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10μm 1280×1024 HgCdTe中波红外焦平面阵列探测性能提升
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作者 谭必松 毛剑宏 +9 位作者 陈殊璇 李伟伟 陈世锐 陈天晴 杜宇 彭成盼 熊雄 周永强 余波 王舒 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期36-43,共8页
对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结;采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术,实现高的电学连通率;采用多段温度填胶固化和... 对像元尺寸为10μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结;采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术,实现高的电学连通率;采用多段温度填胶固化和边缘刻蚀工艺减轻HgCdTe器件和读出集成电路(ROICs)之间的热失配,从而降低焦平面器件失效率。在85 K焦平面工作温度下,研制探测器的光谱响应范围为3.67μm至4.88μm,有效像元率高达99.95%,并且探测器组件像元的平均噪声等效温差(NETD)和暗电流密度的平均值分别小于16 mK和2.1×10^(-8)A/cm^(2)。与像元尺寸为15μm的探测器相比,10μm的1280×1024中波红外探测器可获取更加精细的图像,具有更远的识别距离。目前,该技术已成功转移到浙江珏芯微电子有限公司(ZJM)的HgCdTe红外探测器产线。 展开更多
关键词 红外探测器 碲镉汞 1 K×1 K红外焦平面阵列 n-on-p
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Development of small pixel HgCdTe infrared detectors 被引量:11
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作者 刘铭 王丛 周立庆 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期17-25,共9页
After approximately half a century of development, HgCdTe infrared detectors have become the first choice for high performance infrared detectors, which are widely used in various industry sectors, including military ... After approximately half a century of development, HgCdTe infrared detectors have become the first choice for high performance infrared detectors, which are widely used in various industry sectors, including military tracking, military reconnaissance, infrared guidance, infrared warning, weather forecasting, and resource detection. Further development in infrared applications requires future HgCdTe infrared detectors to exhibit features such as larger focal plane array format and thus higher imaging resolution. An effective approach to develop HgCdTe infrared detectors with a larger array format size is to develop the small pixel technology. In this article, we present a review on the developmental history and current status of small pixel technology for HgCdTe infrared detectors, as well as the main challenges and potential solutions in developing this technology. It is predicted that the pixel size of long-wave HgCdTe infrared detectors can be reduced to5 μm, while that of mid-wave HgCdTe infrared detectors can be reduced to 3 μm. Although significant progress has been made in this area, the development of small pixel technology for HgCdTe infrared detectors still faces significant challenges such as flip-chip bonding, interconnection, and charge processing capacity of readout circuits. Various approaches have been proposed to address these challenges, including three-dimensional stacking integration and readout circuits based on microelectromechanical systems. 展开更多
关键词 hgcdte INFRARED detector SMALL size PIXEL READOUT circuit
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高功率CO2激光对远场HgCdTe探测器的干扰实验 被引量:20
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作者 王思雯 郭立红 +4 位作者 赵帅 刘洪波 崔爽 于洋 李姜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期798-804,共7页
理论分析和实验研究了高功率CO2激光对远场光导型长波红外HgCdTe探测器的干扰损伤。采用激光辐照探测器的温升理论模型,根据实验参数,讨论了高功率激光对长波红外探测器的损伤机理,计算了温升与辐照时间和功率的关系,并和CO2激光器在距... 理论分析和实验研究了高功率CO2激光对远场光导型长波红外HgCdTe探测器的干扰损伤。采用激光辐照探测器的温升理论模型,根据实验参数,讨论了高功率激光对长波红外探测器的损伤机理,计算了温升与辐照时间和功率的关系,并和CO2激光器在距离15km处辐照光导型长波红外HgCdTe探测器的实验结果进行对比分析。实验结果表明,2.5kW连续CO2激光经过大气衰减后在15km处激光功率密度可达0.161W/cm2,计算可知此时会聚到探测器靶面处的功率密度为140W/cm2;靶面处功率密度为20.5W/cm2时,对探测器产生干扰;靶面处功率密度为110W/cm2时,达到损伤,计算此时探测器表面温度已达到Hg析出温度,这一实验现象和理论计算预期结果相吻合。实验结论对研究探测器的激光防护和激光干扰星载探测器技术具有指导意义。 展开更多
关键词 CO2激光 长波红外探测器 hgcdte探测器 温升模型 干扰阈值 损伤阈值
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1.06μm激光对PC型HgCdTe探测器的破坏阈值研究 被引量:15
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作者 许晓军 曾交龙 +2 位作者 陆启生 舒柏宏 刘泽金 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期552-556,共5页
通过用1.06μm连续波YAG激光对PC型HgCdTe探测器的辐照实验研究,给出了激光对单元和多元PC型HgCdTe探测器的不同部位辐照的破坏阈值。对工作电流对破坏阈值的影响进行了一定的分析。对测量结果进行了讨论。
关键词 连续波 YAG激光 破坏阈值 红外探测器 汞镉碲
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10.6μm CO_2激光对HgCdTe探测器破坏阈值的实验研究 被引量:17
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作者 张红 薛建国 +2 位作者 成斌 王非 王冰 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期41-43,56,共4页
用10.6μm脉冲CO2激光辐照PC型HgCdTe光电探测器进行破坏阈值实验研究,通过改变激光辐照到探测器上的能量密度直至探测器损伤、破坏,得出了HgCdTe探测器的破坏阈值;利用一维半无限大模型计算了激光损伤探测器的破坏阈值,并与实验值进行... 用10.6μm脉冲CO2激光辐照PC型HgCdTe光电探测器进行破坏阈值实验研究,通过改变激光辐照到探测器上的能量密度直至探测器损伤、破坏,得出了HgCdTe探测器的破坏阈值;利用一维半无限大模型计算了激光损伤探测器的破坏阈值,并与实验值进行了比较。分析表明,实验误差不仅来自于探测器不同的材料性质,而且与光斑的大小,探测器的制作工艺等多种因素有关;分析了不同脉宽的激光脉冲对破坏阈值的影响,得出了合理的破坏阈值。 展开更多
关键词 脉冲CO2激光 损伤阈值 PC型hgcdte探测器 光电探测器
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PV型HgCdTe光电探测器中的混沌及其诊断 被引量:8
6
作者 马丽芹 程湘爱 +2 位作者 许晓军 李文煜 陆启生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期37-39,共3页
 对激光辐照半导体光电探测器的实验研究,发现当一束不太强的稳定连续波激光照射在PV型HgCdTe光电探测器上时,可以引起探测器出现混沌行为。利用光电探测器的光电压信号随时间变化的实验数据,通过求功率谱、计算Lyapunov指数对混沌进...  对激光辐照半导体光电探测器的实验研究,发现当一束不太强的稳定连续波激光照射在PV型HgCdTe光电探测器上时,可以引起探测器出现混沌行为。利用光电探测器的光电压信号随时间变化的实验数据,通过求功率谱、计算Lyapunov指数对混沌进行了诊断。 展开更多
关键词 PV型hgcdte光电探测器 诊断 混沌 功率谱 LYAPUNOV指数 激光辐照 半导体光电探测器
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PC型HgCdTe探测器的记忆效应 被引量:14
7
作者 陆启生 蒋志平 +1 位作者 刘泽金 舒柏宏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期317-320,共4页
通过测量PC型HgCdTe探测器的动态响应,发现在工作温度(77K)下,激光辐照后,探测器的电导率产生改变(记忆),电阻变化率提高,这种现象在工作温度下能长期保持.当升温(至室温)后,记忆功能消失.本文对这种现象进行... 通过测量PC型HgCdTe探测器的动态响应,发现在工作温度(77K)下,激光辐照后,探测器的电导率产生改变(记忆),电阻变化率提高,这种现象在工作温度下能长期保持.当升温(至室温)后,记忆功能消失.本文对这种现象进行了多方面的实验研究和机理的分析. 展开更多
关键词 记忆效应 动态响应 汞镉碲探测器 红外探测
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1.319μm激光诱导HgCdTe(PV型)探测器混沌的研究 被引量:5
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作者 马丽芹 程湘爱 +4 位作者 陆启生 李修乾 王睿 许晓军 何锋 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期61-63,共3页
通过对 1.319μm连续波激光辐照PV型HgCdTe探测器的实验研究 ,发现当激光辐照功率密度超过探测器的饱和阈值以后 ,激光能诱导探测器产生混沌现象 ,并得出了相应的激光辐照功率密度范围 ,文中还对试验结果进行了论证与分析。
关键词 激光诱导 连续波激光 PV型hgcdte探测器 混沌现象 激光辐射探测器
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新型亚波长陷光结构HgCdTe红外探测器研究进展 被引量:22
9
作者 胡伟达 梁健 +2 位作者 越方禹 陈效双 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期25-36,51,共13页
综述了近几年来亚波长陷光结构Hg Cd Te红外探测器研究进展.系统介绍了一种结合有限元方法与时域有限差分方法对红外探测器的"光""电"特性进行联合模拟和设计方法,以及基于这种新的数值模拟方法对亚波长人工微结构H... 综述了近几年来亚波长陷光结构Hg Cd Te红外探测器研究进展.系统介绍了一种结合有限元方法与时域有限差分方法对红外探测器的"光""电"特性进行联合模拟和设计方法,以及基于这种新的数值模拟方法对亚波长人工微结构Hg Cd Te红外探测器的模拟和分析结果.理论分析和实验研制数据均显示这种新型亚波长人工微结构结构具有很好的陷光特性,在提高长波红外探测器性能方面具有潜在应用前景. 展开更多
关键词 hgcdte红外探测器 亚波长人工微结构 陷光效应 长波红外探测器 金属表面等离子激元
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不同钝化结构的HgCdTe光伏探测器暗电流机制 被引量:8
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作者 孙涛 陈文桥 +3 位作者 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期143-147,共5页
在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨... 在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术研究了单双层钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响 ,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷 。 展开更多
关键词 hgcdte 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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CO_2激光对长波红外HgCdTe探测器干扰的分析 被引量:20
11
作者 王思雯 李岩 +1 位作者 郭立红 郭汝海 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期102-104,共3页
激光干扰是对抗精确制导武器、保卫己方目标的重要方式.针对高功率CO2激光对某光导型长波红外HgCdTe探测器的干扰损伤进行了理论分析与实验研究.根据实验结果,利用激光辐照探测器的温升理论模型,计算了温升随辐照时间和功率的关系,并和... 激光干扰是对抗精确制导武器、保卫己方目标的重要方式.针对高功率CO2激光对某光导型长波红外HgCdTe探测器的干扰损伤进行了理论分析与实验研究.根据实验结果,利用激光辐照探测器的温升理论模型,计算了温升随辐照时间和功率的关系,并和CO2激光器辐照光导型长波红外HgCdTe探测器的实验结果进行了对比.理论和实验结果表明,此探测器的干扰阈值为16.5W/cm2,损伤阈值为126W/cm2.实验结论对研究激光干扰星载探测器技术具有一定的参考价值. 展开更多
关键词 激光干扰 探测器 hgcdte 干扰阈值 损伤阈值
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HgCdTe探测器的激光辐照响应特性研究 被引量:7
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作者 李修乾 程湘爱 +3 位作者 陆启生 王睿 马丽芹 张雪飞 《装备指挥技术学院学报》 2004年第2期113-116,共4页
分别用波长为1.06μm、1.319μm、和3.8μm的连续波激光,对3个HgCdTe探测器进行了辐照实验;实验中发现了"振荡"、"零压输出"等一些新现象.综合报道了这些新的实验现象,并对其进行了分析解释和总结.
关键词 激光 hgcdte探测器 振荡现象 零压输出现象 辐照 响应特性
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长波光导HgCdTe红外探测器的可靠性 被引量:8
13
作者 刘大福 吴礼刚 +1 位作者 徐国森 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期289-293,共5页
从真空热浸和电流冲击两个方面对碲镉汞红外探测器进行了研究。真空热浸在星载红外探测器中是十分重要的一项试验,通过研究得到大面积甚长波探测器芯片的耐真空热浸温度为85℃、95℃下39 h的热浸会降低探测器的性能;在电流冲击的实验中... 从真空热浸和电流冲击两个方面对碲镉汞红外探测器进行了研究。真空热浸在星载红外探测器中是十分重要的一项试验,通过研究得到大面积甚长波探测器芯片的耐真空热浸温度为85℃、95℃下39 h的热浸会降低探测器的性能;在电流冲击的实验中,得出低温下探测器芯片耐冲击能力低于室温下的探测器芯片,低温下40mA的脉冲电流会降低其性能,而室温下相应的脉冲电流为70mA。粘接胶的热导率和厚度是影响耐冲击能力的主要因素。 展开更多
关键词 碲镉汞 红外探测器 可靠性 真空热浸 电流冲击
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集成式HgCdTe红外双色探测器列阵 被引量:10
14
作者 叶振华 吴俊 +4 位作者 胡晓宁 巫艳 王建新 丁瑞军 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期193-196,共4页
首次报道了集成中波 1/中波 2 (MW1/MW2 )的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能 .采用分子束外延 (MBE)技术 ,生长了p p P N型Hg1-xCdxTe多层异质结材料 .通过B+ 注入、台面腐蚀、爬坡金属化、台面侧向钝化及互连等工艺 ... 首次报道了集成中波 1/中波 2 (MW1/MW2 )的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能 .采用分子束外延 (MBE)技术 ,生长了p p P N型Hg1-xCdxTe多层异质结材料 .通过B+ 注入、台面腐蚀、爬坡金属化、台面侧向钝化及互连等工艺 ,得到了 80元的原理型HgCdTe红外双色探测器 .纵向上背靠背的 2个光电二极管分别有电极输出 ,确保了空间上同步和时间上同时的探测 ,并能独立地选择最佳工作偏压 .它适于常规的背照射工作方式 ,且有大的空间填充因子 .在液氮温度下 ,2个波段的光电二极管截止波长λc 分别为 3.0 4 μm和 5 .74 μm ,对应的R0 A值为 3.85× 10 5Ωcm2 和 3.0 2× 10 2 Ωcm2 .测得MW1、MW2的峰值探测率Dλp 分别为 1.5 7× 10 11cmHz1/2 /W和 5 .6 3×10 10 cmHz1/2 /W .得到 2个波段的光谱响应 ,且MW2光电二极管的光谱串音为 0 .4 6 % ,MW1光电二极管的光谱串音为 6 .34% . 展开更多
关键词 红外双色探测器 光谱响应 峰值探测率 光谱串音 汞镉碲材料
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激光辐照下PV型HgCdTe探测器反常响应机理 被引量:12
15
作者 贺元兴 江厚满 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1233-1237,共5页
利用PV型探测器开路电压的表达式,并考虑探测器的温度变化建立模型,对激光辐照下PV型HgCdTe探测器开路电压的变化进行了理论计算。当激光较弱时,计算结果与实验结果符合得很好。当激光较强时,对于辐照过程当中探测器输出变化的一般性趋... 利用PV型探测器开路电压的表达式,并考虑探测器的温度变化建立模型,对激光辐照下PV型HgCdTe探测器开路电压的变化进行了理论计算。当激光较弱时,计算结果与实验结果符合得很好。当激光较强时,对于辐照过程当中探测器输出变化的一般性趋势以及激光完全停照后的热弛豫过程,该模型也能给出较好的解释;但对于激光开始辐照时输出下跳和激光停止辐照时输出上跳的反常现象,该模型不能给出合理的解释。分析认为,该模型较好地描述了晶格温升对探测器输出的影响,但是它没有考虑热载流子效应;当激光较强时,热载流子效应不可忽略,特别是激光开始辐照和激光停止辐照时,载流子与晶格的温度差有比较明显的快速变化,从而导致了探测器的反常响应。 展开更多
关键词 PV型hgcdte探测器 热载流子效应 响应 开路电压 漂移-扩散模型 激光辐照
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PV型HgCdTe线阵探测器的光学串扰 被引量:9
16
作者 邱伟成 王睿 +2 位作者 许中杰 江天 程湘爱 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2325-2330,共6页
针对MCT红外焦平面阵列器件普遍存在的光串扰问题进行研究,从器件内部结构上,建立了线阵器件理论计算模型,并基于载流子连续性方程,利用Comsol软件对光串扰的大小进行了数值定量计算,研究了不同探测器结构尺寸、温度和材料等参数对光串... 针对MCT红外焦平面阵列器件普遍存在的光串扰问题进行研究,从器件内部结构上,建立了线阵器件理论计算模型,并基于载流子连续性方程,利用Comsol软件对光串扰的大小进行了数值定量计算,研究了不同探测器结构尺寸、温度和材料等参数对光串扰的影响;从器件外部结构上,利用几何光学,研究了外部光学结构对光串扰的影响。研究结果表明,器件内部的衬底外延层厚度与器件外部的真空层对光串扰的影响最大,为今后红外焦平面器件结构的改进提供了一定的理论指导。 展开更多
关键词 hgcdte 阵列探测器 Comsol软件 光串扰
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HgCdTe光导探测器的磁阻特性 被引量:2
17
作者 桂永胜 褚君浩 +3 位作者 郑国珍 郭少令 汤定元 蔡毅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期256-260,共5页
测量了3个HgCdTe光导器件和一块液相外延生长HgCdTe薄膜材料的磁阻.用两种载流子模型的约化电导张量(RCT)过程对实验数据进行了分析,拟合结果与实验值符合得很好.
关键词 光导探测器 磁阻 汞镉碲 RCT 红外探测器
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激光辐照对HgCdTe长波光导探测器性能的影响 被引量:8
18
作者 朱克学 张赟 +2 位作者 李向阳 龚海梅 方家熊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期234-235,共2页
对 Hg Cd Te长波光导探测器进行了变功率激光辐照 ,对激光辐照前后的探测器性能进行了测试。结果表明在受到功率高于暂时损伤阈值但低于永久损伤阈值的激光辐照后 ,探测器性能有较大的下降。
关键词 激光辐照 hgcdte光导探测器 红外探测器
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激光辐照对长波HgCdTe光导探测器电学参数的影响 被引量:6
19
作者 朱克学 张赟 +2 位作者 李向阳 龚海梅 方家熊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2002年第1期55-59,共5页
对长波HgCdTe光导探测器进行了低于其永久损伤阈值的变功率激光辐照 ,测量辐照前后器件的电阻 温度特性 ,用电阻 温度特性研究材料参数的方法对实验结果进行拟合 ,结果表明辐照后HgCdTe探测器件的组分变大 ,并由此计算得到探测器性能... 对长波HgCdTe光导探测器进行了低于其永久损伤阈值的变功率激光辐照 ,测量辐照前后器件的电阻 温度特性 ,用电阻 温度特性研究材料参数的方法对实验结果进行拟合 ,结果表明辐照后HgCdTe探测器件的组分变大 ,并由此计算得到探测器性能突变后 ,器件的电子迁移率与电子浓度均有一定程度减小。 展开更多
关键词 长波hgcdte光导探测器 激光辐照 电学参数
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室温中红外HgCdTe光导探测器响应率的温度特性 被引量:5
20
作者 冯国斌 张检民 +2 位作者 杨鹏翎 王群书 安毓英 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期787-791,共5页
为了评定基于室温中红外HgCdTe光导探测器的氟化氘激光阵列靶斑仪系统的测量不确定度,需要对HgCdTe光导探测器响应率的温度特性进行定量分析.理论分析了室温中波红外HgCdTe光导探测器响应率与温度和波长的关系,得出了在一定范围内探测... 为了评定基于室温中红外HgCdTe光导探测器的氟化氘激光阵列靶斑仪系统的测量不确定度,需要对HgCdTe光导探测器响应率的温度特性进行定量分析.理论分析了室温中波红外HgCdTe光导探测器响应率与温度和波长的关系,得出了在一定范围内探测器响应率可以近似表示为温度和波长变量分离函数形式的假设.采用波长为3.8μm和1.31μm激光光源,分别测量了在-40℃~+30℃温度范围内室温中波红外HgCdTe探测器响应率变温特性,实验结果验证了在测量不确定度范围内假设的正确性.基于此结论,提出了一种高效标定HgCdTe光导探测器在氟化氘激光波长处响应率温度特性的实用方法. 展开更多
关键词 中红外探测器 光导探测器 hgcdte 响应率 温度特性
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