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碲镉汞高温中波红外探测器的制备研究
被引量:
6
1
作者
杨朝臣
张冰洁
+5 位作者
杜宇
陈晓静
周文洪
刘斌
黄立
张传杰
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期204-208,共5页
采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要...
采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要在MCT材料改进和器件加工工艺上继续深入研究,才能提高探测器的工作温度和稳定性。
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关键词
碲镉汞
高温中波
CdTe/ZnS双层钝化
红外探测器
下载PDF
职称材料
题名
碲镉汞高温中波红外探测器的制备研究
被引量:
6
1
作者
杨朝臣
张冰洁
杜宇
陈晓静
周文洪
刘斌
黄立
张传杰
机构
武汉高芯科技有限公司
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期204-208,共5页
文摘
采用CdTe/ZnS双层钝化工艺制备了640×512@15μm碲镉汞中波探测器。研究了退火温度对CdTe/MCT界面及CdTe钝化膜质量的影响。经测试表明:本公司制备的碲镉汞HOT中波探测器可以在125 K稳定工作,但与国外的先进技术相比仍存在差距,需要在MCT材料改进和器件加工工艺上继续深入研究,才能提高探测器的工作温度和稳定性。
关键词
碲镉汞
高温中波
CdTe/ZnS双层钝化
红外探测器
Keywords
hgcdte hot mw
CdTe/ZnS composite passivation
infrared detector
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碲镉汞高温中波红外探测器的制备研究
杨朝臣
张冰洁
杜宇
陈晓静
周文洪
刘斌
黄立
张传杰
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2019
6
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