... 大数据、物联网和人工智能的快速发展对存储芯片、逻辑芯片和其他电子元器件的性能提出了越来越高的要求.本文介绍了HfO_(2)基铁电薄膜的铁电性起源,通过掺杂元素改变晶体结构的对称性或引入适量的氧空位来降低相转变的能垒可以增强HfO_(2)基薄膜的铁电性,在衬底和电极之间引入应力、减小薄膜厚度、构建纳米层结构和降低退火温度等方法也可以稳定铁电相.与钙钛矿氧化物铁电薄膜相比, HfO_(2)基铁电薄膜具有与现有半导体工艺兼容性更强和在纳米级厚度下铁电性强等优点.铁电存储器件理论上可以达到闪存的存储密度,读写次数超过1010次,同时具有读写速度快、低操作电压和低功耗等优点.此外,还总结了HfO_(2)基薄膜在负电容晶体管、铁电隧道结、神经形态计算和反铁电储能等方面的主要研究成果.最后,讨论了HfO_(2)基铁电薄膜器件当前面临的挑战和未来的机遇. 展开更多
关键词 hfo_(2)基薄膜 铁电极化 铁电存储器
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工作气压对Y掺杂HfO_(2)结构及电学性能的影响
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作者 惠迎雪 刘雷 +3 位作者 赵吉武 张长明 秦兴辉 刘卫国 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期340-345,354,共7页
目的基于Y掺杂高纯铪靶和钛靶的反应磁控溅射方法,在Si(100)基底上沉积掺杂Y氧化铪薄膜,以及TiN/X-HfO_(2)/TiN三层异质结构,探究Y掺杂对氧化铪基异质结构铁电性的影响。方法针对反应磁控溅射制备的Y掺杂HfO_(2)薄膜和异质结构,分别采... 目的基于Y掺杂高纯铪靶和钛靶的反应磁控溅射方法,在Si(100)基底上沉积掺杂Y氧化铪薄膜,以及TiN/X-HfO_(2)/TiN三层异质结构,探究Y掺杂对氧化铪基异质结构铁电性的影响。方法针对反应磁控溅射制备的Y掺杂HfO_(2)薄膜和异质结构,分别采用白光干涉仪、掠入射X射线衍射(GIXRD)、X光电子能谱仪(XPS)和铁电分析仪,对薄膜的沉积速率、退火后薄膜的晶体结构、掺杂元素组分及含量,以及HfO_(2)基异质结薄膜P-E电滞回线和I-V曲线进行测量。结果在相同工艺条件下,薄膜的沉积速率随着工作气压的增大呈先增大后减小的趋势,在工作气压为1.1 Pa时沉积速率达到最高值。XRD结果表明,薄膜经过退火后存在正交相(o相)和单斜相(m相)。当工作气压为0.7 Pa时,所制备HYO薄膜在28°~30°内代表o(111)相的衍射峰最强,具有最佳的铁电性。随着工作气压的增大,代表m(111)相的衍射峰强度逐渐下降。采用XPS分析了薄膜中各元素的化学状态和含量,在工作气压为0.7 Pa时,Y的掺杂浓度(物质的量分数)为5.6%,铁电分析结果表明,在工作气压从0.7 Pa增至1.3 Pa的过程中,Y掺杂的HfO_(2)基异质结的电滞回线逐渐收缩。在工作气压为0.7 Pa时,剩余极化强度P_(r)的最大值为14.11μC/cm^(2),矫顽场Ec约为1 MV/cm。结论利用Y掺杂高纯铪靶反应磁控溅射制备的掺杂铁电薄膜,在工作气压0.7 Pa下得到的薄膜经过700℃退火后具备良好的铁电性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 hfo_(2)基异质结 铁电薄膜 工作气压 钇掺杂
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CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)的制备及其对高浓度有机废水的臭氧催化降解研究
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作者 朱开金 冯中营 +2 位作者 韩强 谭俊华 吴佳娜 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期140-145,151,共7页
为有效降解高浓度造纸废水有机物,通过电化学沉积法分别在磷酸盐中性缓冲溶液和纯水中制得CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)和CeO_(2)-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)。通过对CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)、CeO_(2)-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3... 为有效降解高浓度造纸废水有机物,通过电化学沉积法分别在磷酸盐中性缓冲溶液和纯水中制得CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)和CeO_(2)-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)。通过对CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)、CeO_(2)-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)以及LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)进行XRD、SEM、析氧过电位和电阻抗等物性表征发现,CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)具有更强催化氧化性及稳定性。对高浓度造纸废水臭氧催化氧化降解3 h后,CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)对废水COD的降解率为76.5%,而相同条件下CeO_(2)-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3)和LaCoO_(3)/Al2O_(3)的化学需氧量(COD)降解率分别为68.5%和63.5%。 展开更多
关键词 CeO_(2)-Ps-LaCoO_(3)/Al_(2)O_(3) CeO_(2)辅助催化 磷酸盐缓冲溶液 电化学制取 臭氧催化氧化
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Ir/HfO_(2)复合涂层的制备及性能研究
8
作者 王献 魏燕 +3 位作者 蔡宏中 汪星强 张贵学 胡昌义 《贵金属》 CAS 北大核心 2023年第1期1-6,共6页
利用化学气相沉积(CVD)技术制备了HfO_(2)涂层和Ir/HfO_(2)复合涂层,采用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)对涂层的性能进行分析。结果表明:在沉积Ir时,沉积室升温速率≤10℃/min时,制备出的Ir/HfO_(2)复合涂层经真空高... 利用化学气相沉积(CVD)技术制备了HfO_(2)涂层和Ir/HfO_(2)复合涂层,采用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)对涂层的性能进行分析。结果表明:在沉积Ir时,沉积室升温速率≤10℃/min时,制备出的Ir/HfO_(2)复合涂层经真空高温热处理后可获得表面质量良好的Ir层,且Ir层纯度达到99.77%;真空热处理有益于提高Ir/HfO_(2)复合涂层之间的结合程度,且热处理温度越高,结合效果越好;表面制备有HfO_(2)涂层的Ir棒在1980℃氧化10 h的条件下,HfO_(2)涂层对Ir的保护效果显著,可将Ir的氧化深度由毫米级降至数十微米。 展开更多
关键词 化学气相沉积 Ir/hfo_(2)复合涂层 氧化性能
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HfO_(2)/NiO_(x)/HfO_(2)堆栈的三电阻态开关特性与导电机制
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作者 陈涛 张涛 +2 位作者 殷元祥 谢雨莎 邱晓燕 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期276-286,共11页
采用磁控溅射制备了沿<100>晶向择优生长的NiO_(x)薄膜,并与多晶HfO_(2)薄膜组装成HfO_(2)/NiO_(x)/HfO_(2)堆栈器件,研究其电阻开关特性和导电机制.微结构分析表明,NiO_(x)薄膜主要成分为NiO和Ni_(2)O_(3),薄膜整体富含氧空位.Hf... 采用磁控溅射制备了沿<100>晶向择优生长的NiO_(x)薄膜,并与多晶HfO_(2)薄膜组装成HfO_(2)/NiO_(x)/HfO_(2)堆栈器件,研究其电阻开关特性和导电机制.微结构分析表明,NiO_(x)薄膜主要成分为NiO和Ni_(2)O_(3),薄膜整体富含氧空位.HfO_(2)/NiO_(x)/HfO_(2)堆栈器件初期呈现两电阻态的双极性电阻开关特性,高低电阻比约为10^(5);但中后期逐步演变为具有“两级置位过程”的三电阻态开关特性.器件循环耐受性大于3×10^(3)个周期,数据持久性接近10^(4)s.器件高低电阻态满足欧姆导电机制,而中间电阻态遵循空间电荷限制电流导电机制.NiO_(x)薄膜中的氧空位导电细丝和上层HfO_(2)薄膜中的空间电荷限制电流共同作用使得HfO_(2)/NiO_(x)/HfO_(2)堆栈器件表现出稳定的三电阻态开关特性,有望应用于多级非易失性存储器和类脑神经突触元件. 展开更多
关键词 hfo_(2)/NiO_(x)/hfo_(2)堆栈 三电阻态 两级置位
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基于Sentinel-2数据的苏州消夏湾生态安全缓冲区植被生长状况遥感监测评估 被引量:1
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作者 单阳 钱晓瑾 +8 位作者 姜晟 王甜甜 张悦 余悠然 纪轩禹 郭金金 魏玉强 王茹 李旭文 《环境监控与预警》 2024年第1期24-30,共7页
利用2021—2022年Sentinel-2卫星搭载的多光谱成像仪(MSI)遥感数据,通过SNAP遥感软件提供的植被生物物理参数处理模块(Biophysical Processor),反演了苏州消夏湾生态安全缓冲区的5种植被生物物理参数,包括植被吸收光合有效辐射比例(FAP... 利用2021—2022年Sentinel-2卫星搭载的多光谱成像仪(MSI)遥感数据,通过SNAP遥感软件提供的植被生物物理参数处理模块(Biophysical Processor),反演了苏州消夏湾生态安全缓冲区的5种植被生物物理参数,包括植被吸收光合有效辐射比例(FAPAR)、植被覆盖度(FVC)、叶面积指数(LAI)、冠层叶绿素含量(CCC)和冠层含水量(CWC),开展植被生态环境监测评估研究。结果表明,该生态安全缓冲区2021年建成并投入运行后,植被覆盖度和生物量有所增加,区域植被冠层结构有所改善,植被生物物理参数从一定的角度反映了消夏湾生态安全缓冲区发挥了生态涵养成效。该研究方法能在大尺度上快捷、高效地反演植被生物物理参数,可为通过植被遥感动态监测评估生态安全缓冲区的生态功能提供有益的借鉴。 展开更多
关键词 生态安全缓冲区 Sentinel-2 植被生物物理量 遥感反演 苏州消夏湾
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衬底偏压对反应磁控共溅射Y:HfO_(2)薄膜电学性能的影响
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作者 张伟奇 孙纳纳 周大雨 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期16-23,共8页
作为微电子器件中最具发展前景的高介电薄膜材料,HfO_(2)薄膜得到了学者们的广泛研究。低漏电流是HfO_(2)薄膜使器件获得优良性能的前提,但易受晶粒尺寸、氧空位和粗糙度等因素影响。针对反应磁控溅射所得薄膜表面粗糙度高及漏电流密度... 作为微电子器件中最具发展前景的高介电薄膜材料,HfO_(2)薄膜得到了学者们的广泛研究。低漏电流是HfO_(2)薄膜使器件获得优良性能的前提,但易受晶粒尺寸、氧空位和粗糙度等因素影响。针对反应磁控溅射所得薄膜表面粗糙度高及漏电流密度大等缺点,本文在溅射过程中通过在衬底施加偏压的方法降低了HfO_(2)薄膜的漏电流密度。结果表明:通过在衬底施加适当的偏压使得Y掺杂HfO_(2)(Y∶HfO_(2))薄膜的漏电流密度降低到8×10-8 A/cm^(2)。漏电流密度的变化与薄膜粗糙度和晶粒尺寸有关,而薄膜粗糙度和晶粒尺寸主要受衬底偏压的影响,但衬底偏压对薄膜物相的影响可以忽略。通过施加衬底偏压,利用反应磁控溅射方法制备了低漏电流和高k值Y∶HfO_(2)薄膜,可为高性能器件的制备提供基础。 展开更多
关键词 氧化铪薄膜 漏电流密度 衬底偏压 反应磁控共溅射 粗糙度
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Al_(2)O_(3)插入层对HfO_(2)/ZrO_(2)叠层薄膜铁电性能的影响
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作者 陈海燕 陈永红 +3 位作者 梁秋菊 王志国 曹俊 张斗 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期3113-3121,共9页
基于优良的可扩展性和良好的互补金属氧化物半导体工艺兼容性,铁电HfO_(2)基非易失性存储器引发广泛的研究兴趣。采用原子层沉积方法制备(HfO_(2)-ZrO_(2))_(3)/mAl_(2)O_(3)/(HfO_(2)-ZrO_(2))_(3)纳米叠层薄膜(m为Al_(2)O_(3)厚度),... 基于优良的可扩展性和良好的互补金属氧化物半导体工艺兼容性,铁电HfO_(2)基非易失性存储器引发广泛的研究兴趣。采用原子层沉积方法制备(HfO_(2)-ZrO_(2))_(3)/mAl_(2)O_(3)/(HfO_(2)-ZrO_(2))_(3)纳米叠层薄膜(m为Al_(2)O_(3)厚度),并通过改变Al_(2)O_(3)厚度研究其铁电性和可靠性。结果表明,当m为1mm时,叠层薄膜表现出最高的剩余极化值,为23.87μC/cm^(2),且随着Al_(2)O_(3)厚度的增加,漏电流值可降低2-3个数量级。Al_(2)O_(3)和HfO_(2)-ZrO_(2)因介电错配而产生界面极化,同时更低介电常数的Al_(2)O_(3)可有效调控叠层薄膜内部的电场分布,从而促进铁电性能和可靠性的协同提升,这为更宽厚度范围HfO_(2)基铁电存储器件的设计提供新的思路。 展开更多
关键词 hfo_(2)-ZrO_(2) 纳米叠层 铁电性 可靠性 Al_(2)O_(3)
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H_(2)对HfO_(2)衬底上等离子体增强化学气相沉积石墨烯的影响
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作者 杨玉帅 王伟 +3 位作者 樊瑞祥 王凯 武海进 马勤政 《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期78-84,共7页
HfO_(2)薄膜和石墨烯是用于制作石墨烯场效应晶体管的主要材料,而采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)在HfO_(2)衬底上原位生长石墨烯是极具潜力的一种石墨烯制备方法,这种方法有助于降低石墨烯转移过程对石墨烯质量的影响,从而提高... HfO_(2)薄膜和石墨烯是用于制作石墨烯场效应晶体管的主要材料,而采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)在HfO_(2)衬底上原位生长石墨烯是极具潜力的一种石墨烯制备方法,这种方法有助于降低石墨烯转移过程对石墨烯质量的影响,从而提高石墨烯场效应晶体管的性能。使用真空电子束蒸镀方法在重掺杂单抛硅片衬底上分别于50、150、250℃下沉积了100 nm厚的HfO_(2)薄膜样品;随后选用最优质量的HfO_(2)薄膜作为生长石墨烯的衬底,采用PECVD方法在温度为600℃、CH4流速为4 sccm的条件下,以不同的H2流速(0、5、10、15、20 sccm)原位生成石墨烯薄膜。结果显示,150℃下蒸镀的HfO_(2)薄膜粗糙度最低,表面最平整,同时也拥有最佳的介电性能。当H2流速为10 sccm时,可获得少层石墨烯薄膜,此时的石墨烯薄膜缺陷最小,表面平整且连续性好。通过对HfO_(2)衬底上石墨烯的生长机理进行分析发现,HfO_(2)衬底的低表面能导致含碳物种难以吸附到衬底上,石墨烯不易生长,但适当的H2参与可以有效降低CH4裂解反应的活化能,促进CH4的裂解,有利于生长出大面积的连续型石墨烯薄膜。 展开更多
关键词 hfo_(2)薄膜 石墨烯 真空电子束蒸镀 等离子体增强化学气相沉积 H2 生长机理
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基于调车工况的MT-2缓冲器容量需求仿真分析
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作者 孙林平 杨忠良 +2 位作者 马卫华 罗世辉 王波 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2024年第13期210-216,共7页
为了分析MT-2缓冲器在调车连挂作业时的容量需求问题,基于摩擦式缓冲器非线性力学特性及车辆调车冲击受力特点,建立了铁道货车纵向冲击动力学模型,对调车过程中不同车辆质量、不同速度、不同编组方式及不同车体刚度等工况下MT-2缓冲器... 为了分析MT-2缓冲器在调车连挂作业时的容量需求问题,基于摩擦式缓冲器非线性力学特性及车辆调车冲击受力特点,建立了铁道货车纵向冲击动力学模型,对调车过程中不同车辆质量、不同速度、不同编组方式及不同车体刚度等工况下MT-2缓冲器容量需求进行了分析。研究结果表明:缓冲器做功与车辆质量和连挂速度的平方成正比,冲击车和被冲击车数量都大于2辆时冲击面缓冲器的容量需求将与车辆数量无关。对同时考虑质量、速度、编组方式、车体刚度的缓冲器容量需求值进行了函数拟合,完成了比例系数κ、μ和λ的求解;不同车辆数量之间冲击时,不同车钩号的缓冲器做功值大小不一,在冲击面车钩号的缓冲器做功值均为最大,沿着冲击面前、后的车钩号逐渐递减,调车冲击时计算容量需求值时应不考虑车体刚度,以重车冲击重车模式时冲击面的缓冲器容量需求为准。 展开更多
关键词 调车冲击 MT-2缓冲器 车钩力 容量需求 做功值
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High-performance enhancement-mode GaN-based p-FETs fabricated with O_(3)-Al_(2)O_(3)/HfO_(2)-stacked gate dielectric
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作者 Hao Jin Sen Huang +9 位作者 Qimeng Jiang Yingjie Wang Jie Fan Haibo Yin Xinhua Wang Ke Wei Jianxun Liu Yaozong Zhong Qian Sun Xinyu Liu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2023年第10期99-103,共5页
In this letter,an enhancement-mode(E-mode)GaN p-channel field-effect transistor(p-FET)with a high current den-sity of−4.9 mA/mm based on a O_(3)-Al_(2)O_(3)/HfO_(2)(5/15 nm)stacked gate dielectric was demonstrated on ... In this letter,an enhancement-mode(E-mode)GaN p-channel field-effect transistor(p-FET)with a high current den-sity of−4.9 mA/mm based on a O_(3)-Al_(2)O_(3)/HfO_(2)(5/15 nm)stacked gate dielectric was demonstrated on a p++-GaN/p-GaN/AlN/AlGaN/AlN/GaN/Si heterostructure.Attributed to the p++-GaN capping layer,a good linear ohmic I−V characteristic fea-turing a low-contact resistivity(ρc)of 1.34×10^(−4)Ω·cm^(2) was obtained.High gate leakage associated with the HfO_(2)high-k gate dielectric was effectively blocked by the 5-nm O_(3)-Al_(2)O_(3)insertion layer grown by atomic layer deposition,contributing to a high ION/IOFF ratio of 6×10^(6)and a remarkably reduced subthreshold swing(SS)in the fabricated p-FETs.The proposed structure is compelling for energy-efficient GaN complementary logic(CL)circuits. 展开更多
关键词 GaN p-FETs ENHANCEMENT-MODE hfo_(2) subthreshold swing
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Electronically modulated d-band centers of MOF-derived carbon-supported Ru/HfO_(2) for oxygen reduction and aqueous/flexible zinc-air batteries
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作者 Chuan Hu Fengli Wei +4 位作者 Qinrui Liang Qiming Peng Yuting Yang Tayirjan Taylor Isimjan Xiulin Yang 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期247-255,I0007,共10页
The construction of oxide/metal composite catalysts is a competent means of exploiting the electronic interactions between oxide/metal to enhance catalytic activity.In this work,we construct a novel heterogeneous comp... The construction of oxide/metal composite catalysts is a competent means of exploiting the electronic interactions between oxide/metal to enhance catalytic activity.In this work,we construct a novel heterogeneous composite(Ru/HfO_(2)-NC)with Ru/HfO2nanoparticles nested in nitrogen-doped porous carbon via a zeolitic imidazole frameworks-assisted(ZIF)co-precipitation and calcination approach.In particular,ZIF guides an in-situ construction of nested configuration and confines the scattered nanoparticles.Strikingly,Ru/HfO_(2)-NC exhibits unusual ORR activity,superb durability,and methanol tolerance in0.1 M KOH solution with high half-wave potential(E1/2)of 0.83 V and follows a near-4e-reaction pathway.Additionally,the ZAB assembled with cathodic Ru/HfO_(2)-NC outputs a power density of 157.3 m W cm^(-2),a specific capacity of 775 mA h g-1Zn,and a prolonged lifespan of 258 h at 5 mA cm^(-2).Meanwhile,the catalyst has demonstrated potential applicability in flexible ZAB.As suggested by experimental results and density functional theory(DFT)analysis,the remarkable property possibly originated from the optimization of the adsorption and desorption of reactive intermediates caused by the reconfiguration of the electronic structure between Ru and HfO_(2). 展开更多
关键词 Ru/hfo_(2) Charge interaction Oxygen vacancy Oxygen reduction Zinc-air battery
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HfO_(2)基铁电场效应晶体管
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作者 肖金盼 苏铭吉 +1 位作者 刘宗芳 Choonghyun Lee 《智能物联技术》 2023年第5期1-5,9,共6页
铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电... 铁电晶体管作为一种新型的存储器件,由于与CMOS工艺兼容、低功耗等优点,吸引了研究者广泛关注。近年来,Flash、RRAM、FeFET等不同存储器件发展迅速,但都存在一定的微缩问题。大量研究工作表明,HfO_(2)基材料在1 nm厚度时也有微弱的铁电性,有利于器件的微缩,所以近年来对于HfO_(2)基铁电晶体管的研究越来越广泛。本文主要从HfO_(2)基铁电晶体管基本结构、存储机制、工艺制备过程、相关测试方法、应用等方面对HfO_(2)基铁电晶体管存储器进行了综述。 展开更多
关键词 hfo_(2)基铁电薄膜 场效应晶体管 制备工艺 存储机制
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In-situ constructed SnO_(2) gradient buffer layer as a tight and robust interphase toward Li metal anodes in LATP solid state batteries
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作者 Lifan Wang Leiying Wang +5 位作者 Qinlin Shi Cong Zhong Danya Gong Xindong Wang Chun Zhan Guicheng Liu 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期89-98,I0003,共11页
Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)(LATP),of much interest owing to its high ionic conductivity,superior air stability,and low cost,has been regarded as one of the most promising solid-state electrolytes for next-gen... Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)(LATP),of much interest owing to its high ionic conductivity,superior air stability,and low cost,has been regarded as one of the most promising solid-state electrolytes for next-generation solid-state lithium batteries(SSLBs).Unfortunately,the commercialization of SSLBs is still impeded by severe interfacial issues,such as high interfacial impedance and poor chemical stability.Herein,we proposed a simple and convenient in-situ approach to constructing a tight and robust interface between the Li anode and LATP electrolyte via a SnO_(2)gradient buffer layer.It is firmly attached to the surface of LATP pellets due to the volume expansion of SnO_(2)when in-situ reacting with Li metal,and thus effectively alleviates the physical contact loosening during cycling,as confirmed by the mitigated impedance rising.Meanwhile,the as-formed SnO_(2)/Sn/LixSn gradient buffer layer with low electronic conductivity successfully protects the LATP electrolyte surface from erosion by the Li metal anode.Additionally,the LixSn alloy formed at the Li surface can effectively regulate uniform lithium deposition and suppress Li dendrite growth.Therefore,this work paves a new way to simultaneously address the chemical instability and poor physical contact of LATP with Li metal in developing low-cost and highly stable SSLBs. 展开更多
关键词 Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3) All-solid-state lithium batteries Interfacial issues SnO_(2)gradient buffer layer Tight and robust interface
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Observing ferroelastic switching in Hf_(0.5)Zr_(0.5)O_(2) thin film
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作者 关赵 王陶 +11 位作者 郑赟喆 彭悦 魏鹿奇 张宇科 阿卜力孜·麦提图尔荪 黄家豪 童文旖 韩根全 陈斌斌 向平华 段纯刚 钟妮 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第6期526-530,共5页
Hafnium zirconium oxides(HZO),which exhibit ferroelectric properties,are promising materials for nanoscale device fabrication due to their high complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) compatibility.In addition t... Hafnium zirconium oxides(HZO),which exhibit ferroelectric properties,are promising materials for nanoscale device fabrication due to their high complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) compatibility.In addition to piezoelectricity,ferroelectricity,and flexoelectricity,this study reports the observation of ferroelasticity using piezoelectric force microscopy(PFM) and scanning transmission electron microscopy(STEM).The dynamics of 90° ferroelastic domains in HZO thin films are investigated under the influence of an electric field.Switching of the retentive domains is observed through repeated wake-up measurements.This study presents a possibility of enhancing polarization in HZO thin films during wake-up processes. 展开更多
关键词 hfo_(2)-based ferroelectrics FERROELASTICITY piezoelectric force microscopy(PFM)
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Effects of HfO_2 buffer layers on the dielectric property and leakage current of Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3 thin films by pulsed laser deposition
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作者 耿彦 程晋荣 +1 位作者 俞圣雯 吴文彪 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2010年第6期456-459,共4页
Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage curre... Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin films with and without HfO 2 buffer layer were fabricated on Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition. Dependences of HfO 2 thickness on the dielectric property and leakage current of BST thin films were focused. The dielectric constant of BST thin films increased and then decreased with the increase of HfO 2 thickness, while the dielectric relaxation was gradually improved. The loss tangent and leakage current under positive bias decreased with the HfO 2 thickness increasing. The leakage current analysis based on the Schottky emission indicated an improvement of the BST/Pt interface with HfO 2 buffer layer. The loss tangent, tunability and figure of merit of optimized HfO 2 buffered BST thin film achieved 0.009 8, 21.91% (E max = 200 kV/cm), 22.40 at 10 6 Hz, respectively. 展开更多
关键词 Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) thin film hfo 2 buffer layer dielectric property leakage current Schottky emission
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