HgCdTe薄膜的液相外延生长及低温热处理

ＨｇＣｄＴｅ材料是一种重要的红外探测器材，用液相外延生长的ＨｇＣｄＴｅ薄膜是目前制造光伏焦平面器件的主要材料。本文设计了一种使用良好的石墨舟，建立了一套能进行开管外延的系统，并利用此系统在不同的生长条件下生长了不同的ｘ值的ＨｇＣｄＴｅ外延薄膜。本文针对薄膜退火，设计了一种两温区的退火炉，这样退火样品周围的汞蒸气压能得到有效的控制。