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热处理过程中Hg_(1-x)Cd_xTe/CdTe界面互扩散研究 被引量:5
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作者 巫艳 杨建荣 +5 位作者 方维政 王善力 于梅芳 乔怡敏 陈新强 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期103-107,共5页
对HgCdTe/CdTe/GaAs结构热处理后的样品进行深度剥层腐蚀,并用椭偏光谱测量方法,获得了样品在490℃经0.5h和2h热处理后不同深度下的组份分布.根据实验结果对Zanio等人提出的扩散系数公式进行了修正,... 对HgCdTe/CdTe/GaAs结构热处理后的样品进行深度剥层腐蚀,并用椭偏光谱测量方法,获得了样品在490℃经0.5h和2h热处理后不同深度下的组份分布.根据实验结果对Zanio等人提出的扩散系数公式进行了修正,得到490℃热处理条件下的组份扩散系数DHg1-xCdxTe(490℃)=4×10-3×10-3·x. 展开更多
关键词 异质结 热处理 互扩散 汞镉碲 扩散系数
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